Pladenj za nanašanje grafita s PECVD nalaganjem

Nalaganje grafita s pladnjem PECVD Izpostavljena slika

Kratek opis:

Nakladalni pladenj PECVD podjetja VET Energy je zasnovan tako, da zagotavlja varno in enakomerno oporo rezin med nanašanjem, kar izboljša doslednost in kakovost postopka nanašanja. Grafitni pladenj z odlično toplotno odpornostjo pomaga vzdrževati nadzorovano okolje znotraj komor PECVD, kar zmanjšuje tveganje kontaminacije in zagotavlja visoko učinkovitost procesa.

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

VET Energy PECVD nakladalni pladenj je precizni nosilec, zasnovan za postopek PECVD (plazemsko izboljšano kemično nanašanje iz pare). Ta visokokakovosten grafitni pladenj za nanašanje je izdelan iz visoko čistega grafita z visoko gostoto. Ima odlično odpornost na visoke temperature, korozijsko odpornost, dimenzijsko stabilnost in druge lastnosti. Zagotavlja stabilno nosilno platformo za postopek PECVD in enakomernost ter ravnost nanašanja filma.

VET Energy PECVD nakladalni pladnji se pogosto uporabljajo v polprevodniškem, fotovoltaičnem, LED in drugih področjih. Na primer:

▪ Polprevodniki: postopek PECVD za polprevodniške materiale, kot so silicijeve rezine in epitaksialne rezine.

▪ Fotovoltaika: postopek PECVD za tanke filme sončnih celic.

▪ LED: Postopek PECVD za LED čipe.

Prednosti izdelka

▪Izboljšajte kakovost filma:Zagotovite enakomerno nanašanje filma in izboljšajte kakovost filma.

▪Podaljšajte življenjsko dobo opreme:Odlična odpornost proti koroziji, podaljša življenjsko dobo opreme PECVD.

▪Zmanjšajte proizvodne stroške:Visokokakovostni grafitni pladnji lahko zmanjšajo stopnjo odpadkov in znižajo proizvodne stroške.

Grafitni material iz SGL:

Tipični parameter: R6510
Kazalo	Preskusni standard	Vrednost	Enota
Povprečna velikost zrn	ISO 13320	10	μm
Gostota v razsutem stanju	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Odprta poroznost	DIN66133	10	%
Srednja velikost por	DIN66133	1,8	μm
Prepustnost	DIN 51935	0,06	cm²/s
Trdota po Rockwellu HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifična električna upornost	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Upogibna trdnost	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Tlačna trdnost	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Toplotni raztezek (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Toplotna prevodnost (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Zasnovan je posebej za visoko učinkovito proizvodnjo sončnih celic in podpira obdelavo rezin velike velikosti G12. Optimizirana zasnova nosilcev znatno poveča prepustnost, kar omogoča višji izkoristek in nižje proizvodne stroške.

Predmet	Vrsta	Nosilec rezin s številko
PEVCD Grephite čoln - Serija 156	156-13 grefitni čoln	144
	156-19 gramofilasti čoln	216
	156-21 grefitni čoln	240
	Grafitni čoln 156-23	308
PEVCD čoln Grephite - serija 125	125-15 grefitni čoln	196
	125-19 gramofilasti čoln	252
	Grafitni čoln 125-21	280