VET ఎనర్జీ PECVD లోడింగ్ ట్రే అనేది PECVD (ప్లాస్మా ఎన్హాన్స్డ్ కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్) ప్రక్రియ కోసం రూపొందించబడిన ఒక ఖచ్చితమైన క్యారియర్. ఈ అధిక-నాణ్యత డిపోజిషన్ గ్రాఫైట్ ట్రే, అధిక స్వచ్ఛత మరియు అధిక సాంద్రత గల గ్రాఫైట్ పదార్థంతో తయారు చేయబడింది. ఇది అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత, ఆకార స్థిరత్వం మరియు ఇతర లక్షణాలను కలిగి ఉంది. ఇది PECVD ప్రక్రియకు ఒక స్థిరమైన క్యారియర్ ప్లాట్ఫామ్ను అందిస్తుంది మరియు ఫిల్మ్ డిపోజిషన్ యొక్క ఏకరూపతను, సమతలాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.
VET ఎనర్జీ PECVD లోడింగ్ ట్రేలను సెమీకండక్టర్, ఫోటోవోల్టాయిక్, LED మరియు ఇతర రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగిస్తారు. ఉదాహరణకు:
▪ సెమీకండక్టర్: సిలికాన్ వేఫర్లు మరియు ఎపిటాక్సియల్ వేఫర్ల వంటి సెమీకండక్టర్ పదార్థాల కోసం PECVD ప్రక్రియ.
▪ ఫోటోవోల్టాయిక్: సౌర ఘటాల పలుచని పొరల కోసం PECVD ప్రక్రియ.
▪ LED: LED చిప్ల కోసం PECVD ప్రక్రియ.
ఉత్పత్తి ప్రయోజనాలు
▪ఫిల్మ్ నాణ్యతను మెరుగుపరచండి:ఏకరీతి ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ను నిర్ధారించి, ఫిల్మ్ నాణ్యతను మెరుగుపరచండి.
▪పరికరాల జీవితకాలాన్ని పొడిగించండి:అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకత, PECVD పరికరాల సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది.
▪ఉత్పత్తి ఖర్చులను తగ్గించండి:అధిక నాణ్యత గల గ్రాఫైట్ ట్రేలు వ్యర్థాల రేటును తగ్గించి, ఉత్పత్తి ఖర్చులను తగ్గిస్తాయి.
SGL నుండి గ్రాఫైట్ మెటీరియల్:
| సాధారణ పరామితి: R6510 | |||
| సూచిక | పరీక్ష ప్రమాణం | విలువ | యూనిట్ |
| సగటు గింజ పరిమాణం | ISO 13320 | 10 | μm |
| స్థూల సాంద్రత | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | గ్రా/సెం.మీ3 |
| బహిరంగ సచ్ఛిద్రత | DIN66133 | 10 | % |
| మధ్యస్థ రంధ్ర పరిమాణం | DIN66133 | 1.8 | μm |
| పారగమ్యత | డిఐఎన్ 51935 | 0.06 | సెం.మీ²/సె |
| రాక్వెల్ కాఠిన్యం HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| నిర్దిష్ట విద్యుత్ నిరోధకత | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| వంగుదల బలం | DIN IEC 60413/501 | 60 | ఎంపిఎ |
| సంపీడన బలం | డిఐఎన్ 51910 | 130 | ఎంపిఎ |
| యంగ్ మాడ్యులస్ | డిఐఎన్ 51915 | 11.5×10³ | ఎంపిఎ |
| ఉష్ణ వ్యాకోచం (20-200℃) | డిఐఎన్ 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| ఉష్ణ వాహకత (20℃) | డిఐఎన్ 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ఇది ప్రత్యేకంగా అధిక సామర్థ్యం గల సోలార్ సెల్ తయారీ కోసం రూపొందించబడింది, ఇది G12 పెద్ద-పరిమాణ వేఫర్ ప్రాసెసింగ్కు మద్దతు ఇస్తుంది. ఆప్టిమైజ్ చేయబడిన క్యారియర్ డిజైన్ థ్రూపుట్ను గణనీయంగా పెంచుతుంది, దీనివల్ల అధిక దిగుబడి రేట్లు మరియు తక్కువ ఉత్పత్తి ఖర్చులు సాధ్యమవుతాయి.
| వస్తువు | రకం | సంఖ్య వేఫర్ క్యారియర్ |
| PEVCD గ్రెఫైట్ పడవ - 156 సిరీస్ | 156-13 గ్రెఫైట్ పడవ | 144 |
| 156-19 గ్రెఫైట్ పడవ | 216 | |
| 156-21 గ్రెఫైట్ పడవ | 240 | |
| 156-23 గ్రాఫైట్ పడవ | 308 | |
| PEVCD గ్రెఫైట్ బోట్ - 125 సిరీస్ | 125-15 గ్రెఫైట్ పడవ | 196 |
| 125-19 గ్రెఫైట్ పడవ | 252 | |
| 125-21 గ్రాఫైట్ పడవ | 280 |
