VET Energy PECVD ýükleme tabagy PECVD (plazma arkaly güýçlendirilen himiki bug çökündisi) prosesi üçin niýetlenen takyk daşaýjydyr. Bu ýokary hilli çökündi grafit tabagy ýokary arassalykly, ýokary dykyzlykly grafit materialyndan ýasalýar. Ol ajaýyp ýokary temperatura garşylygyna, korroziýa garşylygyna, ölçeg durnuklylygyna we beýleki häsiýetlere eýedir. Ol PECVD prosesi üçin durnukly daşaýjy platforma üpjün edip biler we plýonka çökündisiniň birmeňzeşligini we tekizligini üpjün edip biler.
VET Energy PECVD ýükleme tabaklary ýarymgeçirijilerde, fotowoltaiklerde, LED-lerde we beýleki ugurlarda giňden ulanylýar. Mysal üçin:
▪ Ýarymgeçiriji: Kremniý plitalary we epitaksial plitalar ýaly ýarymgeçiriji materiallar üçin PECVD prosesi.
▪ Fotowoltaik: Gün batareýalarynyň inçe plýonkalary üçin PECVD prosesi.
▪ LED: LED çipleri üçin PECVD prosesi.
Önümiň artykmaçlyklary
▪Filmiň hilini gowulaşdyryň:Filmiň birmeňzeş ýerleşdirilmegini üpjün ediň we filmiň hilini ýokarlandyryň.
▪Enjamyň ömrüni uzaldyň:Ajaýyp korroziýa garşylyk görkezýär, PECVD enjamlarynyň hyzmat möhletini uzaldýar.
▪Önümçilik çykdajylaryny azaldyň:Ýokary hilli grafit tabaklary galyndylaryň möçberini azaldyp we önümçilik çykdajylaryny azaldyp biler.
SGL-den grafit materialy:
| Adaty parametr: R6510 | |||
| Indeks | Synag standarty | Bahasy | Birlik |
| Ortaça däne ululygy | ISO 13320 | 10 | μm |
| Köp mukdarda dykyzlyk | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/sm3 |
| Açyk gözeneklilik | DIN66133 | 10 | % |
| Orta gözenek ululygy | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Geçirijilik | DIN 51935 | 0.06 | sm²/s |
| Rokwelliň gatylygy HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Özboluşly elektrik garşylygy | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bükülme güýji | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Basyş güýji | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Ýangyň moduly | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Termal giňelme (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Ýylylyk geçirijiligi (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ol, G12 uly göwrümli wafer gaýtadan işlemegini goldaýan ýokary netijeli gün batareýalaryny öndürmek üçin ýörite döredildi. Optimallaşdyrylan daşaýjy dizaýn öndürijiligi ep-esli ýokarlandyrýar, bu bolsa ýokary hasyllylyk depginini we önümçilik çykdajylaryny azaltmaga mümkinçilik berýär.
| Haryt | Görnüş | Sanly wafer daşaýjy |
| PEVCD Grefit gaýygy - 156 seriýasy | 156-13 grefit gaýygy | 144 |
| 156-19 grefit gaýygy | 216 | |
| 156-21 grefit gaýygy | 240 | |
| 156-23 grafit gaýygy | 308 | |
| PEVCD Grefit gaýygy - 125 seriýasy | 125-15 grefit gaýygy | 196 |
| 125-19 grefit gaýygy | 252 | |
| 125-21 grfit gaýygy | 280 |
