Лоток для загрузки PECVD, лоток для осаждения графита

Изображение лотка для загрузки PECVD-материала и осаждения графита.

Краткое описание:

Лоток для загрузки пластин PECVD от VET Energy разработан для обеспечения надежной и равномерной поддержки пластин во время осаждения, что повышает стабильность и качество процесса осаждения. Благодаря превосходной термостойкости графитовый лоток помогает поддерживать контролируемую среду внутри камер PECVD, снижая риск загрязнения и обеспечивая высокую эффективность процесса.

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Подробная информация о товаре

Метки товаров

Лоток для загрузки VET Energy PECVD — это прецизионный держатель, разработанный для процесса PECVD (плазменно-усиленное химическое осаждение из газовой фазы). Этот высококачественный графитовый лоток для осаждения изготовлен из высокочистого графита высокой плотности. Он обладает превосходной термостойкостью, коррозионной стойкостью, стабильностью размеров и другими характеристиками. Он обеспечивает стабильную платформу для процесса PECVD и гарантирует равномерность и плоскостность осаждения пленки.

Загрузочные лотки VET Energy PECVD широко используются в полупроводниковой, фотоэлектрической, светодиодной и других отраслях. Например:

▪ Полупроводники: Процесс PECVD для полупроводниковых материалов, таких как кремниевые пластины и эпитаксиальные пластины.

▪ Фотовольтаика: процесс PECVD для получения тонких пленок солнечных элементов.

▪ Светодиод: Технология PECVD для производства светодиодных чипов.

Преимущества продукта

▪Улучшить качество пленки:Обеспечьте равномерное нанесение пленки и улучшите ее качество.

▪Продлите срок службы оборудования:Превосходная коррозионная стойкость, продлевает срок службы оборудования для PECVD.

▪Снижение производственных затрат:Высококачественные графитовые лотки позволяют снизить процент брака и сократить производственные затраты.

Графитовый материал от SGL:

Типичный параметр: R6510
Индекс	Стандарт тестирования	Ценить	Единица
Средний размер зерна	ISO 13320	10	мкм
Объемная плотность	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Открытая пористость	DIN66133	10	%
Средний размер пор	DIN66133	1.8	мкм
Проницаемость	DIN 51935	0,06	см²/с
Твердость по Роквеллу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Удельное электрическое сопротивление	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
прочность на изгиб	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Прочность на сжатие	DIN 51910	130	МПа
Модуль Юнга	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Тепловое расширение (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Теплопроводность (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Она специально разработана для высокоэффективного производства солнечных элементов и поддерживает обработку крупногабаритных пластин G12. Оптимизированная конструкция носителя значительно увеличивает производительность, обеспечивая более высокий выход годной продукции и снижение производственных затрат.

Элемент	Тип	Номер носителя пластины
Судно Grephite с системой PEVCD — серия 156.	156-13 грефитская лодка	144
	156-19 грефитская лодка	216
	156-21 грефитская лодка	240
	156-23 графитовая лодка	308
Лодка Grephite с двигателем PEVCD — серия 125.	125-15 грефитская лодка	196
	125-19 грефитская лодка	252
	125-21 лодка из графита	280