Графитна полумесец част с покритие от SiCе ключов компонент, използван в процесите на производство на полупроводници, особено за епитаксиално оборудване от SiC. Използваме нашата патентована технология, за да произвеждаме полумесец с изключително висока чистота, добра равномерност на покритието и отличен експлоатационен живот, както и с висока химическа устойчивост и термична стабилност.
Основен материал: графит с висока чистота
Изисквания за чистота:съдържание на въглерод ≥99,99%, съдържание на пепел ≤5 ppm, за да се гарантира, че при високи температури не се утаяват примеси, които да замърсят епитаксиалния слой.
Предимства на производителността:
Висока топлопроводимост:Топлопроводимостта при стайна температура достига 150 W/(m·K), което е близко до нивото на медта и може бързо да пренася топлина.
Нисък коефициент на разширение:5×10-6/℃ (25-1000℃), съответстващ на силициево-карбидния субстрат (4.2×10-6/℃), намалявайки напукването на покритието, причинено от термично напрежение.
Точност на обработката:Чрез CNC обработка се постига размерен толеранс от ±0,05 мм, за да се осигури уплътняването на камерата.
Диференцирани приложения на CVD SiC и CVD TaC
| Покритие | Процес | Сравнение | Типично приложение |
| CVD-SiC | Температура: 1000-1200℃Налягане: 10-100 Torr | Твърдост HV2500, дебелина 50-100um, отлична устойчивост на окисление (стабилна под 1600℃) | Универсални епитаксиални пещи, подходящи за конвенционални атмосфери като водород и силан |
| CVD-TaC | Температура: 1600-1800℃Налягане: 1-10 Torr | Твърдост HV3000, дебелина 20-50um, изключително устойчив на корозия (може да издържи на корозивни газове като HCl, NH₃ и др.) | Силно корозивни среди (като например оборудване за епитаксия и ецване на GaN) или специални процеси, изискващи ултрависоки температури от 2600°C |
Инспекция на качеството
Дебелина на покритието: лазерен дебеломер (точност ±1 μm) или SEM анализ на напречно сечение.
Якост на свързване: тест за надраскване (критично натоварване > 50N) или ултразвуков тест (скорост на звука > 5000m/s).
Устойчивост на корозия: скорост на загуба на маса (<0,1 mg/cm²·h), тествана в HCl атмосфера (5 об.%, 1600℃).
VET Energy е професионален производител, фокусиран върху научноизследователската и развойна дейност и производството на висококачествени съвременни материали като графит, силициев карбид, кварц, както и върху обработката на материалите, като SiC покритие, TaC покритие, стъкловидно въглеродно покритие, пиролитично въглеродно покритие и др. Продуктите се използват широко във фотоволтаиката, полупроводниците, новата енергетика, металургията и др.
Нашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции и може да ви предостави по-професионални решения за материали.
Предимствата на VET Energy включват:
• Собствена фабрика и професионална лаборатория;
• Водещи в индустрията нива на чистота и качество;
• Конкурентна цена и бърза доставка;
• Множество индустриални партньорства по целия свят;
Каним ви да посетите нашата фабрика и лаборатория по всяко време!
