Dulang Pemuatan PECVD Dulang Grafit Pemendapan

Imej Pilihan Dulang Grafit Pemendapan Dulang Pemuatan PECVD

Penerangan Ringkas:

Dulang Pemuatan PECVD VET Energy direka bentuk untuk menyediakan sokongan yang selamat dan sekata untuk wafer semasa pemendapan, meningkatkan konsistensi dan kualiti proses pemendapan. Dengan rintangan haba yang sangat baik, Dulang Grafit membantu mengekalkan persekitaran terkawal di dalam ruang PECVD, mengurangkan risiko pencemaran dan memastikan kecekapan proses yang tinggi.

Hantar emel kepada kami Muat turun sebagai PDF

Butiran Produk

Tag Produk

Dulang pemuatan PECVD VET Energy ialah pembawa ketepatan yang direka untuk proses PECVD (pemendapan wap kimia dipertingkatkan plasma). Dulang grafit pemendapan berkualiti tinggi ini diperbuat daripada bahan grafit berketumpatan tinggi dan berketumpatan tinggi. Ia mempunyai rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan, kestabilan dimensi dan ciri-ciri lain yang sangat baik. Ia boleh menyediakan platform pembawa yang stabil untuk proses PECVD dan memastikan keseragaman dan kerataan pemendapan filem.

Dulang pemuatan PECVD VET Energy digunakan secara meluas dalam bidang semikonduktor, fotovoltaik, LED dan bidang lain. Contohnya:

▪ Semikonduktor: Proses PECVD untuk bahan semikonduktor seperti wafer silikon dan wafer epitaksi.

▪ Fotovoltaik: Proses PECVD untuk filem nipis sel solar.

▪ LED: Proses PECVD untuk cip LED.

Kelebihan Produk

▪Meningkatkan kualiti filem:Pastikan pemendapan filem yang seragam dan tingkatkan kualiti filem.

▪Panjangkan jangka hayat peralatan:Rintangan kakisan yang sangat baik, memanjangkan hayat perkhidmatan peralatan PECVD.

▪Mengurangkan kos pengeluaran:Dulang grafit berkualiti tinggi boleh mengurangkan kadar sekerap dan mengurangkan kos pengeluaran.

Bahan grafit daripada SGL:

Parameter tipikal: R6510
Indeks	Piawaian ujian	Nilai	Unit
Saiz butiran purata	ISO 13320	10	μm
Ketumpatan pukal	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Keliangan terbuka	DIN66133	10	%
Saiz liang sederhana	DIN66133	1.8	μm
Kebolehtelapan	DIN 51935	0.06	cm²/s
Kekerasan Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Kerintangan elektrik tertentu	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Kekuatan lenturan	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kekuatan mampatan	DIN 51910	130	MPa
Modulus Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Pengembangan haba (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Kekonduksian terma (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ia direka khusus untuk pembuatan sel solar berkecekapan tinggi, menyokong pemprosesan wafer bersaiz besar G12. Reka bentuk pembawa yang dioptimumkan meningkatkan daya pemprosesan dengan ketara, membolehkan kadar hasil yang lebih tinggi dan kos pengeluaran yang lebih rendah.

Barang	Jenis	Pembawa wafer nombor
Bot Grefit PEVCD - Siri 156	156-13 bot grefit	144
	156-19 bot grefit	216
	156-21 bot grefit	240
	Bot grafit 156-23	308
Bot Grefit PEVCD - Siri 125	Bot grefit 125-15	196
	Bot grefit 125-19	252
	Bot 125-21 grafit	280