Polmesiacový diel s povlakom SiC z grafituje kľúčovou súčasťou používanou v procesoch výroby polovodičov, najmä pre epitaxné zariadenia SiC. Používame našu patentovanú technológiu na výrobu polmesiačikových dielov s extrémne vysokou čistotou, dobrou rovnomernosťou povlaku a vynikajúcou životnosťou, ako aj s vysokou chemickou odolnosťou a tepelnou stabilitou.
Základný materiál: vysoko čistý grafit
Požiadavky na čistotu:obsah uhlíka ≥99,99 %, obsah popola ≤5 ppm, aby sa zabezpečilo, že sa pri vysokých teplotách nevyzrážajú žiadne nečistoty, ktoré by mohli kontaminovať epitaxnú vrstvu.
Výhody výkonu:
Vysoká tepelná vodivosť:Tepelná vodivosť pri izbovej teplote dosahuje 150 W/(m·K), čo sa blíži úrovni medi a umožňuje rýchly prenos tepla.
Nízky koeficient rozťažnosti:5×10-6/℃ (25 – 1 000 ℃), zodpovedajúci substrátu z karbidu kremíka (4,2 × 10-6/℃), čo znižuje praskanie náteru spôsobené tepelným namáhaním.
Presnosť spracovania:Rozmerová tolerancia ±0,05 mm sa dosahuje CNC obrábaním, aby sa zabezpečilo utesnenie komory.
Diferencované aplikácie CVD SiC a CVD TaC
| Náter | Proces | Porovnanie | Typická aplikácia |
| CVD-SiC | Teplota: 1000-1200℃ Tlak: 10-100 Torr | Tvrdosť HV2500, hrúbka 50-100um, vynikajúca odolnosť voči oxidácii (stabilná pod 1600℃) | Univerzálne epitaxné pece vhodné pre konvenčné atmosféry, ako je vodík a silán |
| CVD-TaC | Teplota: 1600-1800℃ Tlak: 1-10 Torr | Tvrdosť HV3000, hrúbka 20-50um, extrémne odolná voči korózii (odoláva korozívnym plynom ako HCl, NH₃ atď.) | Vysoko korozívne prostredia (ako napríklad zariadenia na epitaxiu a leptanie GaN) alebo špeciálne procesy vyžadujúce ultravysoké teploty 2600 °C |
Kontrola kvality
Hrúbka povlaku: laserový hrúbkomer (presnosť ±1 μm) alebo prierezová analýza SEM.
Pevnosť spoja: skúška vrypom (kritické zaťaženie > 50 N) alebo ultrazvuková skúška (rýchlosť zvuku > 5000 m/s).
Odolnosť proti korózii: miera úbytku hmotnosti (<0,1 mg/cm²·h) testovaná v atmosfére HCl (5 obj. %, 1600 ℃).
Spoločnosť VET Energy je profesionálny výrobca zameraný na výskum, vývoj a výrobu špičkových pokročilých materiálov, ako je grafit, karbid kremíka, kremeň, ako aj na úpravu materiálov, ako je povlak SiC, povlak TaC, povlak zo skleného uhlíka, pyrolytický povlak uhlíka atď. Produkty sa široko používajú vo fotovoltaike, polovodičoch, novej energii, metalurgii atď.
Náš technický tím pochádza z popredných domácich výskumných inštitúcií a môže vám poskytnúť profesionálnejšie materiálové riešenia.
Výhody VET Energy zahŕňajú:
• Vlastná továreň a profesionálne laboratórium;
• Najvyššie úrovne čistoty a kvality v odvetví;
• Konkurencieschopná cena a rýchla dodacia lehota;
• Viaceré priemyselné partnerstvá po celom svete;
Kedykoľvek vás radi pozývame na návštevu našej továrne a laboratória!
