SiC beschichtete Grafit Hallefmounddeel fir Siliziumkarbid Epitaxialuewen

Kuerz Beschreiwung:

VET Energy ass e professionnelle Produzent a Fournisseur vu Kärkomponenten fir Siliziumkarbid-Epitaxialuewen. Eis SiC-beschichtete Graphit-Hallefmounddeeler benotzen e Graphit mat héijer Rengheet a Kombinatioun mat fortgeschrattener CVD-Beschichtungstechnologie. Et ass fir héichtemperaturéiert an héichkorrosiv epitaktesch Ëmfeld entwéckelt. De Graphit mat héijer Rengheet gëtt dem Komponent eng exzellent Héichtemperaturbeständegkeet (>1600℃) an thermesch Stabilitéit, wat eng thermesch Felduniformitéit garantéiert; d'CVD-Beschichtung bildt eng dicht Schutzschicht op der Uewerfläch duerch d'CVD-Technologie, wat d'Antioxidatiouns- an Anti-Ätzungseigenschaften däitlech verbessert an d'Liewensdauer ëm méi wéi d'3-facht verlängert.

Material:Héichreinheetsgrafit

Reinigung:<5ppm

Beschichtung:CVD-SiC oder CVD-TaC

Personnalisatioun:Markenuewen oder OEM

Schéckt eis eng E-Mail Als PDF eroflueden

Produktdetailer

Produkt Tags

SiC beschichtete Grafit Hallefmounddeelass eng Schlësselkomponent, déi a Prozesser fir d'Produktioun vu Hallefleeder benotzt gëtt, besonnesch fir epitaktesch SiC-Ausrüstung. Mir benotzen eis patentéiert Technologie fir den Hallefmounddeel mat extrem héijer Rengheet, gudder Beschichtungsuniformitéit an enger exzellenter Liewensdauer, souwéi héijer chemescher Resistenz an thermescher Stabilitéitseigenschaften ze produzéieren.

Basismaterial: héichreine Graphit
Ufuerderunge fir d'Reinheet:Kuelestoffgehalt ≥99,99%, Äschegehalt ≤5ppm, fir sécherzestellen, datt keng Ongereinheeten ausfällen, déi d'epitaxial Schicht bei héijen Temperaturen kontaminéieren.
Leeschtungsvirdeeler:
Héich thermesch Konduktivitéit:D'Wärmeleitfäegkeet bei Raumtemperatur erreecht 150 W/(m・K), wat no beim Niveau vu Koffer ass a kann d'Hëtzt séier ofginn.
Niddreg Expansiounskoeffizient:5×10^-6/℃ (25-1000℃), passend zum Siliziumcarbid-Substrat (4,2×10^-6/℃), wat d'Rëssbildung vun der Beschichtung reduzéiert, déi duerch thermesch Belaaschtung verursaacht gëtt.
Veraarbechtungsgenauegkeet:Eng Dimensiounstoleranz vun ±0,05 mm gëtt duerch CNC-Bearbeitung erreecht, fir d'Dichtung vun der Kammer ze garantéieren.

Differenzéiert Uwendungen vu CVD SiC a CVD TaC

Beschichtung	Prozess	Vergläich	Typesch Uwendung
CVD-SiC	Temperatur: 1000-1200 ℃ Drock: 10-100 Torr	Härte HV2500, Déckt 50-100µm, exzellent Oxidatiounsbeständegkeet (stabil ënner 1600℃)	Universell epitaktesch Uewen, gëeegent fir konventionell Atmosphären wéi Waasserstoff a Silan
CVD-TaC	Temperatur: 1600-1800℃ Drock: 1-10 Torr	Härte HV3000, Déckt 20-50µm, extrem korrosiounsbeständeg (kann korrosiv Gaser wéi HCl, NH₃, etc. widderstoen)	Héich korrosiv Ëmfeld (wéi GaN Epitaxie an Ätzgeräter), oder speziell Prozesser, déi ultrahéich Temperaturen vun 2600 °C erfuerderen

Qualitéitsinspektioun

Beschichtungsdicke: Laserdickmesser (Genauegkeet ±1µm) oder SEM-Querschnittsanalyse.
Bindungsstäerkt: Kratztest (kritesch Belaaschtung > 50N) oder Ultraschalltest (Schallgeschwindegkeet > 5000m/s).
Korrosiounsbeständegkeet: Masseverloschtquote (<0,1 mg/cm²・h) an HCl-Atmosphär getest (5 Vol.-%, 1600 ℃).

VET Energy ass e professionnelle Produzent, dee sech op d'Fuerschung an d'Entwécklung a Produktioun vun héichwäertege Materialien wéi Graphit, Siliziumcarbid a Quarz konzentréiert, souwéi op d'Materialveraarbechtung wéi SiC-Beschichtungen, TaC-Beschichtungen, glasartiger Kuelestoffbeschichtungen, pyrolytescher Kuelestoffbeschichtungen, etc. D'Produkter gi wäit verbreet an der Photovoltaik, am Hallefleederberäich, an der neier Energie, an der Metallurgie, etc. benotzt.

Eis technesch Equipe kënnt vun den Top-Fuerschungsinstituter aus dem Inland a kann Iech méi professionell Materialléisungen ubidden.

D'Virdeeler vun der VET Energy enthalen:
• Eege Fabréck a professionellt Laboratoire;
• Industrieféierend Rengheetsniveauen a Qualitéit;
• Kompetitive Präis & séier Liwwerzäit;
• Vill Partnerschafte mat der Industrie weltwäit;

Mir invitéieren Iech zu all Moment eis Fabréck a Laboratoire ze besichen!