SiC húðaður grafít hálfmánahlutier lykilþáttur sem notaður er í framleiðsluferlum hálfleiðara, sérstaklega fyrir SiC epitaxial búnað. Við notum einkaleyfisvarða tækni okkar til að framleiða hálfmánahluti með afar miklum hreinleika, góðri einsleitni húðunar og frábærum endingartíma, sem og mikilli efnaþol og hitastöðugleika.
Grunnefni: grafít með mikilli hreinleika
Hreinleikakröfur:Kolefnisinnihald ≥99,99%, öskuinnihald ≤5 ppm, til að tryggja að engin óhreinindi falli út og mengi epitaxiallagið við háan hita.
Kostir við afköst:
Mikil varmaleiðni:Varmaleiðnin við stofuhita nær 150W/(m・K), sem er nálægt magni kopars og getur flutt varma hratt.
Lágur útvíkkunarstuðull:5×10-6/℃ (25-1000℃), sem passar við kísilkarbíð undirlagið (4,2 × 10-6/℃), sem dregur úr sprungum í húðuninni af völdum hitastreitu.
Nákvæmni vinnslu:Málsþol upp á ±0,05 mm er náð með CNC-vinnslu til að tryggja þéttingu hólfsins.
Mismunandi notkun CVD SiC og CVD TaC
| Húðun | Ferli | Samanburður | Dæmigert notkunarsvið |
| CVD-SiC | Hitastig: 1000-1200 ℃ Þrýstingur: 10-100 Torr | Hörku HV2500, þykkt 50-100µm, framúrskarandi oxunarþol (stöðugt undir 1600℃) | Alhliða epitaxial ofnar, hentugir fyrir hefðbundið andrúmsloft eins og vetni og silan |
| CVD-TaC | Hitastig: 1600-1800 ℃ Þrýstingur: 1-10 Torr | Hörku HV3000, þykkt 20-50µm, afar tæringarþolinn (þolir ætandi lofttegundir eins og HCl, NH₃ o.s.frv.) | Mjög ætandi umhverfi (eins og GaN epitaxí og etsunarbúnaður) eða sérstök ferli sem krefjast mjög hás hitastigs, allt að 2600°C. |
Gæðaeftirlit
Þykkt húðunar: leysigeislaþykktarmælir (nákvæmni ±1 µm) eða SEM þversniðsgreining.
Límstyrkur: rispupróf (gagnrýnin álag > 50N) eða ómskoðunarprófun (hljóðhraði > 5000m/s).
Tæringarþol: massatapshraði (<0,1 mg/cm²・klst.) prófaður í HCl andrúmslofti (5 rúmmáls%, 1600℃).
VET Energy er faglegur framleiðandi sem einbeitir sér að rannsóknum og þróun og framleiðslu á háþróuðum efnum eins og grafíti, kísilkarbíði, kvarsi, sem og efnismeðferð eins og SiC húðun, TaC húðun, gljáandi kolefnishúðun, hitaleiðandi kolefnishúðun o.s.frv. Vörurnar eru mikið notaðar í ljósorkuverum, hálfleiðurum, nýrri orku, málmvinnslu o.s.frv.
Tækniteymi okkar kemur frá fremstu innlendum rannsóknarstofnunum og getur veitt þér faglegri efnislausnir.
Kostir VET Energy eru meðal annars:
• Eigin verksmiðja og fagleg rannsóknarstofa;
• Hreinleikastig og gæði í fremstu röð í greininni;
• Samkeppnishæft verð og hraður afhendingartími;
• Fjölbreytt samstarf í greininni um allan heim;
Við bjóðum þér velkomin að heimsækja verksmiðju okkar og rannsóknarstofu hvenær sem er!
