PECVD Luedetablett Oflagerungsgrafittablett

PECVD Luedetablett Oflagerung Grafittablett Featured Image

Kuerz Beschreiwung:

De PECVD-Ladebrett vu VET Energy ass entwéckelt fir eng sécher an gläichméisseg Ënnerstëtzung fir Waferen während der Oflagerung ze bidden, wat d'Konsistenz an d'Qualitéit vum Oflagerungsprozess verbessert. Mat senger exzellenter Hëtztbeständegkeet hëlleft de Graphitbrett eng kontrolléiert Ëmwelt an de PECVD-Kummeren ze erhalen, wat de Risiko vu Kontaminatioun reduzéiert an eng héich Prozesseffizienz garantéiert.

Schéckt eis eng E-Mail Als PDF eroflueden

Produktdetailer

Produkt Tags

De VET Energy PECVD Ladetablett ass e Präzisiounsträger, dee fir de PECVD-Prozess (Plasma-enhanced chemical vapor deposition) entwéckelt gouf. Dës héichqualitativ Oflagerungsgraphittablett ass aus héichreinem, héichdichtem Graphitmaterial gemaach. En huet eng exzellent Héichtemperaturbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, Dimensiounsstabilitéit an aner Charakteristiken. En kann eng stabil Trägerplattform fir de PECVD-Prozess ubidden an d'Uniformitéit an d'Flaachheet vun der Filmoflagerung garantéieren.

VET Energy PECVD Ladefächer gi wäit verbreet an den Hallefleiter-, Photovoltaik-, LED- an anere Beräicher benotzt. Zum Beispill:

▪ Hallefleeder: PECVD-Prozess fir Hallefleedermaterialien wéi Siliziumwaferen an epitaktesch Waferen.

▪ Photovoltaik: PECVD-Prozess fir dënn Schichten aus Solarzellen.

▪ LED: PECVD-Prozess fir LED-Chips.

Produktvirdeeler

▪Verbessert d'Filmqualitéit:Sécherstellen vun enger eenheetlecher Filmoflagerung a Verbesserung vun der Filmqualitéit.

▪Verlängeren d'Liewensdauer vun der Ausrüstung:Excellent Korrosiounsbeständegkeet, verlängert d'Liewensdauer vun der PECVD-Ausrüstung.

▪Produktiounskäschte reduzéieren:Héichqualitativ Graphittableaue kënnen d'Schrottquote reduzéieren an d'Produktiounskäschte senken.

Grafitmaterial vun SGL:

Typesche Parameter: R6510
Index	Teststandard	Wäert	Eenheet
Duerchschnëttlech Kärgréisst	ISO 13320	10	μm
Volumendicht	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm²³
Oppe Porositéit	DIN66133	10	%
Mëttelgrouss Porengréisst	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitéit	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-Härkeet HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spezifesch elektresch Widderstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Biegefestigkeit	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kompressiounsstäerkt	DIN 51910	130	MPa
Young säi Modul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Thermesch Expansioun (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Wärmeleitfäegkeet (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Et ass speziell fir d'Hierstellung vun héicheffiziente Solarzellen entwéckelt ginn, an ënnerstëtzt d'Veraarbechtung vu grousse G12-Waferen. Den optiméierten Trägerdesign erhéicht den Duerchgank däitlech, wat méi héich Rendementer a méi niddreg Produktiounskäschte erméiglecht.

Artikel	Typ	Zuel Wafer Carrier
PEVCD Grephite Boot - Déi 156 Serie	156-13 Grephitboot	144
	156-19 Grephitboot	216
	156-21 Grephitboot	240
	156-23 Grafitboot	308
PEVCD Grephite Boot - Déi 125 Serie	125-15 Grephit Boot	196
	125-19 Grephit Boot	252
	125-21 Grafitboot	280