VET Energy PECVD йөкләү табагы - PECVD (плазма белән көчәйтелгән химик пар белән каплау) процессы өчен эшләнгән төгәл ташучы. Бу югары сыйфатлы каплау графит табагы югары сафлыклы, югары тыгызлыклы графит материалыннан эшләнгән. Ул югары температурага чыдам, коррозиягә чыдам, үлчәм тотрыклылыгы һәм башка үзенчәлекләргә ия. Ул PECVD процессы өчен тотрыклы ташучы платформа тәэмин итә һәм пленка каплауның бердәмлеген һәм яссылыгын тәэмин итә ала.
VET Energy PECVD йөкләү табаклары ярымүткәргечләрдә, фотоэлектрикларда, LEDларда һәм башка өлкәләрдә киң кулланыла. Мәсәлән:
▪ Ярымүткәргеч: Кремний пластиналары һәм эпитаксиаль пластиналар кебек ярымүткәргеч материаллар өчен PECVD процессы.
▪ Фотоэлектрик: Кояш батареяларының юка пленкалары өчен PECVD процессы.
▪ LED: LED чиплары өчен PECVD процессы.
Продукциянең өстенлекләре
▪Фильм сыйфатын яхшырту:Пленканың бердәм урнаштырылуын тәэмин итү һәм пленка сыйфатын яхшырту.
▪Җиһазларның гомерен озайту:Коррозиягә бик яхшы чыдамлык, PECVD җиһазларының хезмәт итү вакытын озайта.
▪Җитештерү чыгымнарын киметү:Югары сыйфатлы графит табаклары калдыклар күләмен киметә һәм җитештерү чыгымнарын киметә ала.
SGL графит материалы:
| Гадәти параметр: R6510 | |||
| Индекс | Сынау стандарты | Бәя | Берәмлек |
| Уртача бөртек зурлыгы | ISO 13320 | 10 | мкм |
| Күплек тыгызлыгы | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | г/см3 |
| Ачык мәсамәлелек | DIN66133 | 10 | % |
| Уртача тишек зурлыгы | DIN66133 | 1.8 | мкм |
| Үткәрүчәнлек | DIN 51935 | 0,06 | см²/с |
| Роквелл катылыгы HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Үзенчәлекле электр каршылыгы | DIN IEC 60413/402 | 13 | мкΩм |
| бөгелү көче | DIN IEC 60413/501 | 60 | МПа |
| Кысылу көче | DIN 51910 | 130 | МПа |
| Янг модуле | DIN 51915 | 11,5×10³ | МПа |
| Термик киңәю (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Җылылык үткәрүчәнлеге (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ул югары нәтиҗәле кояш батареялары җитештерү өчен махсус эшләнгән, G12 зур күләмле пластина эшкәртүне хуплый. Оптимальләштерелгән йөртүче конструкциясе җитештерүчәнлекне сизелерлек арттыра, югарырак уңыш күрсәткечләренә һәм җитештерү чыгымнарын киметергә мөмкинлек бирә.
| Әйбер | Төре | Номерлы пластина ташучы |
| PEVCD Грефит көймәсе - 156 сериясе | 156-13 грифит көймәсе | 144 |
| 156-19 грефит көймәсе | 216 | |
| 156-21 грифит көймәсе | 240 | |
| 156-23 графит көймәсе | 308 | |
| PEVCD Грефит көймәсе - 125 сериясе | 125-15 грифит көймәсе | 196 |
| 125-19 грефит көймәсе | 252 | |
| 125-21 грфит көймәсе | 280 |
