PECVD ჩატვირთვის უჯრა, დეპონირების გრაფიტის უჯრა

მოკლე აღწერა:

VET Energy-ის PECVD ჩატვირთვის უჯრა შექმნილია ისე, რომ უზრუნველყოს ვაფლების უსაფრთხო და თანაბარი საყრდენი დალექვის დროს, რაც აუმჯობესებს დალექვის პროცესის თანმიმდევრულობას და ხარისხს. შესანიშნავი სითბოსადმი მდგრადობის წყალობით, გრაფიტის უჯრა ხელს უწყობს PECVD კამერებში კონტროლირებადი გარემოს შენარჩუნებას, ამცირებს დაბინძურების რისკს და უზრუნველყოფს პროცესის მაღალ ეფექტურობას.

გამოგვიგზავნეთ ელ.წერილი ჩამოტვირთეთ PDF ფორმატში

პროდუქტის დეტალები

პროდუქტის ტეგები

VET Energy PECVD ჩასატვირთი უჯრა არის ზუსტი მატარებელი, რომელიც შექმნილია PECVD (პლაზმით გაძლიერებული ქიმიური ორთქლის დეპონირების) პროცესისთვის. ეს მაღალი ხარისხის დეპონირების გრაფიტის უჯრა დამზადებულია მაღალი სისუფთავის, მაღალი სიმკვრივის გრაფიტის მასალისგან. მას აქვს შესანიშნავი მაღალი ტემპერატურისადმი მდგრადობა, კოროზიისადმი მდგრადობა, განზომილებიანი სტაბილურობა და სხვა მახასიათებლები. მას შეუძლია უზრუნველყოს სტაბილური მატარებელი პლატფორმა PECVD პროცესისთვის და უზრუნველყოს ფირის დეპონირების ერთგვაროვნება და სიბრტყე.

VET Energy PECVD ჩასატვირთი უჯრები ფართოდ გამოიყენება ნახევარგამტარულ, ფოტოელექტრულ, LED და სხვა სფეროებში. მაგალითად:

▪ ნახევარგამტარი: PECVD პროცესი ნახევარგამტარული მასალებისთვის, როგორიცაა სილიციუმის ვაფლები და ეპიტაქსიური ვაფლები.

▪ ფოტოელექტრული: PECVD პროცესი მზის ელემენტების თხელი ფენების მისაღებად.

▪ LED: PECVD პროცესი LED ჩიპებისთვის.

პროდუქტის უპირატესობები

▪ფილმის ხარისხის გაუმჯობესება:უზრუნველყოს ფირის ერთგვაროვანი დატანა და გააუმჯობესოს ფირის ხარისხი.

▪აღჭურვილობის სიცოცხლის გახანგრძლივება:შესანიშნავი კოროზიის წინააღმდეგობა, ახანგრძლივებს PECVD აღჭურვილობის მომსახურების ვადას.

▪შეამცირეთ წარმოების ხარჯები:მაღალი ხარისხის გრაფიტის უჯრებს შეუძლია შეამციროს ჯართის მაჩვენებელი და წარმოების ხარჯები.

SGL-ის გრაფიტის მასალა:

ტიპიური პარამეტრი: R6510
ინდექსი	ტესტის სტანდარტი	ღირებულება	ერთეული
საშუალო მარცვლის ზომა	ISO 13320	10	მკმ
მოცულობითი სიმკვრივე	DIN IEC 60413/204	1.83	გ/სმ³
ღია ფორიანობა	DIN66133	10	%
საშუალო ფორების ზომა	DIN66133	1.8	მკმ
გამტარობა	DIN 51935	0.06	სმ²/წმ
როკველის სიმტკიცე HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
სპეციფიკური ელექტრული წინაღობა	DIN IEC 60413/402	13	μΩმ
მოხრის სიმტკიცე	DIN IEC 60413/501	60	მპა
შეკუმშვის სიმტკიცე	DIN 51910	130	მპა
იანგის მოდული	DIN 51915	11.5×10³	მპა
თერმული გაფართოება (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
თბოგამტარობა (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

ის სპეციალურად შექმნილია მაღალი ეფექტურობის მზის უჯრედების წარმოებისთვის, რომელიც მხარს უჭერს G12 დიდი ზომის ვაფლის დამუშავებას. ოპტიმიზებული მატარებლის დიზაინი მნიშვნელოვნად ზრდის გამტარუნარიანობას, რაც უზრუნველყოფს უფრო მაღალ მოსავლიანობას და წარმოების ხარჯების შემცირებას.

ნივთი	ტიპი	ვაფლის მატარებელი ნომერი
PEVCD გრეფიტის ნავი - 156 სერია	156-13 გრეფიტის ნავი	144
	156-19 გრეფიტის ნავი	216
	156-21 გრეფიტის ნავი	240
	156-23 გრაფიტის ნავი	308
PEVCD გრეფიტის ნავი - 125 სერია	125-15 გრეფიტის ნავი	196
	125-19 გრეფიტის ნავი	252
	125-21 გრაფიტის ნავი	280