ถาดบรรจุชิ้นงาน PECVD ของ VET Energy เป็นถาดรองรับชิ้นงานที่มีความแม่นยำสูง ออกแบบมาสำหรับกระบวนการ PECVD (การตกตะกอนไอสารเคมีด้วยพลาสมา) ถาดกราไฟต์คุณภาพสูงนี้ผลิตจากวัสดุกราไฟต์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและมีความหนาแน่นสูง มีคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน มีเสถียรภาพทางมิติ และคุณลักษณะอื่นๆ ที่ยอดเยี่ยม สามารถให้แพลตฟอร์มรองรับที่มั่นคงสำหรับกระบวนการ PECVD และรับประกันความสม่ำเสมอและความเรียบของฟิล์มที่ตกตะกอน
ถาดโหลด PECVD ของ VET Energy ถูกนำไปใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โซลาร์เซลล์ LED และสาขาอื่นๆ ตัวอย่างเช่น:
▪ สารกึ่งตัวนำ: กระบวนการ PECVD สำหรับวัสดุสารกึ่งตัวนำ เช่น แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนและแผ่นเวเฟอร์แบบเอพิแท็กเซียล
▪ เซลล์แสงอาทิตย์: กระบวนการ PECVD สำหรับฟิล์มบางของเซลล์แสงอาทิตย์
▪ LED: กระบวนการ PECVD สำหรับชิป LED
ข้อดีของผลิตภัณฑ์
▪ปรับปรุงคุณภาพของภาพยนตร์:ช่วยให้การเคลือบฟิล์มมีความสม่ำเสมอและปรับปรุงคุณภาพของฟิล์มให้ดีขึ้น
▪ยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์:ทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม ช่วยยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์ PECVD
▪ลดต้นทุนการผลิต:ถาดกราไฟต์คุณภาพสูงสามารถลดอัตราของเสียและลดต้นทุนการผลิตได้
วัสดุกราไฟต์จาก SGL:
| พารามิเตอร์ทั่วไป: R6510 | |||
| ดัชนี | มาตรฐานการทดสอบ | ค่า | หน่วย |
| ขนาดเมล็ดโดยเฉลี่ย | ไอโอเอส 13320 | 10 | ไมโครเมตร |
| ความหนาแน่นรวม | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | กรัม/ซม.3 |
| รูพรุนเปิด | DIN66133 | 10 | % |
| ขนาดรูพรุนปานกลาง | DIN66133 | 1.8 | ไมโครเมตร |
| การซึมผ่าน | DIN 51935 | 0.06 | ซม.²/วินาที |
| ความแข็งระดับร็อคเวลล์ HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| ความต้านทานไฟฟ้าจำเพาะ | DIN IEC 60413/402 | 13 | ไมโครโอห์ม |
| ความแข็งแรงดัดงอ | DIN IEC 60413/501 | 60 | เมกะปาสคาล |
| ความแข็งแรงในการรับแรงอัด | DIN 51910 | 130 | เมกะปาสคาล |
| โมดูลัสของยัง | DIN 51915 | 11.5×10³ | เมกะปาสคาล |
| การขยายตัวเนื่องจากความร้อน (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2x10-6 | K-1 |
| ค่าการนำความร้อน (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ประสิทธิภาพสูง รองรับการประมวลผลเวเฟอร์ขนาดใหญ่ G12 การออกแบบตัวนำที่เหมาะสมที่สุดช่วยเพิ่มปริมาณงานอย่างมีนัยสำคัญ ทำให้ได้อัตราผลผลิตที่สูงขึ้นและต้นทุนการผลิตที่ต่ำลง
| รายการ | พิมพ์ | หมายเลขแผ่นเวเฟอร์ |
| เรือ PEVCD Grephite รุ่น 156 | 156-13 เรือเกรไฟต์ | 144 |
| 156-19 เรือเกรไฟต์ | 216 | |
| 156-21 เรือเกรไฟต์ | 240 | |
| เรือกราไฟต์ 156-23 | 308 | |
| เรือ PEVCD Grephite รุ่น 125 | เรือเกรไฟต์ 125-15 | 196 |
| เรือเกรไฟต์ 125-19 | 252 | |
| เรือกราไฟต์ 125-21 | 280 |
