Susceptor sa barilesAng γ ...
Gigamit namo ang among patentadong teknolohiya aron mahimo angtigsuyop sa barilnga adunay taas kaayo nga kaputli, maayong pagkaparehas sa coating ug maayo kaayo nga kinabuhi sa serbisyo, ingon man taas nga resistensya sa kemikal ug thermal stability nga mga kabtangan.
Ang VET Energy migamit ug taas nga kaputli nga graphite nga adunay CVD-SiC coating aron mapalambo ang kalig-on sa kemikal:
1. Materyal nga grapayt nga taas og kaputli
Taas nga thermal conductivity: ang thermal conductivity sa graphite tulo ka pilo kay sa silicon, nga dali nga makabalhin sa kainit gikan sa tinubdan sa pagpainit ngadto sa wafer ug makapamubo sa oras sa pagpainit.
Kusog sa mekanikal: Isostatic pressure graphite density ≥ 1.85 g/cm³, nga makasugakod sa taas nga temperatura nga labaw sa 1200 ℃ nga walay deformation.
2. CVD SiC nga patong
Usa ka β-SiC layer ang naporma sa ibabaw sa graphite pinaagi sa chemical vapor deposition (CVD), nga adunay kaputli nga ≥ 99.99995%, ang uniformity error sa gibag-on sa coating ubos sa ±5%, ug ang surface roughness ubos sa Ra0.5um.
3. Pag-uswag sa performance:
Pagsukol sa kaagnasan: makasugakod sa taas nga corrosive nga mga gas sama sa Cl2, HCl, ug uban pa, makapalugway sa kinabuhi sa GaN epitaxy sa tulo ka pilo sa palibot sa NH3.
Kalig-on sa kainit: Ang coefficient sa thermal expansion (4.5 × 10-6/℃) mohaom sa graphite aron malikayan ang pagliki sa coating nga gipahinabo sa pag-usab-usab sa temperatura.
Katig-a ug Pagsukol sa Pagsul-ob: Ang katig-a sa Vickers moabot sa 28 GPa, nga 10 ka pilo nga mas taas kaysa graphite ug makapakunhod sa risgo sa mga garas sa wafer.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Mga batakang pisikal nga kabtangan sa CVD SiCpatong | |
| 性质 / Kabtangan | 典型数值 / Kasagaran nga Bili |
| 晶体结构 / Kristal nga Istruktura | Hugna sa FCC β多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Densidad | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / Katig-a | 2500 维氏硬度（500g load） |
| 晶粒大小 / Gidak-on sa Lugas | 2~10μm |
| 纯度 / Kemikal nga Kaputli | 99.99995% |
| 热容 / Kapasidad sa Init | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Temperatura sa Sublimasyon | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Kusog sa Pag-flex | 415 MPa RT 4-punto |
| 杨氏模量 / Modulus ni Young | 430 Gpa 4pt nga liko, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalKonduktibidad | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Pagpalapad sa Init (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Ang Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd usa ka high-tech nga negosyo nga nagpunting sa pagpalambo ug produksiyon sa mga high-end advanced nga materyales, ang mga materyales ug teknolohiya lakip ang graphite, silicon carbide, ceramics, surface treatment sama sa SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ug uban pa, kini nga mga produkto kaylap nga gigamit sa photovoltaic, semiconductor, bag-ong enerhiya, metalurhiya, ug uban pa.
Ang among teknikal nga grupo gikan sa mga nanguna nga institusyon sa panukiduki sa nasud, ug nakaugmad og daghang patentadong mga teknolohiya aron masiguro ang performance ug kalidad sa produkto, ug makahatag usab sa mga kustomer og propesyonal nga solusyon sa materyal.
