Susceptor de butoi acoperit cu SiC personalizat

Susceptor de butoieste o componentă esențială în procesele de creștere epitaxială a semiconductorilor, cum ar fi MOCVD, MBE, CVD. Este utilizat în principal pentru a transporta napolitane în camere de reacție la temperatură înaltă și pentru a asigura un mediu uniform și stabil al câmpului termic pentru a asigura depunerea precisă a straturilor epitaxiale (cum ar fi GaN, SiC etc.). Funcția sa principală este de a obține o uniformitate ridicată a temperaturii suprafeței napolitane printr-un control precis al câmpului termic, asigurând astfel grosimea, concentrația de dopare și uniformitatea structurii cristaline a peliculelor subțiri epitaxiale.

Folosim tehnologia noastră patentată pentru a facesusceptor de butoicu puritate extrem de ridicată, o bună uniformitate a acoperirii și o durată de viață excelentă, precum și proprietăți ridicate de rezistență chimică și stabilitate termică.

VET Energy utilizează grafit de înaltă puritate cu acoperire CVD-SiC pentru a îmbunătăți stabilitatea chimică:

1. Material de grafit de înaltă puritate
Conductivitate termică ridicată: conductivitatea termică a grafitului este de trei ori mai mare decât cea a siliciului, putând transfera rapid căldura de la sursa de încălzire la napolitană și scurtând timpul de încălzire.
Rezistență mecanică: Densitatea grafitului la presiune izostatică ≥ 1,85 g/cm³, capabil să reziste la temperaturi ridicate de peste 1200 ℃ fără deformare.

2. Acoperire CVD cu SiC
Un strat de β-SiC se formează pe suprafața grafitului prin depunere chimică în fază de vapori (CVD), cu o puritate de ≥ 99,99995%, eroarea de uniformitate a grosimii stratului de acoperire este mai mică de ±5%, iar rugozitatea suprafeței este mai mică de Ra0,5um.

3. Îmbunătățirea performanței:
Rezistență la coroziune: poate rezista la gaze cu coroziune ridicată, cum ar fi Cl2, HCl etc., poate prelungi durata de viață a epitaxiei GaN de trei ori în mediul NH3.
Stabilitate termică: Coeficientul de dilatare termică (4,5 × 10-6/℃) este egal cu cel al grafitului pentru a evita fisurarea stratului de acoperire cauzată de fluctuațiile de temperatură.
Duritate și rezistență la uzură: Duritatea Vickers atinge 28 GPa, de 10 ori mai mare decât cea a grafitului și poate reduce riscul de zgârieturi ale plachetelor.