SiC लेपित ग्रेफाइट हाफमुन पार्टअर्धचालक उत्पादन प्रक्रियाहरूमा प्रयोग हुने एक प्रमुख घटक हो, विशेष गरी SiC एपिटेक्सियल उपकरणहरूको लागि। हामी हाम्रो पेटेन्ट गरिएको प्रविधि प्रयोग गरेर हाफमुन पार्टलाई अत्यन्त उच्च शुद्धता, राम्रो कोटिंग एकरूपता र उत्कृष्ट सेवा जीवन, साथै उच्च रासायनिक प्रतिरोध र थर्मल स्थिरता गुणहरू सहित बनाउन सक्छौं।
आधार सामग्री: उच्च शुद्धता ग्रेफाइट
शुद्धता आवश्यकताहरू:उच्च तापक्रममा एपिटेक्सियल तहलाई दूषित गर्न कुनै पनि अशुद्धता नपुगोस् भनेर सुनिश्चित गर्न कार्बनको मात्रा ≥९९.९९%, खरानीको मात्रा ≤५ppm।
प्रदर्शन फाइदाहरू:
उच्च तापीय चालकता:कोठाको तापक्रममा तापीय चालकता १५०W/(m・K) पुग्छ, जुन तामाको स्तरको नजिक हुन्छ र द्रुत रूपमा ताप स्थानान्तरण गर्न सक्छ।
कम विस्तार गुणांक:५×१०-6/℃ (२५-१०००℃), सिलिकन कार्बाइड सब्सट्रेट (४.२×१०) सँग मिल्दोजुल्दो-6/℃), थर्मल तनावको कारणले हुने कोटिंगको क्र्याकिंग कम गर्दै।
प्रशोधन शुद्धता:चेम्बरको सिलिङ सुनिश्चित गर्न CNC मेसिनिङ मार्फत ±०.०५ मिमीको आयामी सहिष्णुता प्राप्त गरिन्छ।
CVD SiC र CVD TaC का भिन्न अनुप्रयोगहरू
| लेप लगाउने काम | प्रक्रिया | तुलना | सामान्य अनुप्रयोग |
| CVD-SiC | तापक्रम: १०००-१२००℃दबाव: १०-१०० टोर | कठोरता HV2500, मोटाई 50-100um, उत्कृष्ट अक्सिडेशन प्रतिरोध (१६०० ℃ भन्दा कम स्थिर) | हाइड्रोजन र सिलेन जस्ता परम्परागत वायुमण्डलको लागि उपयुक्त विश्वव्यापी एपिटेक्सियल भट्टीहरू |
| CVD-TaC का थप वस्तुहरू | तापक्रम: १६००-१८००℃दबाव: १-१० टोर | कठोरता HV3000, मोटाई 20-50um, अत्यन्तै क्षरण प्रतिरोधी (HCl, NH₃, आदि जस्ता क्षरणकारी ग्यासहरू सहन सक्छ) | अत्यधिक संक्षारक वातावरण (जस्तै GaN एपिटाक्सी र इचिङ उपकरण), वा २६०० डिग्री सेल्सियसको अति-उच्च तापक्रम आवश्यक पर्ने विशेष प्रक्रियाहरू |
गुणस्तर निरीक्षण
कोटिंग मोटाई: लेजर मोटाई गेज (शुद्धता ±1um) वा SEM क्रस-सेक्शनल विश्लेषण।
बन्धन शक्ति: स्क्र्याच परीक्षण (क्रिटिकल लोड > ५०N) वा अल्ट्रासोनिक परीक्षण (ध्वनि वेग > ५०००m/s)।
जंग प्रतिरोध: HCl वायुमण्डलमा परीक्षण गरिएको द्रव्यमान हानि दर (<०.१ मिलीग्राम/सेमी²・घन्टा) (५ भोल्युम%, १६००℃)।
VET इनर्जी एक पेशेवर निर्माता हो जसले ग्रेफाइट, सिलिकन कार्बाइड, क्वार्ट्ज जस्ता उच्च-अन्त उन्नत सामग्रीहरूको अनुसन्धान र विकास र उत्पादनमा ध्यान केन्द्रित गर्दछ, साथै SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पाइरोलाइटिक कार्बन कोटिंग, आदि जस्ता सामग्री उपचारमा पनि ध्यान केन्द्रित गर्दछ। उत्पादनहरू फोटोभोल्टिक, अर्धचालक, नयाँ ऊर्जा, धातु विज्ञान, आदिमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।
हाम्रो प्राविधिक टोली शीर्ष घरेलु अनुसन्धान संस्थाहरूबाट आउँछ, तपाईंको लागि थप व्यावसायिक सामग्री समाधानहरू प्रदान गर्न सक्छ।
VET ऊर्जाका फाइदाहरू समावेश छन्:
• आफ्नै कारखाना र व्यावसायिक प्रयोगशाला;
• उद्योग-अग्रणी शुद्धता स्तर र गुणस्तर;
• प्रतिस्पर्धी मूल्य र छिटो डेलिभरी समय;
• विश्वव्यापी रूपमा धेरै उद्योग साझेदारीहरू;
हामी तपाईंलाई कुनै पनि समयमा हाम्रो कारखाना र प्रयोगशाला हेर्न स्वागत गर्दछौं!
