Pàirt leth-ghealach grafait còmhdaichte le SiC airson fùirneis epitaxial silicon carbide

Tuairisgeul Goirid:

’S e VET Energy neach-dèanamh agus solaraiche proifeasanta de phrìomh phàirtean àmhainnean epitaxial silicon carbide. Bidh ar pàirt leth-ghealach grafait còmhdaichte le SiC a’ cleachdadh grafait àrd-ghlanachd còmhla ri teicneòlas còmhdach CVD adhartach. Tha e air a dhealbhadh airson àrainneachdan epitaxial àrd-theodhachd agus creimneach. Tha an grafait àrd-ghlanachd a’ toirt strì an aghaidh teòthachd àrd (>1600℃) agus seasmhachd teirmeach sàr-mhath don phàirt, a’ dèanamh cinnteach à cunbhalachd raon teirmeach; bidh an còmhdach CVD a’ cruthachadh sreath dìon dùmhail air an uachdar tro theicneòlas CVD, a’ leasachadh gu mòr na feartan an-aghaidh oxidation agus an-aghaidh gràbhaladh, agus a’ leudachadh beatha na seirbheis còrr is 3 uiread.

Stuth:Grafait àrd-ghlanachd

Glanadh:<5ppm

Còmhdach:CVD-SiC no CVD-TaC

Gnàthachadh:Fùirneis branda no OEM

Cuir post-d thugainn Luchdaich sìos mar PDF

Mion-fhiosrachadh Toraidh

Tagaichean Bathar

Pàirt leth-ghealach grafait còmhdaichte le SiC'S e prìomh phàirt a thathas a' cleachdadh ann am pròiseasan saothrachaidh leth-chonnsachaidh, gu h-àraidh airson uidheamachd epitaxial SiC. Bidh sinn a' cleachdadh ar teicneòlas peutant gus am pàirt leth-ghealach a dhèanamh le purrachd fìor àrd, deagh aonfhoirmeachd còmhdach agus beatha seirbheis sàr-mhath, a bharrachd air feartan àrd-sheasmhachd cheimigeach agus seasmhachd teirmeach.

Stuth bunaiteach: grafait àrd-ghlan
Riatanasan purrachd:susbaint gualain ≥99.99%, susbaint luaithre ≤5ppm, gus dèanamh cinnteach nach tèid neo-chunbhalachdan a thruailleadh an t-sreath epitaxial aig teòthachd àrd.
Buannachdan coileanaidh:
Seòltachd teirmeach àrd:Ruigidh an giùlan teirmeach aig teòthachd an t-seòmair 150W/(m・K), a tha faisg air ìre copair agus as urrainn teas a ghluasad gu sgiobalta.
Co-èifeachd leudachaidh ìosal:5 × 10^-6/℃ (25-1000℃), a’ freagairt ris an t-substrate silicon carbide (4.2 × 10^-6/℃), a’ lughdachadh sgàineadh a’ chòmhdaich air adhbhrachadh le cuideam teirmeach.
Cruinneas giullachd:Gheibhear fulangas tomhasach de ±0.05mm tro innealachadh CNC gus dèanamh cinnteach gu bheil an seòmar air a sheulachadh.

Cleachdaidhean eadar-dhealaichte de CVD SiC agus CVD TaC

Còmhdach	Pròiseas	Coimeas	Cleachdadh àbhaisteach
CVD-SiC	Teòthachd: 1000-1200 ℃ Brùthadh: 10-100 Torr	Cruas HV2500, tiughas 50-100um, strì an aghaidh oxidation sàr-mhath (seasmhach fo 1600 ℃)	Àirneisean epitaxial uile-choitcheann, freagarrach airson àileachdan àbhaisteach leithid haidridean agus silane
CVD-TaC	Teòthachd: 1600-1800℃ Brùthadh: 1-10 Torr	Cruas HV3000, tiughas 20-50um, gu math dìonach an aghaidh creimeadh (faodaidh e seasamh an aghaidh gasaichean creimneach leithid HCl, NH₃, msaa.)	Àrainneachdan a tha gu math creimneach (leithid uidheam epitaxy agus gràbhaladh GaN), no pròiseasan sònraichte a dh’ fheumas teòthachd fìor àrd de 2600 ° C

Sgrùdadh càileachd

Tiughas còmhdach: tomhas tiughas leusair (cruinneas ±1um) no mion-sgrùdadh tar-roinneil SEM.
Neart ceangail: deuchainn sgrìobaidh (eallach èiginneach > 50N) no deuchainn ultrasonach (astar fuaim > 5000m/s).
An aghaidh creimeadh: ìre call mais (<0.1 mg/cm²・h) air a dhearbhadh ann an àile HCl (5 vol%, 1600℃).

’S e saothraiche proifeasanta a th’ ann an VET Energy a tha ag amas air R&D agus cinneasachadh stuthan adhartach àrd-inbhe leithid grafait, silicon carbide, grian-chlach, a bharrachd air làimhseachadh stuthan leithid còmhdach SiC, còmhdach TaC, còmhdach carbon glainneach, còmhdach carbon pyrolytic, msaa. Tha na toraidhean air an cleachdadh gu farsaing ann am photovoltaic, semiconductor, lùth ùr, meatailteachd, msaa.

Tha an sgioba theicnigeach againn a’ tighinn bho phrìomh ionadan rannsachaidh dachaigheil, agus is urrainn dhaibh fuasglaidhean stuthan nas proifeiseanta a thoirt dhut.

Tha buannachdan VET Energy a’ gabhail a-steach:
• Factaraidh fhèin agus obair-lann proifeasanta;
• Ìrean purrachd is càileachd aig ìre as àirde sa ghnìomhachas;
• Prìs farpaiseach & Ùine lìbhrigidh luath;
• Com-pàirteachasan ioma-ghnìomhachais air feadh an t-saoghail;

Tha sinn a’ cur fàilte oirbh tadhal air an fhactaraidh agus an obair-lann againn aig àm sam bith!