Kifaa cha Kuzuia Pipa Kilichofunikwa na SiC Kilichobinafsishwa

Picha Iliyoangaziwa ya Susceptor ya Pipa Iliyofunikwa ya SiC Iliyobinafsishwa

Maelezo Mafupi:

VET Energy ni mtengenezaji na muuzaji wa kitaalamu wa susceptor ya pipa iliyofunikwa na SiC nchini China. Tunaendelea kutengeneza michakato ya hali ya juu ili kutoa vifaa vya hali ya juu zaidi, na tumetengeneza teknolojia ya kipekee yenye hati miliki, ambayo inaweza kufanya uhusiano kati ya mipako na substrate kuwa mgumu na usioweza kutengana sana. Karibu kutembelea kiwanda chetu na tunatarajia kuwa mshirika wako wa muda mrefu nchini China.

Tutumie barua pepe Pakua kama PDF

Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

Kifaa cha kunyonya pipani sehemu muhimu katika michakato ya ukuaji wa epitaxial ya nusu-semiconductor kama vile MOCVD, MBE, CVD. Inatumika hasa kubeba wafers katika vyumba vya mmenyuko wa halijoto ya juu na kutoa mazingira sare na thabiti ya uwanja wa joto ili kuhakikisha uwekaji sahihi wa tabaka za epitaxial (kama vile GaN, SiC, n.k.). Kazi yake kuu ni kufikia usawa wa halijoto ya uso wa wafer kupitia udhibiti sahihi wa uwanja wa joto, na hivyo kuhakikisha unene, mkusanyiko wa dawa za kuongeza nguvu, na usawa wa muundo wa fuwele wa filamu nyembamba za epitaxial.

Tunatumia teknolojia yetu yenye hati miliki kutengenezakifaa cha kusukuma pipayenye usafi wa hali ya juu sana, ulinganifu mzuri wa mipako na maisha bora ya huduma, pamoja na upinzani mkubwa wa kemikali na sifa za uthabiti wa joto.

VET Energy hutumia grafiti ya usafi wa hali ya juu yenye mipako ya CVD-SiC ili kuongeza uthabiti wa kemikali:

1. Nyenzo ya grafiti yenye usafi wa hali ya juu
Upitishaji joto wa juu: upitishaji joto wa grafiti ni mara tatu ya silicon, ambayo inaweza kuhamisha joto haraka kutoka kwa chanzo cha joto hadi kwenye wafer na kufupisha muda wa joto.
Nguvu ya mitambo: Msongamano wa grafiti ya shinikizo la isostatic ≥ 1.85 g/cm³, yenye uwezo wa kuhimili halijoto ya juu zaidi ya 1200 ℃ bila mabadiliko.

2. Mipako ya CVD SiC
Safu ya β-SiC huundwa juu ya uso wa grafiti kwa kutumia mvuke wa kemikali (CVD), ikiwa na usafi wa ≥ 99.99995%, hitilafu ya usawa wa unene wa mipako ni chini ya ±5%, na ukali wa uso ni chini ya Ra0.5um.

3. Uboreshaji wa utendaji:
Upinzani wa kutu: inaweza kuhimili gesi zenye babuzi nyingi kama vile Cl2, HCl, n.k., inaweza kuongeza muda wa maisha wa epitaksi ya GaN kwa mara tatu katika mazingira ya NH3.
Uthabiti wa joto: Mgawo wa upanuzi wa joto (4.5 × 10-6/℃) unalingana na grafiti ili kuepuka kupasuka kwa mipako kunakosababishwa na mabadiliko ya halijoto.
Ugumu na Upinzani wa Uchakavu: Ugumu wa Vickers hufikia 28 GPa, ambayo ni mara 10 zaidi ya grafiti na inaweza kupunguza hatari ya mikwaruzo ya wafer.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifa za kimsingi za kimwili za CVD SiCmipako
性质 / Mali	典型数值 / Thamani ya Kawaida
晶体结构 / Muundo wa Fuwele	Awamu ya FCC β多晶，主要為（111）取向
密度 / Uzito	3.21 g/cm³
硬度 / Ugumu	2500 维氏硬度 (mzigo wa 500g)
晶粒大小 / Ukubwa wa Nafaka	2 ~ 10μm
纯度 / Usafi wa Kemikali	99.99995%
热容 / Uwezo wa Joto	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Halijoto ya Usablimishaji	2700℃
抗弯强度 / Nguvu ya Kunyumbulika	415 MPa RT pointi 4
杨氏模量 / Moduli ya Vijana	430 Gpa 4pt mkunjo, 1300℃
导热系数 / ThermalUpitishaji	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Upanuzi wa Joto (CTE)	4.5×10^-6K^-1

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ni biashara ya teknolojia ya hali ya juu inayozingatia maendeleo na uzalishaji wa vifaa vya hali ya juu, vifaa na teknolojia ikiwa ni pamoja na grafiti, karabidi ya silikoni, kauri, matibabu ya uso kama vile mipako ya SiC, mipako ya TaC, mipako ya kaboni ya kioo, mipako ya kaboni ya pyrolytic, nk., bidhaa hizi hutumika sana katika photovoltaic, semiconductor, nishati mpya, madini, nk.

Timu yetu ya kiufundi inatoka katika taasisi bora za utafiti wa ndani, na imeunda teknolojia nyingi zilizo na hati miliki ili kuhakikisha utendaji na ubora wa bidhaa, inaweza pia kuwapa wateja suluhisho za nyenzo za kitaalamu.