ถาดโหลด PECVD ถาดกราไฟท์สำหรับการสะสม

คำอธิบายสั้น ๆ :

ถาดบรรจุ PECVD ของ VET Energy ออกแบบมาเพื่อรองรับเวเฟอร์อย่างมั่นคงและสม่ำเสมอระหว่างการสะสม ช่วยเพิ่มความสม่ำเสมอและคุณภาพของกระบวนการการสะสม ด้วยความทนทานต่อความร้อนที่ยอดเยี่ยม ถาดกราไฟต์จึงช่วยรักษาสภาพแวดล้อมที่ควบคุมได้ภายในห้อง PECVD ลดความเสี่ยงต่อการปนเปื้อนและรับประกันประสิทธิภาพของกระบวนการสูง

ส่งอีเมล์ถึงเรา ดาวน์โหลดเป็น PDF

รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

ถาดโหลด PECVD ของ VET Energy เป็นพาหะที่มีความแม่นยำที่ออกแบบมาสำหรับกระบวนการ PECVD (การสะสมไอเคมีด้วยพลาสม่าที่ปรับปรุง) ถาดกราไฟต์สำหรับการสะสมคุณภาพสูงนี้ทำจากวัสดุกราไฟต์ที่มีความบริสุทธิ์และความหนาแน่นสูง มีคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน มีเสถียรภาพของมิติ และคุณสมบัติอื่นๆ ที่ยอดเยี่ยม ถาดนี้สามารถใช้เป็นแพลตฟอร์มพาหะที่เสถียรสำหรับกระบวนการ PECVD และรับประกันความสม่ำเสมอและความเรียบของการสะสมฟิล์ม

ถาดโหลด VET Energy PECVD ใช้กันอย่างแพร่หลายในเซมิคอนดักเตอร์ โฟโตวอลตาอิค LED และสาขาอื่นๆ ตัวอย่างเช่น:

▪ เซมิคอนดักเตอร์: กระบวนการ PECVD สำหรับวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ เช่น เวเฟอร์ซิลิกอนและเวเฟอร์อิพิแทกเซียล

▪ โฟโตวอลตาอิค: กระบวนการ PECVD สำหรับฟิล์มบางเซลล์แสงอาทิตย์

▪ LED: กระบวนการ PECVD สำหรับชิป LED

ข้อดีของผลิตภัณฑ์

ปรับปรุงคุณภาพฟิล์ม:รับประกันการสะสมฟิล์มที่สม่ำเสมอและปรับปรุงคุณภาพฟิล์ม

ยืดอายุการใช้งานอุปกรณ์:ทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม ช่วยยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์ PECVD

ลดต้นทุนการผลิต:ถาดกราไฟท์คุณภาพสูงสามารถลดอัตราเศษวัสดุและลดต้นทุนการผลิตได้

วัสดุกราไฟท์จาก SGL:

พารามิเตอร์ทั่วไป: R6510
ดัชนี	มาตรฐานการทดสอบ	ค่า	หน่วย
ขนาดเมล็ดเฉลี่ย	มาตราฐาน ISO 13320	10	ไมโครเมตร
ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม	มาตรฐาน DIN IEC 60413/204	1.83	กรัม/ซม.³
รูพรุนเปิด	DIN66133	10	%
ขนาดรูพรุนปานกลาง	DIN66133	1.8	ไมโครเมตร
ความสามารถในการซึมผ่าน	ดินแดง 51935	0.06	ซม²/วินาที
ความแข็งร็อคเวลล์ HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
ค่าความต้านทานไฟฟ้าจำเพาะ	มาตรฐาน DIN IEC 60413/402	13	ไมโครΩm
ความแข็งแรงในการดัดงอ	มาตรฐาน DIN IEC 60413/501	60	เมกะปาสคาล
ความแข็งแรงในการบีบอัด	ดินแดง 51910	130	เมกะปาสคาล
โมดูลัสของยัง	ดินแดง 51915	11.5×10³	เมกะปาสคาล
การขยายตัวเนื่องจากความร้อน (20-200℃)	ดินแดง 51909	4.2X10^-6	K^-1
การนำความร้อน (20℃)	ดินแดง 51908	105	Wm^-1K^-1

ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ประสิทธิภาพสูง รองรับการประมวลผลเวเฟอร์ขนาดใหญ่ G12 การออกแบบตัวพาที่ปรับให้เหมาะสมจะช่วยเพิ่มปริมาณงานได้อย่างมาก ทำให้มีอัตราผลตอบแทนที่สูงขึ้นและต้นทุนการผลิตที่ต่ำลง

รายการ	พิมพ์	ผู้ให้บริการเวเฟอร์ตัวเลข
เรือ PEVCD Grephite - ซีรีส์ 156	156-13 เรือเกรไฟต์	144
	156-19 เรือเกรไฟต์	216
	156-21 เรือเกรไฟต์	240
	เรือกราไฟท์ 156-23	308
เรือ PEVCD Grephite - ซีรีส์ 125	เรือเกรไฟท์ 125-15	196
	เรือเกรไฟท์ 125-19	252
	เรือกราไฟท์ 125-21	280