Bandeja de carga PECVD Deposición de bandeja de grafito

Bandeja de carga PECVD Deposición Bandeja de grafito Imagen destacada

Breve descripción:

La bandeja de carga PECVD de VET Energy está diseñada para proporcionar un soporte seguro y uniforme a las obleas durante la deposición, mejorando la consistencia y la calidad del proceso. Gracias a su excelente resistencia al calor, la bandeja de grafito ayuda a mantener un entorno controlado dentro de las cámaras PECVD, reduciendo el riesgo de contaminación y garantizando una alta eficiencia del proceso.

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Detalles del producto

Etiquetas de producto

La bandeja de carga PECVD de VET Energy es un soporte de precisión diseñado para el proceso PECVD (deposición química en fase vapor asistida por plasma). Esta bandeja de grafito de alta calidad está fabricada con grafito de alta pureza y densidad. Posee una excelente resistencia a altas temperaturas, a la corrosión y una gran estabilidad dimensional, entre otras características. Proporciona una plataforma de soporte estable para el proceso PECVD y garantiza la uniformidad y planitud de la deposición de la película.

Las bandejas de carga PECVD de VET Energy se utilizan ampliamente en los sectores de semiconductores, fotovoltaica, LED y otros. Por ejemplo:

▪ Semiconductores: Proceso PECVD para materiales semiconductores como obleas de silicio y obleas epitaxiales.

▪ Fotovoltaica: Proceso PECVD para películas delgadas de células solares.

▪ LED: Proceso PECVD para chips LED.

Ventajas del producto

▪Mejorar la calidad de la película:Garantizar una deposición uniforme de la película y mejorar su calidad.

▪Prolongue la vida útil de sus equipos:Excelente resistencia a la corrosión, lo que prolonga la vida útil de los equipos PECVD.

▪Reducir los costos de producción:Las bandejas de grafito de alta calidad pueden reducir la tasa de desperdicio y disminuir los costos de producción.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de prueba	Valor	Unidad
Tamaño medio del grano	ISO 13320	10	μm
Densidad aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosidad abierta	DIN66133	10	%
Tamaño de poro medio	DIN66133	1.8	μm
Permeabilidad	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
resistividad eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistencia a la flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistencia a la compresión	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductividad térmica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está diseñado específicamente para la fabricación de células solares de alta eficiencia, compatible con el procesamiento de obleas de gran tamaño G12. El diseño optimizado del soporte aumenta significativamente el rendimiento, lo que permite mayores tasas de producción y menores costos.

Artículo	Tipo	Portador de oblea numérica
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 156	Barco de grefita 156-13	144
	Barco de grefita 156-19	216
	Barco de grefita 156-21	240
	Barco de grafito 156-23	308
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 125	Barco de grefito 125-15	196
	Barco de grefito 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280