SiC-bedekte grafiet-halfmaanonderdeelis 'n sleutelkomponent wat in halfgeleiervervaardigingsprosesse gebruik word, veral vir SiC-epitaksiale toerusting. Ons gebruik ons gepatenteerde tegnologie om die halfmaanonderdeel met uiters hoë suiwerheid, goeie bedekkingseenvormigheid en 'n uitstekende lewensduur te vervaardig, sowel as hoë chemiese weerstand en termiese stabiliteitseienskappe.
Basismateriaal: hoë suiwerheid grafiet
Suiwerheidsvereistes:koolstofinhoud ≥99.99%, asinhoud ≤5 dpm, om te verseker dat geen onsuiwerhede neerslaan om die epitaksiale laag by hoë temperature te besoedel nie.
Prestasievoordele:
Hoë termiese geleidingsvermoë:Die termiese geleidingsvermoë by kamertemperatuur bereik 150 W/(m・K), wat naby die vlak van koper is en vinnig hitte kan oordra.
Lae uitbreidingskoëffisiënt:5×10-6/℃ (25-1000℃), wat ooreenstem met die silikonkarbied substraat (4.2×10-6/℃), wat die krake van die deklaag wat deur termiese spanning veroorsaak word, verminder.
Verwerkingsakkuraatheid:'n Dimensionele toleransie van ±0.05mm word deur CNC-bewerking bereik om die verseëling van die kamer te verseker.
Gedifferensieerde toepassings van CVD SiC en CVD TaC
| Bedekking | Proses | Vergelyking | Tipiese toepassing |
| CVD-SiC | Temperatuur: 1000-1200 ℃ Druk: 10-100 Torr | Hardheid HV2500, dikte 50-100um, uitstekende oksidasiebestandheid (stabiel onder 1600 ℃) | Universele epitaksiale oonde, geskik vir konvensionele atmosfere soos waterstof en silaan |
| CVD-TaC | Temperatuur: 1600-1800℃ Druk: 1-10 Torr | Hardheid HV3000, dikte 20-50um, uiters korrosiebestand (kan korrosiewe gasse soos HCl, NH₃, ens. weerstaan) | Hoogs korrosiewe omgewings (soos GaN-epitaksie- en etsapparatuur), of spesiale prosesse wat ultrahoë temperature van 2600°C vereis |
Gehalte-inspeksie
Laagdikte: laserdiktemeter (akkuraatheid ±1um) of SEM-dwarssnitanalise.
Bindsterkte: krastoets (kritieke las > 50N) of ultrasoniese toetsing (klanksnelheid > 5000m/s).
Korrosiebestandheid: massaverlieskoers (<0.1 mg/cm²・h) getoets in HCl-atmosfeer (5 vol%, 1600 ℃).
VET Energy is 'n professionele vervaardiger wat fokus op die navorsing en ontwikkeling en produksie van hoë-end gevorderde materiale soos grafiet, silikonkarbied, kwarts, sowel as die materiaalbehandeling soos SiC-bedekkings, TaC-bedekkings, glasagtige koolstofbedekkings, pirolitiese koolstofbedekkings, ens. Die produkte word wyd gebruik in fotovoltaïese, halfgeleier, nuwe energie, metallurgie, ens.
Ons tegniese span kom van top plaaslike navorsingsinstellings, kan meer professionele materiaaloplossings vir u bied.
VET Energie voordele sluit in:
• Eie fabriek en professionele laboratorium;
• Toonaangewende suiwerheidsvlakke en kwaliteit;
• Mededingende prys en vinnige afleweringstyd;
• Verskeie bedryfsvennootskappe wêreldwyd;
Ons nooi u uit om ons fabriek en laboratorium te eniger tyd te besoek!
