Kishinikizo cha Pipa Kilichobinafsishwa cha SiC

Kidhibiti cha pipani sehemu ya msingi katika michakato ya ukuaji wa semiconductor epitaxial kama vile MOCVD, MBE, CVD. Hutumiwa zaidi kubeba kaki katika vyumba vya athari ya halijoto ya juu na kutoa mazingira sare na thabiti ya uwanja wa mafuta ili kuhakikisha uwekaji sahihi wa tabaka za epitaxial (kama vile GaN, SiC, nk.). Kazi yake kuu ni kufikia usawa wa juu wa halijoto ya kaki kupitia udhibiti sahihi wa uwanja wa mafuta, na hivyo kuhakikisha unene, ukolezi wa dawa za kuongeza nguvu mwilini, na usawa wa muundo wa fuwele wa filamu nyembamba za epitaxial.

Tunatumia teknolojia yetu ya hati miliki kutengenezakibabu cha pipana usafi wa juu sana, usawa mzuri wa mipako na maisha bora ya huduma, pamoja na upinzani wa juu wa kemikali na mali ya utulivu wa joto.

VET Energy hutumia grafiti yenye ubora wa juu na mipako ya CVD-SiC ili kuimarisha uthabiti wa kemikali:

1. Nyenzo za grafiti za usafi wa juu
Conductivity ya juu ya mafuta: conductivity ya mafuta ya grafiti ni mara tatu ya silicon, ambayo inaweza kuhamisha haraka joto kutoka kwa chanzo cha joto hadi kwenye kaki na kufupisha muda wa joto.
Nguvu ya mitambo: Msongamano wa grafiti wa shinikizo la isostatic ≥ 1.85 g/cm ³, yenye uwezo wa kuhimili halijoto ya juu zaidi ya 1200 ℃ bila mgeuko.

2. Mipako ya CVD SiC
Safu ya β - SiC huundwa juu ya uso wa grafiti kwa utuaji wa mvuke wa kemikali (CVD), na usafi wa ≥ 99.99995%, kosa la usawa wa unene wa mipako ni chini ya ± 5%, na ukali wa uso ni chini ya Ra0.5um.

3. Uboreshaji wa utendaji:
Ustahimilivu wa kutu: inaweza kustahimili gesi babuzi nyingi kama vile Cl2, HCl, nk, inaweza kupanua maisha ya epitaksi ya GaN kwa mara tatu katika mazingira ya NH3.
Uthabiti wa joto: Mgawo wa upanuzi wa joto (4.5 × 10-6/℃) unalingana na grafiti ili kuepuka kupasuka kwa mipako kunakosababishwa na kushuka kwa joto.
Ugumu na Ustahimilivu wa Kuvaa: Ugumu wa Vickers hufikia 28 GPa, ambayo ni mara 10 zaidi ya grafiti na inaweza kupunguza hatari ya mikwaruzo ya kaki.