PECVD-Ladeschale, Graphitabscheidungsschale

PECVD-Ladeschalenabscheidung Graphitschalen-Vorgestelltes Bild

Kurze Beschreibung:

Die PECVD-Ladeschale von VET Energy bietet sicheren und gleichmäßigen Halt für Wafer während der Abscheidung und verbessert so die Konsistenz und Qualität des Abscheidungsprozesses. Dank ihrer hervorragenden Hitzebeständigkeit trägt die Graphitschale zu einer kontrollierten Umgebung in PECVD-Kammern bei, reduziert das Kontaminationsrisiko und gewährleistet eine hohe Prozesseffizienz.

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Produktdetail

Produkt Tags

Die PECVD-Ladeschale von VET Energy ist ein Präzisionsträger für das PECVD-Verfahren (plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung). Diese hochwertige Graphitabscheidungsschale besteht aus hochreinem, hochdichtem Graphitmaterial. Sie zeichnet sich durch hervorragende Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Dimensionsstabilität und weitere Eigenschaften aus. Sie bietet eine stabile Trägerplattform für den PECVD-Prozess und gewährleistet die Gleichmäßigkeit und Ebenheit der Filmabscheidung.

VET Energy PECVD-Ladeschalen werden häufig in der Halbleiter-, Photovoltaik-, LED- und anderen Bereichen eingesetzt. Zum Beispiel:

▪ Halbleiter: PECVD-Prozess für Halbleitermaterialien wie Silizium-Wafer und Epitaxie-Wafer.

▪ Photovoltaik: PECVD-Prozess für dünne Solarzellenschichten.

▪ LED: PECVD-Prozess für LED-Chips.

Produktvorteile

▪Verbessern Sie die Filmqualität:Sorgen Sie für eine gleichmäßige Filmabscheidung und verbessern Sie die Filmqualität.

▪Verlängern Sie die Lebensdauer Ihrer Geräte:Hervorragende Korrosionsbeständigkeit, verlängert die Lebensdauer der PECVD-Ausrüstung.

▪Reduzieren Sie die Produktionskosten:Hochwertige Graphitschalen können die Ausschussrate verringern und die Produktionskosten senken.

Graphitwerkstoff von SGL:

Typischer Parameter: R6510
Index	Prüfnorm	Wert	Einheit
Durchschnittliche Korngröße	ISO 13320	10	μm
Schüttdichte	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Offene Porosität	DIN66133	10	%
Mittlere Porengröße	DIN66133	1.8	μm
Permeabilität	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwellhärte HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spezifischer elektrischer Widerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Biegefestigkeit	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druckfestigkeit	DIN 51910	130	MPa
Elastizitätsmodul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Wärmeausdehnung (20–200 °C)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Wärmeleitfähigkeit (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Es wurde speziell für die Herstellung hocheffizienter Solarzellen entwickelt und unterstützt die Verarbeitung großer G12-Wafer. Das optimierte Trägerdesign erhöht den Durchsatz deutlich und ermöglicht höhere Erträge und niedrigere Produktionskosten.

Artikel	Typ	Nummer Waferträger
PEVCD Grephite Boot - Die 156er Serie	156-13 Grephitboot	144
	156-19 Grephitboot	216
	156-21 Grephite-Boot	240
	156-23 Graphitboot	308
PEVCD Grephite Boot - Die 125er Serie	125-15 Grephite-Boot	196
	125-19 Grephite-Boot	252
	125-21 Graphitboot	280