PECVD зареждаща тава, графитна тава за отлагане

PECVD зареждаща тава отлагане графитна тава представено изображение

Кратко описание:

PECVD зареждащата тава на VET Energy е проектирана да осигурява сигурна и равномерна опора за пластините по време на отлагане, подобрявайки постоянството и качеството на процеса на отлагане. Със своята отлична устойчивост на топлина, графитната тава помага за поддържане на контролирана среда вътре в PECVD камерите, намалявайки риска от замърсяване и осигурявайки висока ефективност на процеса.

Изпратете ни имейл Изтегляне като PDF

Детайли за продукта

Етикети на продукти

Зареждащата тава VET Energy PECVD е прецизен носач, проектиран за PECVD (плазмено усилено химическо отлагане от пари) процес. Тази висококачествена графитна тава за отлагане е изработена от високочист графитен материал с висока плътност. Тя има отлична устойчивост на високи температури, устойчивост на корозия, размерна стабилност и други характеристики. Тя може да осигури стабилна платформа за PECVD процеса и да гарантира равномерност и плоскост на отлагането на филма.

Зареждащите тави VET Energy PECVD се използват широко в полупроводниковата, фотоволтаичната, LED и други области. Например:

▪ Полупроводници: PECVD процес за полупроводникови материали като силициеви пластини и епитаксиални пластини.

▪ Фотоволтаични: PECVD процес за тънки филми от слънчеви клетки.

▪ LED: PECVD процес за LED чипове.

Предимства на продукта

▪Подобряване на качеството на филма:Осигурете равномерно отлагане на филма и подобрете качеството му.

▪Удължете живота на оборудването:Отлична устойчивост на корозия, удължава експлоатационния живот на PECVD оборудването.

▪Намалете производствените разходи:Висококачествените графитни тави могат да намалят процента на брак и да намалят производствените разходи.

Графитен материал от SGL:

Типичен параметър: R6510
Индекс	Стандарт за изпитване	Стойност	Единица
Среден размер на зърната	ISO 13320	10	μm
Насипна плътност	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Отворена порьозност	DIN66133	10	%
Среден размер на порите	DIN66133	1.8	μm
Пропускливост	ДИН 51935	0,06	см²/с
Твърдост по Рокуел HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Специфично електрическо съпротивление	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Якост на огъване	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Якост на натиск	ДИН 51910	130	МПа
Модул на Юнг	ДИН 51915	11,5×10³	МПа
Термично разширение (20-200℃)	ДИН 51909	4.2X10^-6	K^-1
Топлопроводимост (20℃)	ДИН 51908	105	Wm^-1K^-1

Той е специално проектиран за производство на високоефективни слънчеви клетки, поддържайки обработка на големи пластини G12. Оптимизираният дизайн на носачите значително увеличава производителността, което позволява по-високи нива на добив и по-ниски производствени разходи.

Елемент	Тип	Номер на носител на пластина
PEVCD Grephite лодка - серия 156	156-13 грефитна лодка	144
	156-19 грефитова лодка	216
	156-21 грефитова лодка	240
	156-23 графитна лодка	308
PEVCD Grephite лодка - серия 125	125-15 грефитова лодка	196
	125-19 грефитова лодка	252
	125-21 графитна лодка	280