Baki Pemuatan PECVD Baki Grafit Deposisi

Katrangan Cekak:

Tray Pemuatan PECVD saka VET Energy dirancang kanggo nyedhiyakake dhukungan sing aman lan rata kanggo wafer sajrone deposisi, ningkatake konsistensi lan kualitas proses deposisi. Kanthi tahan panas sing apik banget, Tray Grafit mbantu njaga lingkungan sing terkendali ing njero ruang PECVD, nyuda risiko kontaminasi lan njamin efisiensi proses sing dhuwur.

Kirim email menyang kita Unduh minangka PDF

Rincian Produk

Tag Produk

Tray pemuatan VET Energy PECVD minangka pembawa presisi sing dirancang kanggo proses PECVD (deposisi uap kimia sing ditingkatake plasma). Tray grafit deposisi berkualitas tinggi iki digawe saka bahan grafit kanthi kemurnian tinggi lan kapadhetan tinggi. Tray iki nduweni tahan suhu dhuwur, tahan korosi, stabilitas dimensi, lan karakteristik liyane sing apik banget. Tray iki bisa nyedhiyakake platform pembawa sing stabil kanggo proses PECVD lan njamin keseragaman lan kerataan deposisi film.

Tray pemuatan PECVD VET Energy akeh digunakake ing semikonduktor, fotovoltaik, LED lan bidang liyane. Contone:

▪ Semikonduktor: Proses PECVD kanggo bahan semikonduktor kayata wafer silikon lan wafer epitaksial.

▪ Fotovoltaik: Proses PECVD kanggo film tipis sel surya.

▪ LED: Proses PECVD kanggo chip LED.

Kauntungan Produk

▪Ningkatake kualitas film:Njamin deposisi film sing seragam lan ningkatake kualitas film.

▪Nambah umur piranti:Ketahanan korosi sing apik banget, ngluwihi umur layanan peralatan PECVD.

▪Ngurangi biaya produksi:Baki grafit sing berkualitas tinggi bisa nyuda tingkat scrap lan nyuda biaya produksi.

Bahan grafit saka SGL:

Parameter khas: R6510
Indeks	Standar tes	Nilai	Unit
Ukuran butir rata-rata	ISO 13320	10	μm
Kapadhetan massal	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porositas mbukak	DIN66133	10	%
Ukuran pori sedheng	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitas	DIN 51935	0.06	cm²/s
Kekerasan Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistivitas listrik spesifik	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Kekuwatan lentur	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kekuwatan kompresi	DIN 51910	130	MPa
Modulus Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Ekspansi termal (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduktivitas termal (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Iki dirancang khusus kanggo manufaktur sel surya efisiensi dhuwur, ndhukung pangolahan wafer ukuran gedhe G12. Desain pembawa sing dioptimalake nambah throughput kanthi signifikan, saengga tingkat asil sing luwih dhuwur lan biaya produksi sing luwih murah.

Barang	Tipe	Pembawa wafer nomer
Prau Grefit PEVCD - Seri 156	Prau grefit 156-13	144
	Prau grefit 156-19	216
	Prau grefit 156-21	240
	Prau grafit 156-23	308
Prau Grefit PEVCD - Seri 125	Prau grefit 125-15	196
	Prau grefit 125-19	252
	Prau grifit 125-21	280