PECVD లోడింగ్ ట్రే డిపాజిషన్ గ్రాఫైట్ ట్రే

చిన్న వివరణ:

VET ఎనర్జీ యొక్క PECVD లోడింగ్ ట్రే నిక్షేపణ సమయంలో వేఫర్‌లకు సురక్షితమైన మరియు సమానమైన మద్దతును అందించడానికి రూపొందించబడింది, నిక్షేపణ ప్రక్రియ యొక్క స్థిరత్వం మరియు నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తుంది. దాని అద్భుతమైన ఉష్ణ నిరోధకతతో, గ్రాఫైట్ ట్రే PECVD గదుల లోపల నియంత్రిత వాతావరణాన్ని నిర్వహించడానికి సహాయపడుతుంది, కాలుష్య ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు అధిక ప్రక్రియ సామర్థ్యాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.


ఉత్పత్తి వివరాలు

ఉత్పత్తి ట్యాగ్‌లు

VET ఎనర్జీ PECVD లోడింగ్ ట్రే అనేది PECVD (ప్లాస్మా మెరుగైన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ) ప్రక్రియ కోసం రూపొందించబడిన ఒక ఖచ్చితమైన క్యారియర్. ఈ అధిక-నాణ్యత నిక్షేపణ గ్రాఫైట్ ట్రే అధిక-స్వచ్ఛత, అధిక-సాంద్రత గ్రాఫైట్ పదార్థంతో తయారు చేయబడింది. ఇది అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత, డైమెన్షనల్ స్థిరత్వం మరియు ఇతర లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది. ఇది PECVD ప్రక్రియ కోసం స్థిరమైన క్యారియర్ ప్లాట్‌ఫామ్‌ను అందించగలదు మరియు ఫిల్మ్ నిక్షేపణ యొక్క ఏకరూపత మరియు ఫ్లాట్‌నెస్‌ను నిర్ధారించగలదు.

VET ఎనర్జీ PECVD లోడింగ్ ట్రేలు సెమీకండక్టర్, ఫోటోవోల్టాయిక్, LED మరియు ఇతర రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి. ఉదాహరణకు:

▪ సెమీకండక్టర్: సిలికాన్ వేఫర్లు మరియు ఎపిటాక్సియల్ వేఫర్లు వంటి సెమీకండక్టర్ పదార్థాలకు PECVD ప్రక్రియ.

▪ ఫోటోవోల్టాయిక్: సౌర ఘటం సన్నని పొరల కోసం PECVD ప్రక్రియ.

▪ LED: LED చిప్‌ల కోసం PECVD ప్రక్రియ.

ఉత్పత్తి ప్రయోజనాలు

▪ ▪ అనువాదకులుసినిమా నాణ్యతను మెరుగుపరచండి:ఏకరీతి ఫిల్మ్ నిక్షేపణను నిర్ధారించండి మరియు ఫిల్మ్ నాణ్యతను మెరుగుపరచండి.

▪ ▪ అనువాదకులుపరికరాల జీవితాన్ని పొడిగించండి:అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకత, PECVD పరికరాల సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది.

▪ ▪ అనువాదకులుఉత్పత్తి ఖర్చులను తగ్గించండి:అధిక-నాణ్యత గల గ్రాఫైట్ ట్రేలు స్క్రాప్ రేటును తగ్గించి ఉత్పత్తి ఖర్చులను తగ్గిస్తాయి.

SGL నుండి గ్రాఫైట్ పదార్థం:

సాధారణ పరామితి: R6510

సూచిక పరీక్ష ప్రమాణం విలువ యూనిట్
సగటు ధాన్యం పరిమాణం ఐఎస్ఓ 13320 10 μm
బల్క్ సాంద్రత డిఐఎన్ ఐఇసి 60413/204 1.83 తెలుగు గ్రా/సెం.మీ.3
ఓపెన్ సచ్ఛిద్రత డిఐఎన్66133 10 %
మధ్యస్థ రంధ్ర పరిమాణం డిఐఎన్66133 1.8 ఐరన్ μm
పారగమ్యత డిఐఎన్ 51935 0.06 మెట్రిక్యులేషన్ సెం.మీ²/సె
రాక్‌వెల్ కాఠిన్యం HR5/100 డిఐఎన్ ఐఇసి60413/303 90 లు HR
నిర్దిష్ట విద్యుత్ నిరోధకత డిఐఎన్ ఐఇసి 60413/402 13 μΩm
వంగుట బలం డిఐఎన్ ఐఇసి 60413/501 60 MPa తెలుగు in లో
సంపీడన బలం డిఐఎన్ 51910 130 తెలుగు MPa తెలుగు in లో
యంగ్ మాడ్యులస్ డిఐఎన్ 51915 11.5×10³ MPa తెలుగు in లో
ఉష్ణ విస్తరణ (20-200℃) డిఐఎన్ 51909 4.2X10 తెలుగు in లో-6 K-1
ఉష్ణ వాహకత (20℃) డిఐఎన్ 51908 105 తెలుగు Wm-1K-1

ఇది ప్రత్యేకంగా అధిక సామర్థ్యం గల సౌర ఘటం తయారీ కోసం రూపొందించబడింది, G12 పెద్ద-పరిమాణ వేఫర్ ప్రాసెసింగ్‌కు మద్దతు ఇస్తుంది. ఆప్టిమైజ్ చేయబడిన క్యారియర్ డిజైన్ గణనీయంగా నిర్గమాంశను పెంచుతుంది, అధిక దిగుబడి రేట్లు మరియు తక్కువ ఉత్పత్తి ఖర్చులను అనుమతిస్తుంది.

గ్రాఫైట్ పడవ
అంశం రకం వేఫర్ క్యారియర్ సంఖ్య
PEVCD గ్రేఫైట్ పడవ - 156 సిరీస్ 156-13 గ్రెఫైట్ పడవ 144 తెలుగు in లో
156-19 గ్రెఫైట్ పడవ 216 తెలుగు
156-21 గ్రెఫైట్ పడవ 240 తెలుగు
156-23 గ్రాఫైట్ పడవ 308 తెలుగు in లో
PEVCD గ్రేఫైట్ పడవ - 125 సిరీస్ 125-15 గ్రెఫైట్ పడవ 196 తెలుగు
125-19 గ్రెఫైట్ పడవ 252 తెలుగు
125-21 గ్రిఫైట్ పడవ 280 తెలుగు
ఉత్పత్తి ప్రయోజనాలు
VET ఎనర్జీ వ్యాపార సహకారం

  • మునుపటి:
  • తరువాత:

  • WhatsApp ఆన్‌లైన్ చాట్!