صينية تحميل VET Energy PECVD عبارة عن حامل دقيق مصمم خصيصًا لعملية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD). صُنعت صينية الترسيب الجرافيتية عالية الجودة هذه من مادة جرافيت عالية النقاء والكثافة، وتتميز بمقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية والتآكل، بالإضافة إلى ثبات أبعادها. توفر هذه الصينية منصة حامل مستقرة لعملية PECVD، وتضمن تجانسًا وتجانسًا في طبقة الترسيب.
تُستخدم صواني تحميل VET Energy PECVD على نطاق واسع في أشباه الموصلات، والخلايا الكهروضوئية، ومصابيح LED، وغيرها من المجالات. على سبيل المثال:
▪ أشباه الموصلات: عملية PECVD لمواد أشباه الموصلات مثل رقائق السيليكون والرقائق المتبلورة.
▪ الخلايا الكهروضوئية: عملية PECVD للأغشية الرقيقة للخلايا الشمسية.
▪ LED: عملية PECVD لرقائق LED.
مزايا المنتج
▪تحسين جودة الفيلم:ضمان ترسب الفيلم بشكل موحد وتحسين جودته.
▪إطالة عمر المعدات:مقاومة ممتازة للتآكل، مما يطيل عمر خدمة معدات PECVD.
▪خفض تكاليف الإنتاج:يمكن أن تقلل الصواني المصنوعة من الجرافيت عالي الجودة من معدل الهدر وتكاليف الإنتاج.
مادة الجرافيت من شركة SGL:
| المعلمة النموذجية: R6510 | |||
| فِهرِس | معيار الاختبار | قيمة | وحدة |
| متوسط حجم الحبوب | ISO 13320 | 10 | ميكرومتر |
| الكثافة الظاهرية | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | جم/سم3 |
| مسامية مفتوحة | DIN66133 | 10 | % |
| حجم المسام متوسط | DIN66133 | 1.8 | ميكرومتر |
| نفاذية | DIN 51935 | 0.06 | سم²/ث |
| صلابة روكويل HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| المقاومة الكهربائية النوعية | DIN IEC 60413/402 | 13 | ميكرو أوم متر |
| قوة الانحناء | DIN IEC 60413/501 | 60 | ميجا باسكال |
| قوة الضغط | DIN 51910 | 130 | ميجا باسكال |
| معامل يونغ | DIN 51915 | 11.5×10³ | ميجا باسكال |
| التمدد الحراري (20-200 درجة مئوية) | DIN 51909 | 4.2 × 10-6 | K-1 |
| الموصلية الحرارية (20 درجة مئوية) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
صُممت هذه التقنية خصيصاً لتصنيع الخلايا الشمسية عالية الكفاءة، وتدعم معالجة رقائق السيليكون كبيرة الحجم من نوع G12. يُحسّن تصميم الحامل المُحسّن الإنتاجية بشكل ملحوظ، مما يُتيح معدلات إنتاج أعلى وتكاليف إنتاج أقل.
| غرض | يكتب | حامل رقاقة رقمي |
| قارب PEVCD Grephite - سلسلة 156 | قارب من الجرافيت 156-13 | 144 |
| قارب من الجرافيت 156-19 | 216 | |
| قارب من الجرافيت 156-21 | 240 | |
| قارب جرافيت 156-23 | 308 | |
| قارب PEVCD Grephite - سلسلة 125 | قارب من الجرافيت 125-15 | 196 |
| قارب جريفيت 125-19 | 252 | |
| قارب جرافيت 125-21 | 280 |
