Phần Halfmoon phủ than chì SiClà một thành phần chính được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là đối với thiết bị epitaxial SiC. Chúng tôi sử dụng công nghệ được cấp bằng sáng chế của mình để tạo ra bộ phận hình bán nguyệt có độ tinh khiết cực cao, độ đồng đều lớp phủ tốt và tuổi thọ tuyệt vời, cũng như khả năng chống hóa chất và tính ổn định nhiệt cao.
Vật liệu cơ bản: than chì có độ tinh khiết cao
Yêu cầu về độ tinh khiết:hàm lượng cacbon ≥99,99%, hàm lượng tro ≤5ppm, đảm bảo không có tạp chất kết tủa gây ô nhiễm lớp epitaxial ở nhiệt độ cao.
Ưu điểm về hiệu suất:
Độ dẫn nhiệt cao:Độ dẫn nhiệt ở nhiệt độ phòng đạt 150W/(m・K), gần bằng đồng và có khả năng truyền nhiệt nhanh chóng.
Hệ số giãn nở thấp:5×10-6/℃ (25-1000℃), phù hợp với chất nền silicon carbide (4.2×10-6/℃), làm giảm hiện tượng nứt lớp phủ do ứng suất nhiệt.
Độ chính xác xử lý:Dung sai kích thước ±0,05mm đạt được thông qua gia công CNC để đảm bảo độ kín của buồng.
Các ứng dụng khác nhau của CVD SiC và CVD TaC
| Lớp phủ | Quá trình | So sánh | Ứng dụng điển hình |
| CVD-SiC | Nhiệt độ: 1000-1200℃Áp suất: 10-100 Torr | Độ cứng HV2500, độ dày 50-100um, khả năng chống oxy hóa tuyệt vời (ổn định dưới 1600℃) | Lò epitaxial phổ thông, phù hợp với các môi trường thông thường như hydro và silan |
| CVD-TaC | Nhiệt độ: 1600-1800℃Áp suất: 1-10 Torr | Độ cứng HV3000, độ dày 20-50um, khả năng chống ăn mòn cực cao (có thể chịu được các loại khí ăn mòn như HCl, NH₃, v.v.) | Môi trường có tính ăn mòn cao (như thiết bị khắc và epitaxy GaN) hoặc các quy trình đặc biệt đòi hỏi nhiệt độ cực cao là 2600°C |
Kiểm tra chất lượng
Độ dày lớp phủ: máy đo độ dày bằng laser (độ chính xác ±1um) hoặc phân tích mặt cắt ngang SEM.
Độ bền liên kết: thử nghiệm trầy xước (tải trọng tới hạn > 50N) hoặc thử nghiệm siêu âm (tốc độ âm thanh > 5000m/s).
Khả năng chống ăn mòn: tỷ lệ mất khối lượng (<0,1 mg/cm²・h) được thử nghiệm trong môi trường HCl (5 vol%, 1600℃).
VET Energy là nhà sản xuất chuyên nghiệp tập trung vào hoạt động R&D và sản xuất các vật liệu tiên tiến cao cấp như than chì, silicon carbide, thạch anh, cũng như xử lý vật liệu như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ carbon thủy tinh, lớp phủ carbon nhiệt phân, v.v. Các sản phẩm được sử dụng rộng rãi trong quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.
Ưu điểm của VET Energy bao gồm:
• Nhà máy riêng và phòng thí nghiệm chuyên nghiệp;
• Mức độ tinh khiết và chất lượng hàng đầu trong ngành;
• Giá cả cạnh tranh & Thời gian giao hàng nhanh chóng;
• Nhiều quan hệ đối tác trong ngành trên toàn thế giới;
Chúng tôi hoan nghênh bạn đến thăm nhà máy và phòng thí nghiệm của chúng tôi bất cứ lúc nào!
