Phần hình bán nguyệt bằng than chì phủ SiCĐây là một thành phần quan trọng được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là đối với thiết bị ghép lớp SiC. Chúng tôi sử dụng công nghệ được cấp bằng sáng chế của mình để sản xuất phần hình bán nguyệt với độ tinh khiết cực cao, độ đồng nhất lớp phủ tốt và tuổi thọ sử dụng tuyệt vời, cũng như khả năng kháng hóa chất và ổn định nhiệt cao.
Vật liệu cơ bản: than chì có độ tinh khiết cao
Yêu cầu về độ tinh khiết:Hàm lượng carbon ≥99,99%, hàm lượng tro ≤5ppm, để đảm bảo không có tạp chất kết tủa làm ô nhiễm lớp màng mỏng ở nhiệt độ cao.
Ưu điểm về hiệu suất:
Độ dẫn nhiệt cao:Độ dẫn nhiệt ở nhiệt độ phòng đạt 150W/(m・K), gần bằng mức của đồng và có thể truyền nhiệt nhanh chóng.
Hệ số giãn nở thấp:5×10-6/℃ (25-1000℃), phù hợp với chất nền silicon carbide (4,2×10-6/℃), giúp giảm hiện tượng nứt vỡ lớp phủ do ứng suất nhiệt gây ra.
Độ chính xác xử lý:Độ dung sai kích thước ±0,05mm được đạt được thông qua gia công CNC để đảm bảo độ kín của buồng.
Ứng dụng khác biệt của SiC CVD và TaC CVD
| Lớp phủ | Quá trình | So sánh | Ứng dụng điển hình |
| CVD-SiC | Nhiệt độ: 1000-1200℃ Áp suất: 10-100 Torr | Độ cứng HV2500, độ dày 50-100µm, khả năng chống oxy hóa tuyệt vời (ổn định dưới 1600℃) | Lò nung màng mỏng đa năng, thích hợp cho các môi trường thông thường như hydro và silan. |
| CVD-TaC | Nhiệt độ: 1600-1800℃ Áp suất: 1-10 Torr | Độ cứng HV3000, độ dày 20-50µm, khả năng chống ăn mòn cực cao (có thể chịu được các khí ăn mòn như HCl, NH₃, v.v.) | Môi trường có tính ăn mòn cao (như thiết bị lắng đọng màng GaN và thiết bị khắc), hoặc các quy trình đặc biệt yêu cầu nhiệt độ cực cao lên đến 2600°C. |
Kiểm tra chất lượng
Độ dày lớp phủ: đo bằng máy đo độ dày laser (độ chính xác ±1µm) hoặc phân tích mặt cắt ngang bằng kính hiển vi điện tử quét (SEM).
Độ bền liên kết: thử nghiệm cào xước (tải trọng tới hạn > 50N) hoặc thử nghiệm siêu âm (vận tốc âm thanh > 5000m/s).
Khả năng chống ăn mòn: tốc độ hao hụt khối lượng (<0,1 mg/cm²・h) được kiểm tra trong môi trường HCl (5% thể tích, 1600℃).
VET Energy là nhà sản xuất chuyên nghiệp tập trung vào nghiên cứu và phát triển cũng như sản xuất các vật liệu cao cấp tiên tiến như than chì, cacbua silic, thạch anh, cũng như các công đoạn xử lý vật liệu như phủ SiC, phủ TaC, phủ cacbon thủy tinh, phủ cacbon nhiệt phân, v.v. Sản phẩm được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.
Ưu điểm của VET Energy bao gồm:
• Sở hữu nhà máy và phòng thí nghiệm chuyên nghiệp;
• Độ tinh khiết và chất lượng hàng đầu trong ngành;
• Giá cả cạnh tranh & Thời gian giao hàng nhanh chóng;
• Nhiều quan hệ đối tác trong ngành trên toàn thế giới;
Chúng tôi hoan nghênh quý khách đến thăm nhà máy và phòng thí nghiệm của chúng tôi bất cứ lúc nào!
