Peza de media lúa de grafito revestida de SiC para forno epitaxial de carburo de silicio

Descrición curta:

VET Energy é un fabricante e provedor profesional de compoñentes básicos para fornos epitaxiais de carburo de silicio. A nosa peza de media lúa de grafito revestida de SiC usa un grafito de alta pureza combinado cunha tecnoloxía avanzada de revestimento CVD. Está deseñada para ambientes epitaxiais de alta temperatura e altamente corrosivos. O grafito de alta pureza proporciona ao compoñente unha excelente resistencia a altas temperaturas (>1600 ℃) e estabilidade térmica, garantindo a uniformidade do campo térmico; o revestimento CVD forma unha densa capa protectora na superficie mediante a tecnoloxía CVD, mellorando significativamente as propiedades antioxidantes e antigravantes e prolongando a vida útil en máis de 3 veces.

Material:Grafito de alta pureza

Purificación:<5 ppm

Revestimento:CVD-SiC ou CVD-TaC

Personalización:Forno de marca ou OEM

Envíanos un correo electrónico Descargar como PDF

Detalle do produto

Etiquetas do produto

Peza de media lúa de grafito revestida de SiCé un compoñente clave empregado nos procesos de fabricación de semicondutores, especialmente para equipos epitaxiais de SiC. Empregamos a nosa tecnoloxía patentada para fabricar a peza de media lúa cunha pureza extremadamente alta, boa uniformidade de revestimento e unha excelente vida útil, así como propiedades de alta resistencia química e estabilidade térmica.

Material base: grafito de alta pureza
Requisitos de pureza:contido de carbono ≥99,99 %, contido de cinzas ≤5 ppm, para garantir que non se precipiten impurezas que contaminen a capa epitaxial a altas temperaturas.
Vantaxes de rendemento:
Alta condutividade térmica:A condutividade térmica á temperatura ambiente alcanza os 150 W/(m·K), o que é próximo ao nivel do cobre e pode transferir calor rapidamente.
Baixo coeficiente de expansión:5×10^-6/℃ (25-1000℃), coincidindo co substrato de carburo de silicio (4,2 × 10^-6/℃), reducindo o rachado do revestimento causado pola tensión térmica.
Precisión do procesamento:Mediante o mecanizado CNC conséguese unha tolerancia dimensional de ±0,05 mm para garantir a selaxe da cámara.

Aplicacións diferenciadas de SiC por CVD e TaC por CVD

Revestimento	Proceso	Comparación	Aplicación típica
CVD-SiC	Temperatura: 1000-1200 ℃ Presión: 10-100 Torr	Dureza HV2500, espesor 50-100um, excelente resistencia á oxidación (estable por debaixo de 1600 ℃)	Fornos epitaxiais universais, axeitados para atmosferas convencionais como hidróxeno e silano
TaC-ECV	Temperatura: 1600-1800 ℃ Presión: 1-10 Torr	Dureza HV3000, espesor 20-50 µm, extremadamente resistente á corrosión (pode soportar gases corrosivos como HCl, NH₃, etc.)	Ambientes altamente corrosivos (como equipos de epitaxia e gravado de GaN) ou procesos especiais que requiren temperaturas ultraaltas de 2600 °C

Inspección de calidade

Espesor do revestimento: medidor de espesor láser (precisión ±1 µm) ou análise de sección transversal SEM.
Resistencia da unión: proba de rabuñadura (carga crítica > 50 N) ou proba ultrasónica (velocidade do son > 5000 m/s).
Resistencia á corrosión: taxa de perda de masa (<0,1 mg/cm²・h) probada en atmosfera de HCl (5 % en volume, 1600 ℃).

VET Energy é un fabricante profesional centrado na I+D e na produción de materiais avanzados de alta gama como grafito, carburo de silicio e cuarzo, así como no tratamento de materiais como revestimentos de SiC, TaC, carbono vítreo, carbono pirolítico, etc. Os produtos úsanse amplamente en fotovoltaica, semicondutores, novas enerxías, metalurxia, etc.

O noso equipo técnico provén de institucións de investigación nacionais de primeira liña e pode proporcionarche solucións de materiais máis profesionais.

As vantaxes de VET Energy inclúen:
• Fábrica propia e laboratorio profesional;
• Niveis de pureza e calidade líderes na industria;
• Prezo competitivo e prazo de entrega rápido;
• Múltiples asociacións industriais en todo o mundo;

Convidámosvos a visitar a nosa fábrica e laboratorio en calquera momento!