PECVD kargatzeko erretilua, grafitozko erretilua

Deskribapen laburra:

VET Energy-ren PECVD kargatzeko erretilua deposizioan zehar obleak modu seguru eta uniformean eusteko diseinatuta dago, deposizio prozesuaren koherentzia eta kalitatea hobetuz. Beroarekiko erresistentzia bikainari esker, Grafitozko Erretiluak PECVD ganberen barruan ingurune kontrolatua mantentzen laguntzen du, kutsadura arriskua murriztuz eta prozesuaren eraginkortasun handia bermatuz.

Bidali mezu elektroniko bat guregana Deskargatu PDF gisa

Produktuaren xehetasuna

Produktuen etiketak

VET Energy PECVD kargatzeko erretilua PECVD (plasma bidezko lurrun-deposizio kimiko hobetua) prozesurako diseinatutako zehaztasun-garraiatzaile bat da. Kalitate handiko deposizio-grafitozko erretilu hau purutasun handiko eta dentsitate handiko grafito materialez egina dago. Tenperatura altuarekiko erresistentzia bikaina, korrosioarekiko erresistentzia, dimentsio-egonkortasun eta beste ezaugarri batzuk ditu. PECVD prozesurako garraiatzaile-plataforma egonkorra eskain dezake eta film-deposizioaren uniformetasuna eta lautasuna berma ditzake.

VET Energy PECVD kargatzeko erretiluak oso erabiliak dira erdieroaleetan, fotovoltaikoetan, LEDetan eta beste arlo batzuetan. Adibidez:

▪ Erdieroalea: PECVD prozesua siliziozko obleak eta obleak epitaxialak bezalako erdieroale materialetarako.

▪ Fotovoltaikoa: PECVD prozesua eguzki-zelulen film meheetarako.

▪ LED: PECVD prozesua LED txipetarako.

Produktuaren abantailak

▪Filmaren kalitatea hobetu:Ziurtatu filmaren metaketa uniformea eta hobetu filmaren kalitatea.

▪Ekipamenduaren bizitza luzatu:Korrosioarekiko erresistentzia bikaina, PECVD ekipamenduen bizitza erabilgarria luzatzen du.

▪Ekoizpen-kostuak murriztu:Kalitate handiko grafitozko erretiluek txatar-tasa murriztu eta ekoizpen-kostuak murriztu ditzakete.

SGL-ko grafito materiala:

Parametro tipikoa: R6510
Indizea	Proba estandarra	Balioa	Unitatea
Batez besteko ale-tamaina	ISO 13320	10	μm
Dentsitate masiboa	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porositate irekia	DIN66133	10	%
Poro tamaina ertaina	DIN66133	1.8	μm
Iragazkortasuna	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell gogortasuna HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Erresistentzia elektriko espezifikoa	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Flexio-erresistentzia	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Konpresio-erresistentzia	DIN 51910	130	MPa
Young-en modulua	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Hedapen termikoa (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Eroankortasun termikoa (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Zehazki eguzki-zelulen fabrikaziorako diseinatuta dago, eraginkortasun handikoa, G12 tamaina handiko obleen prozesamendua onartzen baitu. Garraiolarien diseinu optimizatuak nabarmen handitzen du ekoizpena, errendimendu-tasa handiagoak eta ekoizpen-kostu txikiagoak ahalbidetuz.

Elementua	Mota	Zenbakizko oblea-eramailea
PEVCD Grephite itsasontzia - 156 seriea	156-13 grefitozko ontzia	144
	156-19 grefitozko ontzia	216
	156-21 grefitozko ontzia	240
	156-23 grafitozko ontzia	308
PEVCD Grephite itsasontzia - 125 seriea	125-15 grefitozko ontzia	196
	125-19 grefitozko ontzia	252
	125-21 grafitozko ontzia	280