Silicon Carbide Epitaxial Furnace အတွက် SiC Coated Graphite Halfmoon အပိုင်း

အတိုချုံးဖော်ပြချက်-

VET Energy သည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် epitaxial furnaces များ၏ အဓိက အစိတ်အပိုင်းများကို ပရော်ဖက်ရှင်နယ် ထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC coated graphite halfmoon အပိုင်းသည် အဆင့်မြင့် CVD coating နည်းပညာနှင့် ပေါင်းစပ်ထားသော သန့်ရှင်းသော ဂရပ်ဖိုက်ကို အသုံးပြုထားသည်။ ၎င်းသည် အပူချိန်မြင့်မားပြီး အဆိပ်ပြင်းသော epitaxial ပတ်ဝန်းကျင်များအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသောဂရပ်ဖိုက်သည် အစိတ်အပိုင်းအား အပူချိန်မြင့်မားသောခုခံမှု (> 1600 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်) နှင့် အပူတည်ငြိမ်မှုကိုပေးစွမ်းပြီး အပူစက်ကွင်းတူညီမှုကိုသေချာစေသည်။ CVD coating သည် CVD နည်းပညာဖြင့် မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ သိပ်သည်းသောအကာအကွယ်အလွှာကိုဖွဲ့စည်းကာ ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်မှုနှင့် etching ဆန့်ကျင်ဂုဏ်သတ္တိများကို သိသာထင်ရှားစွာတိုးတက်စေပြီး ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို 3 ဆထက်မပိုစေပါ။

 

 

 


  • ပစ္စည်း-မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောဂရပ်ဖိုက်
  • သန့်စင်ခြင်း-<5ppm
  • အပေါ်ယံပိုင်း-CVD-SiC သို့မဟုတ် CVD-TaC
  • စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ခြင်း-အမှတ်တံဆိပ်မီးဖိုသို့မဟုတ် OEM
  • ထုတ်ကုန်အသေးစိတ်

    ကုန်ပစ္စည်း တံဆိပ်များ

    SiC Coated Graphite Halfmoon အပိုင်းအထူးသဖြင့် SiC epitaxial စက်ပစ္စည်းများအတွက် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့်လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုသည့် အဓိကအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ အလွန်မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု၊ ကောင်းမွန်သော coating တူညီမှုနှင့် အကောင်းဆုံးဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းအပြင် မြင့်မားသောဓာတုခံနိုင်ရည်နှင့် အပူဓာတ်တည်ငြိမ်မှုဂုဏ်သတ္တိများဖြင့် လဝက်အပိုင်းကို ပြုလုပ်ရန် ကျွန်ုပ်တို့၏ မူပိုင်ခွင့်နည်းပညာကို အသုံးပြုပါသည်။

    အခြေခံပစ္စည်း- သန့်စင်မြင့်ဂရပ်ဖိုက်
    သန့်ရှင်းမှု လိုအပ်ချက်များ-ကာဗွန်ပါဝင်မှု ≥99.99%, ပြာပါဝင်မှု ≤5ppm၊ မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် epitaxial အလွှာကို ညစ်ညမ်းစေမည့် အညစ်အကြေးများ မိုးမရွာစေရန် သေချာစေရန်။
    စွမ်းဆောင်ရည် အားသာချက်များ
    မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှု-အခန်းအပူချိန်တွင် အပူကူးယူနိုင်မှု 150W/(m・K) သည် ကြေးနီအဆင့်နှင့် နီးစပ်ပြီး အပူကို လျင်မြန်စွာ လွှဲပြောင်းနိုင်သည်။
    ချဲ့ထွင်ကိန်းနိမ့်-5×10-6/℃ (25-1000 ℃)၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာ (4.2×10) နှင့် ကိုက်ညီသော၊-6/℃) ၊ အပူဖိစီးမှုကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော အလွှာကွဲအက်ခြင်းကို လျှော့ချခြင်း။
    လုပ်ဆောင်ခြင်း တိကျမှု-အခန်း၏တံဆိပ်ခတ်ခြင်းကိုသေချာစေရန်အတွက် ± 0.05 မီလီမီတာ၏အတိုင်းအတာသည်းခံမှုကို CNC စက်ဖြင့်ပြုလုပ်ခြင်းဖြင့်အောင်မြင်သည်။

    CVD SiC နှင့် CVD TaC ၏ကွဲပြားသောအသုံးချပရိုဂရမ်များ

    အပေါ်ယံပိုင်း

    လုပ်ငန်းစဉ်

    နှိုင်းယှဉ်

    ရိုးရိုးလျှောက်လွှာ

    CVD-SiC အပူချိန်: 1000-1200 ℃ ဖိအား: 10-100 Torr မာကျောမှု HV2500၊ အထူ 50-100um၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်မှု (1600 ℃ အောက်တွင် တည်ငြိမ်) ဟိုက်ဒရိုဂျင်နှင့် ဆီလိန်းကဲ့သို့သော သမားရိုးကျလေထုများအတွက် သင့်လျော်သော Universal epitaxial မီးဖိုများ
    CVD-TaC အပူချိန်: 1600-1800 ℃ ဖိအား: 1-10 Torr မာကျောမှု HV3000၊ အထူ 20-50um၊ အလွန်အမင်း ချေးခံနိုင်ရည် (HCl၊ NH₃ စသည်ဖြင့်) ကဲ့သို့သော အဆိပ်သင့်သော ဓာတ်ငွေ့များကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ အလွန်အဆိပ်ပြင်းသောပတ်ဝန်းကျင်များ (GN epitaxy နှင့် etching equipment ကဲ့သို့သော) သို့မဟုတ် အလွန်မြင့်မားသောအပူချိန် 2600°C လိုအပ်သော အထူးလုပ်ငန်းစဉ်များ

    အရည်အသွေးစစ်ဆေးခြင်း။

    အပေါ်ယံအထူ- လေဆာအထူ တိုင်းထွာ (တိကျမှု ±1um) သို့မဟုတ် SEM အပိုင်းပိုင်းခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာခြင်း။
    Bond strength- ခြစ်ရာစမ်းသပ်မှု (အရေးပါသောဝန်> 50N) သို့မဟုတ် ultrasonic စမ်းသပ်ခြင်း (အသံအလျင် > 5000m/s)။
    သံချေးတက်ခြင်းကိုခံနိုင်ရည်- ထုထည်ဆုံးရှုံးမှုနှုန်း (<0.1 mg/cm²・h) HCl လေထု (5 vol%, 1600 ℃) တွင် စမ်းသပ်ထားသည်။

    VET စွမ်းအင်ဂရပ်ဖိုက်

    ၂

    ၃

    VET Energy သည် R&D နှင့် ဂရပ်ဖိုက်၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်၊ quartz ကဲ့သို့သော အရည်အသွေးမြင့် အဆင့်မြင့်ပစ္စည်းများကို ထုတ်လုပ်သည့် ပရော်ဖက်ရှင်နယ်ထုတ်လုပ်သူဖြစ်ပြီး SiC coating၊ TaC coating၊ glassy carbon coating၊ pyrolytic carbon coating စသည်တို့တွင် ထုတ်ကုန်များကို photovoltaic၊ semiconductor, new energy, metalclurgy တို့တွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုပါသည်။

    ကျွန်ုပ်တို့၏နည်းပညာအဖွဲ့သည် ထိပ်တန်းပြည်တွင်းသုတေသနအဖွဲ့အစည်းများမှ လာ၍ သင့်အတွက် ပိုမိုကျွမ်းကျင်သော ပစ္စည်းဖြေရှင်းချက်များကို ပံ့ပိုးပေးနိုင်ပါသည်။

    VET Energy ၏ အားသာချက်များမှာ-
    • ကိုယ်ပိုင်စက်ရုံနှင့် ပရော်ဖက်ရှင်နယ်ဓာတ်ခွဲခန်း၊
    • စက်မှုလုပ်ငန်းမှ ဦးဆောင်သော သန့်စင်မှုအဆင့်များနှင့် အရည်အသွေး၊
    • ယှဉ်ပြိုင်နိုင်သောစျေးနှုန်းနှင့် အမြန်ပို့ဆောင်ချိန်။
    • ကမ္ဘာတစ်ဝှမ်းရှိ နယ်ပယ်ပေါင်းစုံ ပူးပေါင်းဆောင်ရွက်မှုများ၊

    ကျွန်ုပ်တို့၏ စက်ရုံနှင့် ဓာတ်ခွဲခန်းကို အချိန်မရွေး လာရောက်ကြည့်ရှုရန် သင့်အား ကြိုဆိုပါသည်။

    研发团队

    公司客户


  • ယခင်-
  • နောက်တစ်ခု:

  • WhatsApp အွန်လိုင်းစကားပြောခြင်း။