VET Energy PECVD 로딩 트레이는 PECVD(플라즈마 강화 화학 기상 증착) 공정을 위해 설계된 정밀 캐리어입니다. 이 고품질 증착용 흑연 트레이는 고순도, 고밀도 흑연 소재로 제작되어 뛰어난 내열성, 내식성, 치수 안정성 등의 특성을 지니고 있습니다. PECVD 공정에 안정적인 플랫폼을 제공하여 박막 증착의 균일성과 평탄성을 보장합니다.
VET Energy의 PECVD 로딩 트레이는 반도체, 태양광, LED 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다. 예를 들면 다음과 같습니다.
▪ 반도체: 실리콘 웨이퍼 및 에피택셜 웨이퍼와 같은 반도체 재료용 PECVD 공정.
▪ 광전지: 태양전지 박막용 PECVD 공정.
▪ LED: LED 칩용 PECVD 공정.
제품 장점
▪영화 화질을 개선하세요:균일한 박막 증착을 보장하고 박막 품질을 향상시키십시오.
▪장비 수명 연장:탁월한 내식성으로 PECVD 장비의 수명을 연장합니다.
▪생산 비용 절감:고품질 흑연 트레이는 불량률을 줄이고 생산 비용을 절감할 수 있습니다.
SGL의 흑연 소재:
| 일반적인 매개변수: R6510 | |||
| 색인 | 시험 기준 | 값 | 단위 |
| 평균 입자 크기 | ISO 13320 | 10 | μm |
| 부피 밀도 | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| 개방형 다공성 | DIN66133 | 10 | % |
| 중간 크기 모공 | DIN66133 | 1.8 | μm |
| 침투성 | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| 로크웰 경도 HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| 비전기저항 | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| 굽힘 강도 | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| 압축 강도 | DIN 51910 | 130 | MPa |
| 영률 | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| 열팽창(20~200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| 열전도율(20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
이 장비는 고효율 태양전지 제조를 위해 특별히 설계되었으며, G12 대형 웨이퍼 공정을 지원합니다. 최적화된 캐리어 설계로 처리량이 크게 증가하여 수율이 향상되고 생산 비용이 절감됩니다.
| 목 | 유형 | 웨이퍼 캐리어 번호 |
| PEVCD 그레파이트 보트 - 156 시리즈 | 156-13 그레파이트 보트 | 144 |
| 156-19 그레파이트 보트 | 216 | |
| 156-21 그레파이트 보트 | 240 | |
| 156-23 그래파이트 보트 | 308 | |
| PEVCD 그레파이트 보트 - 125 시리즈 | 125-15 그레파이트 보트 | 196 |
| 125-19 그레파이트 보트 | 252 | |
| 125-21 그래파이트 보트 | 280 |
