صينية تحميل PECVD من VET Energy هي حامل دقيق مصمم لعملية PECVD (الترسيب الكيميائي للبخار المُحسَّن بالبلازما). هذه الصينية عالية الجودة من الجرافيت المُرسَّب مصنوعة من مادة جرافيت عالية النقاء والكثافة. تتميز بمقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية والتآكل وثبات الأبعاد وغيرها من الخصائص. كما أنها توفر منصة حاملة مستقرة لعملية PECVD، وتضمن اتساق وتجانس ترسيب الأغشية.
تُستخدم صواني التحميل PECVD من VET Energy على نطاق واسع في أشباه الموصلات، والطاقة الكهروضوئية، ومصابيح LED، وغيرها من المجالات. على سبيل المثال:
▪ أشباه الموصلات: عملية PECVD للمواد شبه الموصلة مثل رقائق السيليكون والرقائق الظهارية.
▪ الطاقة الشمسية الكهروضوئية: عملية PECVD للأغشية الرقيقة للخلايا الشمسية.
▪ LED: عملية PECVD لرقائق LED.
مزايا المنتج
▪تحسين جودة الفيلم:ضمان ترسب الفيلم بشكل موحد وتحسين جودة الفيلم.
▪إطالة عمر المعدات:مقاومة ممتازة للتآكل، وإطالة عمر خدمة معدات PECVD.
▪خفض تكاليف الإنتاج:يمكن أن تعمل صواني الجرافيت عالية الجودة على تقليل معدل الخردة وتقليل تكاليف الإنتاج.
مادة الجرافيت من SGL:
| المعلمة النموذجية: R6510 | |||
| فِهرِس | معيار الاختبار | قيمة | وحدة |
| متوسط حجم الحبوب | ايزو 13320 | 10 | ميكرومتر |
| الكثافة الظاهرية | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | جم/سم3 |
| المسامية المفتوحة | DIN66133 | 10 | % |
| حجم المسام متوسط | DIN66133 | 1.8 | ميكرومتر |
| نفاذية | DIN 51935 | 0.06 | سم²/ثانية |
| صلابة روكويل HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| المقاومة الكهربائية النوعية | DIN IEC 60413/402 | 13 | ميكرومتر |
| قوة الانحناء | DIN IEC 60413/501 | 60 | ميجا باسكال |
| قوة الضغط | DIN 51910 | 130 | ميجا باسكال |
| معامل يونغ | DIN 51915 | 11.5×10³ | ميجا باسكال |
| التمدد الحراري (20-200 درجة مئوية) | DIN 51909 | 4.2 × 10-6 | K-1 |
| الموصلية الحرارية (20 درجة مئوية) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
صُمم خصيصًا لتصنيع الخلايا الشمسية عالية الكفاءة، ويدعم معالجة رقائق G12 كبيرة الحجم. يُحسّن تصميم الناقل المُحسّن الإنتاجية بشكل ملحوظ، مما يُتيح معدلات إنتاج أعلى وتكاليف إنتاج أقل.
| غرض | يكتب | حامل رقاقة رقم |
| قارب PEVCD Grephite - سلسلة 156 | قارب من الجرافيت 156-13 | 144 |
| قارب من الجرافيت 156-19 | 216 | |
| قارب جريفيت 156-21 | 240 | |
| قارب جرافيت 156-23 | 308 | |
| قارب PEVCD Grephite - سلسلة 125 | قارب جريفيت 125-15 | 196 |
| قارب جريفيت 125-19 | 252 | |
| قارب جرافيتي 125-21 | 280 |
