Полукруглая деталь из графита с покрытием из карбида кремнияЭто ключевой компонент, используемый в процессах производства полупроводников, особенно в оборудовании для эпитаксиального осаждения SiC. Мы используем нашу запатентованную технологию для изготовления полукруглых деталей с чрезвычайно высокой чистотой, хорошей однородностью покрытия и превосходным сроком службы, а также высокой химической стойкостью и термической стабильностью.
Основной материал: графит высокой чистоты
Требования к чистоте:Содержание углерода ≥99,99%, содержание золы ≤5 ppm, чтобы исключить осаждение примесей, загрязняющих эпитаксиальный слой при высоких температурах.
Преимущества в производительности:
Высокая теплопроводность:Теплопроводность при комнатной температуре достигает 150 Вт/(м·К), что близко к уровню меди и позволяет быстро передавать тепло.
Низкий коэффициент расширения:5×10-6/℃ (25-1000℃), соответствующий подложке из карбида кремния (4,2×10-6/℃), уменьшая растрескивание покрытия, вызванное термическим напряжением.
Точность обработки:Благодаря обработке на станках с ЧПУ достигается допуск по размерам ±0,05 мм, что обеспечивает герметичность камеры.
Различные области применения CVD SiC и CVD TaC
| Покрытие | Процесс | Сравнение | Типичное применение |
| CVD-SiC | Температура: 1000-1200℃. Давление: 10-100 Торр. | Твердость HV2500, толщина 50-100 мкм, отличная стойкость к окислению (стабильна при температуре ниже 1600℃). | Универсальные эпитаксиальные печи, подходящие для работы в обычных атмосферах, таких как водород и силан. |
| CVD-TaC | Температура: 1600-1800℃. Давление: 1-10 Торр. | Твердость HV3000, толщина 20-50 мкм, исключительная коррозионная стойкость (выдерживает воздействие агрессивных газов, таких как HCl, NH₃ и др.). | Сильно агрессивные среды (например, оборудование для эпитаксии и травления GaN) или специальные процессы, требующие сверхвысоких температур в 2600 °C. |
Контроль качества
Толщина покрытия: лазерный толщиномер (точность ±1 мкм) или анализ поперечного сечения с помощью сканирующего электронного микроскопа.
Прочность сцепления: тест на царапание (критическая нагрузка > 50 Н) или ультразвуковой контроль (скорость звука > 5000 м/с).
Коррозионная стойкость: скорость потери массы (<0,1 мг/см²·ч), измеренная в атмосфере HCl (5 об.%, 1600℃).
Компания VET Energy — профессиональный производитель, специализирующийся на исследованиях, разработке и производстве высококачественных современных материалов, таких как графит, карбид кремния, кварц, а также на обработке материалов, например, нанесении покрытий из SiC, TaC, стеклоуглерода, пиролитического углерода и др. Продукция широко используется в фотовольтаике, полупроводниковой промышленности, возобновляемой энергетике, металлургии и других отраслях.
Наша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и может предложить вам более профессиональные решения в области материалов.
К преимуществам VET Energy относятся:
• Собственное производство и профессиональная лаборатория;
• Лидирующие в отрасли уровни чистоты и качества;
• Конкурентоспособная цена и быстрая доставка;
• Многочисленные партнерства в различных отраслях по всему миру;
Мы будем рады видеть вас на нашем заводе и в лаборатории в любое время!
