Sudový susceptorJe klíčovou součástí epitaxních růstových procesů polovodičů, jako jsou MOCVD, MBE a CVD. Používá se hlavně k uložení destiček ve vysokoteplotních reakčních komorách a k zajištění rovnoměrného a stabilního prostředí tepelného pole, které zajišťuje přesné nanášení epitaxních vrstev (jako je GaN, SiC atd.). Jeho hlavní funkcí je dosáhnout vysoké rovnoměrnosti teploty povrchu destičky pomocí přesné regulace tepelného pole, čímž se zajišťuje rovnoměrnost tloušťky, koncentrace dopování a krystalové struktury epitaxních tenkých vrstev.
K výrobě používáme naši patentovanou technologiisusceptor barelus extrémně vysokou čistotou, dobrou rovnoměrností povlaku a vynikající životností, stejně jako vysokou chemickou odolností a tepelnou stabilitou.
Společnost VET Energy používá vysoce čistý grafit s povlakem CVD-SiC pro zvýšení chemické stability:
1. Vysoce čistý grafitový materiál
Vysoká tepelná vodivost: tepelná vodivost grafitu je třikrát vyšší než u křemíku, což umožňuje rychlý přenos tepla ze zdroje tepla na destičku a zkrácení doby ohřevu.
Mechanická pevnost: Hustota grafitu při izostatickém tlaku ≥ 1,85 g/cm³, odolná vysokým teplotám nad 1200 ℃ bez deformace.
2. CVD SiC povlak
Na povrchu grafitu se chemickým nanášením z plynné fáze (CVD) vytváří vrstva β-SiC s čistotou ≥ 99,99995 %, chyba rovnoměrnosti tloušťky povlaku je menší než ±5 % a drsnost povrchu je menší než Ra0,5 μm.
3. Zlepšení výkonu:
Odolnost proti korozi: odolává silným korozivním plynům, jako je Cl2, HCl atd., v prostředí NH3 může prodloužit životnost GaN epitaxe až třikrát.
Tepelná stabilita: Koeficient tepelné roztažnosti (4,5 × 10-6/℃) odpovídá grafitu, aby se zabránilo praskání povlaku způsobenému kolísáním teploty.
Tvrdost a odolnost proti opotřebení: Tvrdost dle Vickerse dosahuje 28 GPa, což je 10krát více než u grafitu a může snížit riziko poškrábání destičky.
| Kardiovaskulární onemocnění (CVD) SiC薄膜基本物理性能 Základní fyzikální vlastnosti CVD SiCpovlak | |
| 性质 / Nemovitost | 典型数值 / Typická hodnota |
| 晶体结构 / Krystalová struktura | Fáze β FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Hustota | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Tvrdost | 2500 维氏硬度（500g náplň） |
| 晶粒大小 / VELIKOST ZRNA | 2~10μm |
| 纯度 / Chemická čistota | 99,99995 % |
| 热容 / Tepelná kapacita | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Teplota sublimace | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Pevnost v ohybu | 415 MPa RT 4bodový |
| 杨氏模量 Youngův modul pružnosti | 430 Gpa, ohyb 4pt, 1300℃ |
| 导热系数 / TermalVodivost | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Tepelná roztažnost (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Společnost Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. je high-tech podnik zaměřující se na vývoj a výrobu špičkových pokročilých materiálů. Mezi materiály a technologie patří grafit, karbid křemíku, keramika a povrchové úpravy, jako je povlak SiC, povlak TaC, povlak ze skelného uhlíku, pyrolytický povlak uhlíku atd. Tyto produkty se široce používají ve fotovoltaice, polovodičích, nové energii, metalurgii atd.
Náš technický tým pochází z předních domácích výzkumných institucí a vyvinul řadu patentovaných technologií, které zajišťují výkon a kvalitu produktů, a také může zákazníkům poskytnout profesionální materiálová řešení.
