SiC-belagt grafitt halvmånedeler en nøkkelkomponent som brukes i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt for SiC epitaksialt utstyr. Vi bruker vår patenterte teknologi til å lage halvmånedelen med ekstremt høy renhet, god beleggjevnhet og utmerket levetid, samt høy kjemisk motstand og termiske stabilitetsegenskaper.
Basismateriale: grafitt med høy renhet
Renhetskrav:karboninnhold ≥99,99 %, askeinnhold ≤5 ppm, for å sikre at ingen urenheter utfelles som forurenser det epitaksiale laget ved høye temperaturer.
Ytelsesfordeler:
Høy varmeledningsevne:Varmeledningsevnen ved romtemperatur når 150 W/(m・K), som er nær nivået for kobber og kan raskt overføre varme.
Lav ekspansjonskoeffisient:5×10-6/℃ (25–1000℃), som matcher silisiumkarbidsubstratet (4,2 × 10-6/℃), noe som reduserer sprekkdannelser i belegget forårsaket av termisk stress.
Behandlingsnøyaktighet:En dimensjonstoleranse på ±0,05 mm oppnås gjennom CNC-maskinering for å sikre tetting av kammeret.
Differensierte anvendelser av CVD SiC og CVD TaC
| Belegg | Behandle | Sammenligning | Typisk bruk |
| CVD-SiC | Temperatur: 1000–1200 ℃ Trykk: 10–100 Torr | Hardhet HV2500, tykkelse 50-100um, utmerket oksidasjonsmotstand (stabil under 1600 ℃) | Universelle epitaksiale ovner, egnet for konvensjonelle atmosfærer som hydrogen og silan |
| CVD-TaC | Temperatur: 1600–1800 ℃ Trykk: 1–10 Torr | Hardhet HV3000, tykkelse 20–50 µm, ekstremt korrosjonsbestandig (tåler etsende gasser som HCl, NH₃ osv.) | Svært korrosive miljøer (som GaN-epitaksi og etseutstyr), eller spesielle prosesser som krever ultrahøye temperaturer på 2600 °C |
Kvalitetsinspeksjon
Beleggtykkelse: lasertykkelsesmåler (nøyaktighet ±1 um) eller SEM-tverrsnittsanalyse.
Bindingsstyrke: ripetest (kritisk belastning > 50 N) eller ultralydtesting (lydhastighet > 5000 m/s).
Korrosjonsbestandighet: massetap (<0,1 mg/cm²・t) testet i HCl-atmosfære (5 vol%, 1600 ℃).
VET Energy er en profesjonell produsent som fokuserer på forskning og utvikling og produksjon av avanserte materialer som grafitt, silisiumkarbid, kvarts, samt materialbehandling som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc. Produktene er mye brukt innen solcellepanel, halvledere, ny energi, metallurgi, etc.
Vårt tekniske team kommer fra ledende innenlandske forskningsinstitusjoner, og kan tilby deg mer profesjonelle materialløsninger.
VET Energys fordeler inkluderer:
• Egen fabrikk og profesjonelt laboratorium;
• Bransjeledende renhetsnivåer og kvalitet;
• Konkurransedyktig pris og rask leveringstid;
• Flere bransjepartnerskap over hele verden;
Vi ønsker deg velkommen til å besøke fabrikken og laboratoriet vårt når som helst!
