Tray sa Pagkarga sa PECVD, Tray sa Graphite nga Deposisyon

Gipili nga Imahe sa PECVD Loading Tray Deposition Graphite Tray

Mubo nga Deskripsyon:

Ang PECVD Loading Tray sa VET Energy gidisenyo aron makahatag og luwas ug parehas nga suporta para sa mga wafer atol sa deposition, nga makapaayo sa pagkamakanunayon ug kalidad sa proseso sa deposition. Uban sa maayo kaayong resistensya sa kainit, ang Graphite Tray makatabang sa pagmintinar sa usa ka kontroladong palibot sulod sa mga PECVD chamber, nga makapakunhod sa risgo sa kontaminasyon ug makasiguro sa taas nga efficiency sa proseso.

Padad-i kami og email I-download isip PDF

Detalye sa Produkto

Mga Tag sa Produkto

Ang VET Energy PECVD loading tray usa ka precision carrier nga gidisenyo alang sa proseso sa PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Kini nga taas nga kalidad nga deposition graphite tray hinimo gikan sa taas nga kaputli, taas nga densidad nga graphite nga materyal. Kini adunay maayo kaayo nga resistensya sa taas nga temperatura, resistensya sa kaagnasan, kalig-on sa dimensiyon ug uban pang mga kinaiya. Makahatag kini og lig-on nga plataporma sa carrier alang sa proseso sa PECVD ug masiguro ang pagkaparehas ug pagkapatag sa film deposition.

Ang mga loading tray sa VET Energy PECVD kay kaylap nga gigamit sa semiconductor, photovoltaic, LED ug uban pang mga natad. Pananglitan:

▪ Semiconductor: Proseso sa PECVD para sa mga materyales nga semiconductor sama sa silicon wafers ug epitaxial wafers.

▪ Photovoltaic: Proseso sa PECVD para sa nipis nga mga pelikula sa solar cell.

▪ LED: Proseso sa PECVD para sa mga LED chip.

Mga Bentaha sa Produkto

▪Pagpalambo sa kalidad sa pelikula:Siguruha nga parehas ang pagkaplastar sa pelikula ug pauswaga ang kalidad sa pelikula.

▪Palugwayi ang kinabuhi sa kagamitan:Maayo kaayo nga resistensya sa taya, nagpalugway sa kinabuhi sa serbisyo sa kagamitan sa PECVD.

▪Pagpakunhod sa gasto sa produksiyon:Ang mga dekalidad nga graphite tray makapamenos sa scrap rate ug makapakunhod sa gasto sa produksiyon.

Materyal nga grapayt gikan sa SGL:

Kasagaran nga parametro: R6510
Indeks	Sumbanan sa pagsulay	Bili	Yunit
Kasagaran nga gidak-on sa lugas	ISO 13320	10	μm
Densidad sa kadaghanan	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Bukas nga porosidad	DIN66133	10	%
Medium nga gidak-on sa lungag	DIN66133	1.8	μm
Pagkamabalhinon	DIN 51935	0.06	cm²/s
Katig-a sa Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Piho nga resistensya sa kuryente	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Kusog sa pag-flex	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kusog sa pag-compress	DIN 51910	130	MPa
Modulus ni Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Pagpalapad sa kainit (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduktibidad sa kainit (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Kini espesipikong gidisenyo alang sa high-efficiency solar cell manufacturing, nga nagsuporta sa G12 large-size wafer processing. Ang na-optimize nga carrier design makapausbaw pag-ayo sa throughput, nga makapahimo sa mas taas nga yield rates ug mas ubos nga gasto sa produksiyon.

Butang	Matang	Numero sa wafer carrier
PEVCD Grephite nga sakayan - Ang seryeng 156	156-13 nga sakayan nga grephite	144
	156-19 nga sakayan nga grephite	216
	156-21 nga sakayan nga grephite	240
	156-23 nga sakayan nga grapayt	308
PEVCD Grephite nga sakayan - Ang serye sa 125	125-15 nga sakayan nga grephite	196
	125-19 nga sakayan nga grephite	252
	125-21 nga sakayan nga griphite	280