PECVD Ŝarĝa Pleto Deponejo Grafita Pleto

Mallonga Priskribo:

La ŝarĝa pleto PECVD de VET Energy estas desegnita por provizi sekuran kaj egalan subtenon por obleoj dum la deponado, plibonigante la konsistencon kaj kvaliton de la deponada procezo. Kun sia bonega varmorezisto, la grafita pleto helpas konservi kontrolitan medion ene de PECVD-kameroj, reduktante la riskon de poluado kaj certigante altan procezan efikecon.

Sendu retpoŝton al ni Elŝuti kiel PDF

Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

La ŝarĝa pleto de VET Energy PECVD estas preciza portanto desegnita por la procezo PECVD (plasma plibonigita kemia vapora deponado). Ĉi tiu altkvalita depona grafita pleto estas farita el altpureca, altdenseca grafita materialo. Ĝi havas bonegan reziston al altaj temperaturoj, korodreziston, dimensian stabilecon kaj aliajn karakterizaĵojn. Ĝi povas provizi stabilan portantan platformon por la PECVD-procezo kaj certigi la homogenecon kaj platecon de la filmdeponado.

Ŝarĝplatoj de VET Energy PECVD estas vaste uzataj en duonkonduktaĵoj, fotovoltaiko, LED kaj aliaj kampoj. Ekzemple:

▪ Duonkonduktaĵo: PECVD-procezo por duonkonduktaĵaj materialoj kiel ekzemple siliciaj obletoj kaj epitaksiaj obletoj.

▪ Fotovoltaiko: PECVD-procezo por maldikaj filmoj de sunĉeloj.

▪ LED: PECVD-procezo por LED-ĉipoj.

Produktaj Avantaĝoj

▪Plibonigi la filmkvaliton:Certigu unuforman filmdemetadon kaj plibonigu la filmkvaliton.

▪Plilongigi la vivdaŭron de ekipaĵo:Bonega korodrezisto, plilongigas la servodaŭron de PECVD-ekipaĵo.

▪Malpliigi produktokostojn:Altkvalitaj grafitaj pletoj povas redukti ruboftecon kaj redukti produktokostojn.

Grafita materialo de SGL:

Tipa parametro: R6510
Indekso	Testnormo	Valoro	Unuo
Meza grengrandeco	ISO 13320	10	μm
Groca denseco	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³³
Malferma poreco	DIN66133	10	%
Meza porgrandeco	DIN66133	1.8	μm
Permeablo	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell-malmoleco HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifa elektra rezisteco	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Fleksforto	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kunprema forto	DIN 51910	130	MPa
Modulo de Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Termika ekspansio (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Termika konduktiveco (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ĝi estas specife desegnita por alt-efikeca fabrikado de sunĉeloj, subtenante la prilaboradon de grand-grandaj oblatoj G12. Optimumigita dezajno de portanto signife pliigas la trairon, ebligante pli altajn rendimentojn kaj pli malaltajn produktokostojn.

Ero	Tipo	Numero-oblato-portanto
PEVCD Grephite-boato - La serio 156	156-13 grefita boato	144
	156-19 grefita boato	216
	156-21 grefita boato	240
	156-23 grafita boato	308
PEVCD Grephite-boato - La 125-serio	125-15 grefita boato	196
	125-19 grefita boato	252
	125-21 grafita boato	280