Nahiangay nga SiC Coated Barrel Susceptor

Susceptor sa barilmao ang usa ka kinauyokan nga sangkap sa semiconductor epitaxial nga proseso sa pagtubo sama sa MOCVD, MBE, CVD. Nag-una kini nga gigamit sa pagdala sa mga wafer sa taas nga temperatura nga mga lawak sa reaksyon ug paghatag usa ka uniporme ug lig-on nga thermal field environment aron masiguro ang tukma nga pagbutang sa mga epitaxial layer (sama sa GaN, SiC, ug uban pa). Ang kinauyokan nga gimbuhaton niini mao ang pagkab-ot sa taas nga pagkaparehas sa temperatura sa ibabaw nga wafer pinaagi sa tukma nga pagkontrol sa natad sa kainit, sa ingon masiguro ang gibag-on, konsentrasyon sa doping, ug pagkakapareho sa istruktura sa kristal sa mga epitaxial thin films.

Gigamit namo ang among patented nga teknolohiya sa paghimo sasusceptor sa barilnga adunay hilabihan ka taas nga kaputli, maayo nga coating uniformity ug usa ka maayo kaayo nga serbisyo sa kinabuhi, ingon man usab sa taas nga kemikal nga pagsukol ug thermal stability properties.

Gigamit sa VET Energy ang taas nga kaputli nga graphite nga adunay sapaw nga CVD-SiC aron mapauswag ang kalig-on sa kemikal:

1. Taas nga kaputli graphite nga materyal
Taas nga thermal conductivity: ang thermal conductivity sa graphite tulo ka pilo sa silicon, nga dali nga mabalhin ang kainit gikan sa gigikanan sa pagpainit ngadto sa wafer ug mub-an ang oras sa pagpainit.
Mekanikal nga kusog: Isostatic pressure graphite density ≥ 1.85 g/cm ³, nga makasugakod sa taas nga temperatura labaw sa 1200 ℃ nga walay deformation.

2. CVD SiC coating
Usa ka β - SiC layer ang naporma sa ibabaw sa graphite pinaagi sa kemikal nga alisngaw deposition (CVD), uban sa usa ka kaputli sa ≥ 99.99995%, ang pagkaparehas nga sayop sa sapaw gibag-on mao ang ubos pa kay sa ± 5%, ug ang ibabaw roughness mao ang ubos pa kay sa Ra0.5um.

3. Pagpauswag sa performance:
Ang resistensya sa kaagnasan: makasukol sa taas nga mga corrosive gas sama sa Cl2, HCl, ug uban pa, mahimo’g mapalugway ang kinabuhi sa GaN epitaxy sa tulo ka beses sa palibot sa NH3.
Thermal stability: Ang coefficient sa thermal expansion (4.5 × 10-6/℃) motakdo sa graphite aron malikayan ang coating cracking tungod sa pag-usab-usab sa temperatura.
Katig-a ug Pagsul-ob sa Pagsukol: Ang katig-a sa Vickers moabot sa 28 GPa, nga 10 ka pilo nga mas taas kay sa graphite ug makapakunhod sa risgo sa mga garas sa wafer.