Baki pemuatan PECVD VET Energy adalah pembawa presisi yang dirancang untuk proses PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Baki grafit deposisi berkualitas tinggi ini terbuat dari material grafit dengan kemurnian dan kepadatan tinggi. Baki ini memiliki ketahanan suhu tinggi, ketahanan korosi, stabilitas dimensi, dan karakteristik lainnya yang sangat baik. Baki ini dapat menyediakan platform pembawa yang stabil untuk proses PECVD dan memastikan keseragaman serta kerataan deposisi film.
Baki pemuatan PECVD VET Energy banyak digunakan di bidang semikonduktor, fotovoltaik, LED, dan bidang lainnya. Misalnya:
▪ Semikonduktor: Proses PECVD untuk material semikonduktor seperti wafer silikon dan wafer epitaksial.
▪ Fotovoltaik: Proses PECVD untuk film tipis sel surya.
▪ LED: Proses PECVD untuk chip LED.
Keunggulan Produk
▪Meningkatkan kualitas film:Memastikan pengendapan film yang seragam dan meningkatkan kualitas film.
▪Memperpanjang umur peralatan:Ketahanan korosi yang sangat baik, memperpanjang masa pakai peralatan PECVD.
▪Mengurangi biaya produksi:Nampan grafit berkualitas tinggi dapat mengurangi tingkat limbah dan menurunkan biaya produksi.
Material grafit dari SGL:
| Parameter umum: R6510 | |||
| Indeks | Standar pengujian | Nilai | Satuan |
| Ukuran butir rata-rata | ISO 13320 | 10 | mikrometer |
| Kepadatan curah | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Porositas terbuka | DIN66133 | 10 | % |
| Ukuran pori sedang | DIN66133 | 1.8 | mikrometer |
| Permeabilitas | DIN 51935 | 0,06 | cm²/detik |
| Kekerasan Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Resistivitas listrik spesifik | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Kekuatan lentur | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Kekuatan tekan | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modulus Young | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Ekspansi termal (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Konduktivitas termal (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Produk ini dirancang khusus untuk manufaktur sel surya efisiensi tinggi, mendukung pemrosesan wafer ukuran besar G12. Desain pembawa yang dioptimalkan secara signifikan meningkatkan kapasitas produksi, memungkinkan tingkat hasil yang lebih tinggi dan biaya produksi yang lebih rendah.
| Barang | Jenis | Pembawa wafer nomor |
| Perahu PEVCD Grephite - Seri 156 | 156-13 perahu grephite | 144 |
| 156-19 perahu grephite | 216 | |
| 156-21 perahu grephite | 240 | |
| Perahu grafit 156-23 | 308 | |
| Perahu PEVCD Grephite - Seri 125 | 125-15 perahu grephite | 196 |
| 125-19 perahu grephite | 252 | |
| Perahu grafit 125-21 | 280 |
