Hambwrdd Llwytho PECVD Hambwrdd Graffit Dyddodiad

Disgrifiad Byr:

Mae Hambwrdd Llwytho PECVD VET Energy wedi'i gynllunio i ddarparu cefnogaeth ddiogel a chyson i wafferi yn ystod dyddodiad, gan wella cysondeb ac ansawdd y broses ddyddodiad. Gyda'i wrthwynebiad gwres rhagorol, mae'r Hambwrdd Graffit yn helpu i gynnal amgylchedd rheoledig y tu mewn i siambrau PECVD, gan leihau'r risg o halogiad a sicrhau effeithlonrwydd proses uchel.

Anfonwch e-bost atom ni Lawrlwytho fel PDF

Manylion Cynnyrch

Tagiau Cynnyrch

Mae hambwrdd llwytho PECVD VET Energy yn gludydd manwl gywir a gynlluniwyd ar gyfer y broses PECVD (dyddodiad anwedd cemegol wedi'i wella gan plasma). Mae'r hambwrdd graffit dyddodiad o ansawdd uchel hwn wedi'i wneud o ddeunydd graffit purdeb uchel, dwysedd uchel. Mae ganddo wrthwynebiad tymheredd uchel rhagorol, ymwrthedd cyrydiad, sefydlogrwydd dimensiwn a nodweddion eraill. Gall ddarparu platfform cludwr sefydlog ar gyfer y broses PECVD a sicrhau unffurfiaeth a gwastadrwydd dyddodiad ffilm.

Defnyddir hambyrddau llwytho VET Energy PECVD yn helaeth mewn lled-ddargludyddion, ffotofoltäig, LED a meysydd eraill. Er enghraifft:

▪ Lled-ddargludyddion: proses PECVD ar gyfer deunyddiau lled-ddargludyddion fel waferi silicon a waferi epitacsial.

▪ Ffotofoltäig: proses PECVD ar gyfer ffilmiau tenau celloedd solar.

▪ LED: proses PECVD ar gyfer sglodion LED.

Manteision Cynnyrch

▪Gwella ansawdd ffilm:Sicrhau dyddodiad ffilm unffurf a gwella ansawdd ffilm.

▪Ymestyn oes offer:Gwrthiant cyrydiad rhagorol, ymestyn oes gwasanaeth offer PECVD.

▪Lleihau costau cynhyrchu:Gall hambyrddau graffit o ansawdd uchel leihau cyfradd sgrap a lleihau costau cynhyrchu.

Deunydd graffit o SGL:

Paramedr nodweddiadol: R6510
Mynegai	Safon prawf	Gwerth	Uned
Maint grawn cyfartalog	ISO 13320	10	μm
Dwysedd swmp	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Mandylledd agored	DIN66133	10	%
Maint mandwll canolig	DIN66133	1.8	μm
Athreiddedd	DIN 51935	0.06	cm²/eiliad
Caledwch Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Gwrthiant trydanol penodol	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Cryfder plygu	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Cryfder cywasgol	DIN 51910	130	MPa
Modwlws Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Ehangu thermol (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Dargludedd thermol (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Fe'i cynlluniwyd yn benodol ar gyfer gweithgynhyrchu celloedd solar effeithlonrwydd uchel, gan gefnogi prosesu wafferi maint mawr G12. Mae dyluniad cludwr wedi'i optimeiddio yn cynyddu'r trwybwn yn sylweddol, gan alluogi cyfraddau cynnyrch uwch a chostau cynhyrchu is.

Eitem	Math	Cludwr wafer rhif
Cwch Grephite PEVCD - Y gyfres 156	Cwch graffit 156-13	144
	Cwch graffit 156-19	216
	Cwch graffit 156-21	240
	Cwch graffit 156-23	308
Cwch Grephite PEVCD - Y gyfres 125	Cwch graffit 125-15	196
	Cwch graffit 125-19	252
	Cwch graffit 125-21	280