Vaega Halfmoon o le Graphite Ufiufi SiCo se vaega autū e faʻaaogaina i faiga gaosiga o semiconductor, aemaise lava mo masini epitaxial SiC. Matou te faʻaaogaina la matou tekinolosi ua pateniina e fai ai le vaega o le halfmoon ma le mama maualuga, tutusa lelei le ufiufi ma se olaga tautua sili ona lelei, faʻapea foʻi ma le teteʻe maualuga i vailaʻau ma le mautu i le vevela.
Meafaitino autu: karapiti mama maualuga
Mana'oga mama:o le aofaʻi o le kaponi ≥99.99%, o le aofaʻi o le lefulefu ≤5ppm, ia mautinoa e leai ni mea leaga e faʻaputuina e faʻaleagaina ai le vaega epitaxial i le vevela maualuga.
Fa'amanuiaga o le fa'atinoga:
Fa'avevela maualuga:E o'o atu le fa'avevela o le eletise i le vevela o le potu i le 150W/(m・K), lea e latalata i le tulaga o le 'apamemea ma e mafai ona vave fa'aliliuina le vevela.
Fa'aopoopoga maualalo:5×10-6/℃ (25-1000℃), e fetaui ma le substrate silicon carbide (4.2×10-6/℃), fa'aitiitia ai le māvaevae o le ufiufi e mafua mai i le fa'alavelave fa'avevela.
Sa'o le fa'agasologa:E ausia le fa'apalepale i fua fa'atatau o le ±0.05mm e ala i le masini CNC e fa'amautinoa ai le fa'amaufa'ailogaina o le potu vili.
Fa'aoga eseese o le CVD SiC ma le CVD TaC
| Ufiufi | Fa'agasologa | Fa'atusatusaga | Fa'aoga masani |
| CVD-SiC | Vevela: 1000-1200℃ Mamafa: 10-100 Torr | Ma'a'a HV2500, mafiafia 50-100um, tete'e lelei i le fa'a'okesa (mautu i lalo ifo o le 1600 ℃) | Ogaumu epitaxial lautele, talafeagai mo siosiomaga masani e pei o le hydrogen ma le silane |
| CVD-TaC | Vevela: 1600-1800℃ Mamafa: 1-10 Torr | Ma'a'a HV3000, mafiafia 20-50um, e matua tete'e atu i le 'ele (e mafai ona tatalia kasa 'ele e pei o le HCl, NH₃, ma isi) | Siosiomaga e matuā ʻāʻā (e pei o le GaN epitaxy ma masini eli), poʻo ni faiga faʻapitoa e manaʻomia ai le vevela maualuga tele e 2600°C |
Su'esu'ega lelei
Mafiafia o le ufiufi: fua o le mafiafia o le laser (sa'o ±1um) po'o le au'ili'iliga o le vaega fa'alava o le SEM.
Malosi o le pipii: suega valu (avega taua > 50N) po'o le suega ultrasonic (saosaoa o le leo > 5000m/s).
Tete'e i le 'ele: fua faatatau o le pa'ū o le mamafa (<0.1 mg/cm²・h) na fa'ata'ita'iina i le ea HCl (5 vol%, 1600℃).
O le VET Energy o se kamupani gaosi oloa fa'apolofesa e taula'i i le R&D ma le gaosiga o mea fa'aonaponei maualuluga e pei o le graphite, silicon carbide, quartz, fa'apea fo'i ma le togafitiga o meafaitino e pei o le SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ma isi. O nei oloa e fa'aaogaina lautele i le photovoltaic, semiconductor, new energy, metallurgy, ma isi.
O la matou 'au fa'apitoa e sau mai fa'alapotopotoga su'esu'e sili ona lelei i totonu o le atunu'u, e mafai ona tu'uina atu ni fofo fa'apitoa mo oe.
O fa'amanuiaga o le VET Energy e aofia ai:
• Falegaosimea lava ia ma le fale su'esu'e fa'apolofesa;
• Tulaga mama ma le lelei e sili ona ta'imua i le alamanuia;
• Tau fa'atauva'a & Taimi vave e fa'ao'o atu ai;
• Tele pa'aga fa'apisinisi i le lalolagi atoa;
Matou te talia oe e asiasi i la matou fale gaosimea ma le fale suʻesuʻe i soo se taimi!
