Baki Pemuatan PECVD Baki Deposisi Grafit

Gambar Unggulan Baki Pemuatan PECVD Baki Grafit Déposisi

Pedaran Singkat:

Baki Pemuatan PECVD VET Energy dirancang pikeun nyayogikeun dukungan anu aman sareng rata pikeun wafer nalika pengendapan, ningkatkeun konsistensi sareng kualitas prosés pengendapan. Kalayan résistansi panas anu saé, Baki Grafit ngabantosan ngajaga lingkungan anu dikontrol di jero rohangan PECVD, ngirangan résiko kontaminasi sareng mastikeun efisiensi prosés anu luhur.

Kirim email ka kami Unduh salaku PDF

Rincian Produk

Tag Produk

Baki pangmuatan VET Energy PECVD nyaéta wadah pamawa presisi anu dirancang pikeun prosés PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Baki grafit déposisi kualitas luhur ieu didamel tina bahan grafit kapadetan luhur anu murni sareng luhur. Éta ngagaduhan résistansi suhu luhur anu saé, résistansi korosi, stabilitas diménsi sareng ciri-ciri sanésna. Éta tiasa nyayogikeun platform pamawa anu stabil pikeun prosés PECVD sareng mastikeun kaseragaman sareng karataan déposisi pilem.

Baki loading PECVD VET Energy loba dipaké dina widang semikonduktor, fotovoltaik, LED sareng widang sanésna. Salaku conto:

▪ Semikonduktor: Prosés PECVD pikeun bahan semikonduktor sapertos wafer silikon sareng wafer epitaksial.

▪ Fotovoltaik: Prosés PECVD pikeun pilem ipis sél surya.

▪ LED: Prosés PECVD pikeun chip LED.

Kaunggulan Produk

▪Ningkatkeun kualitas pilem:Mastikeun déposisi pilem anu seragam sareng ningkatkeun kualitas pilem.

▪Manjangkeun umur alat:Résistansi korosi anu saé, manjangkeun umur jasa peralatan PECVD.

▪Ngurangan biaya produksi:Baki grafit anu kualitasna luhur tiasa ngirangan laju runtah sareng ngirangan biaya produksi.

Bahan grafit tina SGL:

Parameter has: R6510
Indéks	Standar tés	Nilai	Unit
Ukuran butir rata-rata	ISO 13320	10	μm
Kapadetan curah	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porositas kabuka	DIN66133	10	%
Ukuran pori sedeng	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitas	DIN 51935	0.06	cm²/dtk
Karasa Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Résistansi listrik spésifik	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Kakuatan fléksibel	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kakuatan komprési	DIN 51910	130	MPa
Modulus Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Ékspansi termal (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduktivitas termal (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ieu dirancang khusus pikeun manufaktur sél surya efisiensi tinggi, ngadukung pamrosésan wafer ukuran ageung G12. Desain pamawa anu dioptimalkeun sacara signifikan ningkatkeun throughput, ngamungkinkeun tingkat hasil anu langkung luhur sareng biaya produksi anu langkung handap.

Barang	Tipe	Pembawa wafer nomer
Parahu PEVCD Grefit - Séri 156	156-13 parahu grefit	144
	156-19 parahu grefit	216
	156-21 parahu grefit	240
	Parahu grafit 156-23	308
Parahu PEVCD Grefit - Séri 125	Parahu grefit 125-15	196
	Parahu grefit 125-19	252
	Parahu grifit 125-21	280