VET ఎనర్జీ PECVD లోడింగ్ ట్రే అనేది PECVD (ప్లాస్మా మెరుగైన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ) ప్రక్రియ కోసం రూపొందించబడిన ఒక ఖచ్చితమైన క్యారియర్. ఈ అధిక-నాణ్యత నిక్షేపణ గ్రాఫైట్ ట్రే అధిక-స్వచ్ఛత, అధిక-సాంద్రత గ్రాఫైట్ పదార్థంతో తయారు చేయబడింది. ఇది అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత, డైమెన్షనల్ స్థిరత్వం మరియు ఇతర లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది. ఇది PECVD ప్రక్రియ కోసం స్థిరమైన క్యారియర్ ప్లాట్ఫామ్ను అందించగలదు మరియు ఫిల్మ్ నిక్షేపణ యొక్క ఏకరూపత మరియు ఫ్లాట్నెస్ను నిర్ధారించగలదు.
VET ఎనర్జీ PECVD లోడింగ్ ట్రేలు సెమీకండక్టర్, ఫోటోవోల్టాయిక్, LED మరియు ఇతర రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి. ఉదాహరణకు:
▪ సెమీకండక్టర్: సిలికాన్ వేఫర్లు మరియు ఎపిటాక్సియల్ వేఫర్లు వంటి సెమీకండక్టర్ పదార్థాలకు PECVD ప్రక్రియ.
▪ ఫోటోవోల్టాయిక్: సౌర ఘటం సన్నని పొరల కోసం PECVD ప్రక్రియ.
▪ LED: LED చిప్ల కోసం PECVD ప్రక్రియ.
ఉత్పత్తి ప్రయోజనాలు
▪ ▪ అనువాదకులుసినిమా నాణ్యతను మెరుగుపరచండి:ఏకరీతి ఫిల్మ్ నిక్షేపణను నిర్ధారించండి మరియు ఫిల్మ్ నాణ్యతను మెరుగుపరచండి.
▪ ▪ అనువాదకులుపరికరాల జీవితాన్ని పొడిగించండి:అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకత, PECVD పరికరాల సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది.
▪ ▪ అనువాదకులుఉత్పత్తి ఖర్చులను తగ్గించండి:అధిక-నాణ్యత గల గ్రాఫైట్ ట్రేలు స్క్రాప్ రేటును తగ్గించి ఉత్పత్తి ఖర్చులను తగ్గిస్తాయి.
SGL నుండి గ్రాఫైట్ పదార్థం:
| సాధారణ పరామితి: R6510 | |||
| సూచిక | పరీక్ష ప్రమాణం | విలువ | యూనిట్ |
| సగటు ధాన్యం పరిమాణం | ఐఎస్ఓ 13320 | 10 | μm |
| బల్క్ సాంద్రత | డిఐఎన్ ఐఇసి 60413/204 | 1.83 తెలుగు | గ్రా/సెం.మీ.3 |
| ఓపెన్ సచ్ఛిద్రత | డిఐఎన్66133 | 10 | % |
| మధ్యస్థ రంధ్ర పరిమాణం | డిఐఎన్66133 | 1.8 ఐరన్ | μm |
| పారగమ్యత | డిఐఎన్ 51935 | 0.06 మెట్రిక్యులేషన్ | సెం.మీ²/సె |
| రాక్వెల్ కాఠిన్యం HR5/100 | డిఐఎన్ ఐఇసి60413/303 | 90 లు | HR |
| నిర్దిష్ట విద్యుత్ నిరోధకత | డిఐఎన్ ఐఇసి 60413/402 | 13 | μΩm |
| వంగుట బలం | డిఐఎన్ ఐఇసి 60413/501 | 60 | MPa తెలుగు in లో |
| సంపీడన బలం | డిఐఎన్ 51910 | 130 తెలుగు | MPa తెలుగు in లో |
| యంగ్ మాడ్యులస్ | డిఐఎన్ 51915 | 11.5×10³ | MPa తెలుగు in లో |
| ఉష్ణ విస్తరణ (20-200℃) | డిఐఎన్ 51909 | 4.2X10 తెలుగు in లో-6 | K-1 |
| ఉష్ణ వాహకత (20℃) | డిఐఎన్ 51908 | 105 తెలుగు | Wm-1K-1 |
ఇది ప్రత్యేకంగా అధిక సామర్థ్యం గల సౌర ఘటం తయారీ కోసం రూపొందించబడింది, G12 పెద్ద-పరిమాణ వేఫర్ ప్రాసెసింగ్కు మద్దతు ఇస్తుంది. ఆప్టిమైజ్ చేయబడిన క్యారియర్ డిజైన్ గణనీయంగా నిర్గమాంశను పెంచుతుంది, అధిక దిగుబడి రేట్లు మరియు తక్కువ ఉత్పత్తి ఖర్చులను అనుమతిస్తుంది.
| అంశం | రకం | వేఫర్ క్యారియర్ సంఖ్య |
| PEVCD గ్రేఫైట్ పడవ - 156 సిరీస్ | 156-13 గ్రెఫైట్ పడవ | 144 తెలుగు in లో |
| 156-19 గ్రెఫైట్ పడవ | 216 తెలుగు | |
| 156-21 గ్రెఫైట్ పడవ | 240 తెలుగు | |
| 156-23 గ్రాఫైట్ పడవ | 308 తెలుగు in లో | |
| PEVCD గ్రేఫైట్ పడవ - 125 సిరీస్ | 125-15 గ్రెఫైట్ పడవ | 196 తెలుగు |
| 125-19 గ్రెఫైట్ పడవ | 252 తెలుగు | |
| 125-21 గ్రిఫైట్ పడవ | 280 తెలుగు |
-
మంచి ఘర్షణతో కూడిన అధిక బలం కలిగిన గ్రాఫైట్ రింగ్ ...
-
సీల్ గ్రాఫైట్ రింగ్ గ్రాఫైట్ కాంపోజిట్ రబ్బరు పట్టీ gr...
-
గ్రాఫైట్ బేరింగ్ యాంటిమోనీ బేరింగ్ గ్రాఫైట్ స్లీ...
-
ఐసోస్టాటిక్ గ్రాఫైట్ మరియు ప్రత్యేక గ్రాఫైట్ బ్లాక్ యు...
-
అధిక నాణ్యత గల కార్బన్ గ్రాఫైట్ పేపర్ రోల్ ఫ్లెక్సిబుల్...
-
అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన ఫ్లెక్సిబుల్ గ్రాఫైట్ పేపర్ 0.5mm-1.0mm...

