Bandeja de carga PECVD Bandeja de grafito para deposición

Imagen destacada de la bandeja de carga PECVD y la bandeja de grafito para deposición

Descripción breve:

La bandeja de carga PECVD de VET Energy está diseñada para proporcionar un soporte seguro y uniforme a las obleas durante la deposición, mejorando la consistencia y la calidad del proceso. Gracias a su excelente resistencia térmica, la bandeja de grafito ayuda a mantener un ambiente controlado dentro de las cámaras PECVD, reduciendo el riesgo de contaminación y garantizando una alta eficiencia del proceso.

Envíanos un correo electrónico Descargar como PDF

Detalle del producto

Etiquetas de productos

La bandeja de carga PECVD de VET Energy es un soporte de precisión diseñado para el proceso PECVD (deposición química en fase de vapor mejorada por plasma). Esta bandeja de grafito de alta calidad está fabricada con grafito de alta pureza y alta densidad. Ofrece excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, estabilidad dimensional y otras características. Proporciona una plataforma estable para el proceso PECVD y garantiza la uniformidad y planitud de la deposición de película.

Las bandejas de carga PECVD de VET Energy se utilizan ampliamente en semiconductores, fotovoltaica, LED y otros campos. Por ejemplo:

▪ Semiconductores: Proceso PECVD para materiales semiconductores como obleas de silicio y obleas epitaxiales.

▪ Fotovoltaica: Proceso PECVD para películas delgadas de células solares.

▪ LED: Proceso PECVD para chips LED.

Ventajas del producto

▪Mejorar la calidad de la película:Asegúrese de que la deposición de la película sea uniforme y mejore su calidad.

▪Prolongar la vida útil del equipo:Excelente resistencia a la corrosión, prolonga la vida útil de los equipos PECVD.

▪Reducir los costos de producción:Las bandejas de grafito de alta calidad pueden reducir la tasa de desechos y los costos de producción.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de prueba	Valor	Unidad
Tamaño medio de grano	ISO 13320	10	micras
Densidad aparente	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porosidad abierta	DIN66133	10	%
Tamaño de poro medio	DIN66133	1.8	micras
Permeabilidad	DIN 51935	0.06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	Norma DIN IEC60413/303	90	HR
Resistividad eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistencia a la flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistencia a la compresión	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductividad térmica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está diseñado específicamente para la fabricación de células solares de alta eficiencia, compatible con el procesamiento de obleas G12 de gran tamaño. El diseño optimizado del portador aumenta significativamente el rendimiento, lo que permite un mayor rendimiento y menores costos de producción.

Artículo	Tipo	Número de portador de obleas
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 156	156-13 barco de grefitos	144
	156-19 barco de grefitos	216
	156-21 barco de grefitos	240
	Barco de grafito 156-23	308
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 125	Barco de grefito 125-15	196
	Barco de grefitos 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280