Загрузочный лоток PECVD Графитовый лоток для осаждения

Лоток для загрузки PECVD Лоток для осаждения графита Главное изображение

Краткое описание:

Загрузочный лоток PECVD от VET Energy предназначен для обеспечения надежной и равномерной поддержки пластин во время осаждения, что улучшает последовательность и качество процесса осаждения. Благодаря своей превосходной термостойкости графитовый лоток помогает поддерживать контролируемую среду внутри камер PECVD, снижая риск загрязнения и обеспечивая высокую эффективность процесса.

Напишите нам письмо Загрузить как PDF

Подробности продукта

Теги продукта

Загрузочный лоток VET Energy PECVD — это прецизионный носитель, разработанный для процесса PECVD (плазменное химическое осаждение из паровой фазы). Этот высококачественный графитовый лоток для осаждения изготовлен из высокочистого, высокоплотного графитового материала. Он обладает превосходной устойчивостью к высоким температурам, коррозионной стойкостью, размерной стабильностью и другими характеристиками. Он может обеспечить стабильную платформу носителя для процесса PECVD и гарантировать однородность и плоскостность осаждения пленки.

Загрузочные лотки VET Energy PECVD широко используются в полупроводниковой, фотоэлектрической, светодиодной и других областях. Например:

▪ Полупроводники: процесс PECVD для полупроводниковых материалов, таких как кремниевые пластины и эпитаксиальные пластины.

▪ Фотоэлектричество: процесс PECVD для тонких пленок солнечных элементов.

▪ Светодиоды: процесс PECVD для светодиодных чипов.

Преимущества продукта

▪Улучшить качество фильма:Обеспечивает равномерное нанесение пленки и улучшает ее качество.

▪Продлите срок службы оборудования:Отличная коррозионная стойкость, продлевает срок службы оборудования PECVD.

▪Снижение производственных затрат:Высококачественные графитовые поддоны позволяют снизить процент брака и снизить производственные затраты.

Графитовый материал от SGL:

Типичный параметр: R6510
Индекс	Стандарт испытаний	Ценить	Единица
Средний размер зерна	ИСО 13320	10	мкм
Насыпная плотность	DIN МЭК 60413/204	1.83	г/см³
Открытая пористость	DIN66133	10	%
Средний размер пор	DIN66133	1.8	мкм
Проницаемость	ДИН 51935	0,06	см²/с
Твёрдость по Роквеллу HR5/100	DIN МЭК60413/303	90	HR
Удельное электрическое сопротивление	DIN МЭК 60413/402	13	мкОм
Прочность на изгиб	DIN МЭК 60413/501	60	МПа
Прочность на сжатие	ДИН 51910	130	МПа
модуль Юнга	ДИН 51915	11,5×10³	МПа
Тепловое расширение (20-200℃)	ДИН 51909	4.2X10^-6	K^-1
Теплопроводность (20℃)	ДИН 51908	105	Wm^-1K^-1

Он специально разработан для высокоэффективного производства солнечных элементов, поддерживая обработку пластин большого размера G12. Оптимизированная конструкция носителя значительно увеличивает производительность, обеспечивая более высокие показатели выхода и более низкие производственные затраты.

Элемент	Тип	Номер пластины-носителя
Лодка из PEVCD Grephite - серия 156	156-13 грефитовая лодка	144
	156-19 грефитовая лодка	216
	156-21 лодка из грефита	240
	156-23 графитовая лодка	308
Лодка из PEVCD Grephite - серия 125	125-15 грефитовая лодка	196
	125-19 грефитовая лодка	252
	125-21 графитовая лодка	280