PECVD posuda za punjenje, posuda za taloženje grafita

PECVD posuda za punjenje Grafitna posuda za taloženje Istaknuta slika

Kratak opis:

VET Energy PECVD posuda za punjenje dizajnirana je da pruži sigurnu i ravnomjernu potporu za pločice tokom taloženja, poboljšavajući konzistentnost i kvalitet procesa taloženja. Svojom odličnom otpornošću na toplinu, grafitna posuda pomaže u održavanju kontroliranog okruženja unutar PECVD komora, smanjujući rizik od kontaminacije i osiguravajući visoku efikasnost procesa.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmi kao PDF

Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

VET Energy PECVD nosač za punjenje je precizni nosač dizajniran za PECVD (plazma poboljšano hemijsko taloženje iz pare) proces. Ovaj visokokvalitetni grafitni nosač za taloženje izrađen je od grafitnog materijala visoke čistoće i gustine. Ima odličnu otpornost na visoke temperature, otpornost na koroziju, dimenzionalnu stabilnost i druge karakteristike. Može pružiti stabilnu platformu nosača za PECVD proces i osigurati ujednačenost i ravnost taloženja filma.

VET Energy PECVD utovarne ladice se široko koriste u poluprovodničkim, fotonaponskim, LED i drugim oblastima. Na primjer:

▪ Poluprovodnici: PECVD proces za poluprovodničke materijale kao što su silicijumske pločice i epitaksijalne pločice.

▪ Fotovoltaika: PECVD proces za tanke filmove solarnih ćelija.

▪ LED: PECVD proces za LED čipove.

Prednosti proizvoda

▪Poboljšajte kvalitet filma:Osigurajte ravnomjerno nanošenje filma i poboljšajte kvalitet filma.

▪Produžite vijek trajanja opreme:Odlična otpornost na koroziju, produžava vijek trajanja PECVD opreme.

▪Smanjite troškove proizvodnje:Visokokvalitetne grafitne posude mogu smanjiti stopu otpada i smanjiti troškove proizvodnje.

Grafitni materijal od SGL-a:

Tipični parametar: R6510
Indeks	Standard ispitivanja	Vrijednost	Jedinica
Prosječna veličina zrna	ISO 13320	10	μm
Gustina zapremine	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otvorena poroznost	DIN66133	10	%
Srednja veličina pora	DIN66133	1.8	μm
Propustljivost	DIN 51935	0,06	cm²/s
Tvrdoća po Rockwellu HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifična električna otpornost	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Čvrstoća na savijanje	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Tlačna čvrstoća	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termičko širenje (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Toplotna provodljivost (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Posebno je dizajniran za visokoefikasnu proizvodnju solarnih ćelija, podržavajući obradu velikih G12 pločica. Optimizovani dizajn nosača značajno povećava protok, omogućavajući veće stope prinosa i niže troškove proizvodnje.

Stavka	Tip	Nosač pločice s brojem
PEVCD Grephite brod - Serija 156	156-13 gramofolani brod	144
	156-19 gramofolani brod	216
	156-21 gramofolani brod	240
	156-23 grafitni čamac	308
PEVCD Grephite brod - Serija 125	125-15 gramofosni čamac	196
	125-19 gramofolani čamac	252
	125-21 grafitni čamac	280