Специально разработанный ствольный подхват с покрытием из карбида кремния

Стволовой сусепторЯвляется ключевым компонентом в процессах эпитаксиального роста полупроводников, таких как MOCVD, MBE, CVD. В основном используется для перемещения пластин в высокотемпературные реакционные камеры и обеспечения равномерного и стабильного теплового поля для точного осаждения эпитаксиальных слоев (таких как GaN, SiC и др.). Его основная функция заключается в достижении высокой однородности температуры поверхности пластины за счет точного контроля теплового поля, что обеспечивает толщину, концентрацию легирования и однородность кристаллической структуры эпитаксиальных тонких пленок.

Мы используем нашу запатентованную технологию для производстваствольный сусепторОбладает чрезвычайно высокой чистотой, хорошей однородностью покрытия и превосходным сроком службы, а также высокой химической стойкостью и термостойкостью.

Компания VET Energy использует высокочистый графит с покрытием из CVD-SiC для повышения химической стабильности:

1. Графитовый материал высокой чистоты
Высокая теплопроводность: теплопроводность графита в три раза выше, чем у кремния, что позволяет быстро передавать тепло от источника нагрева к подложке и сокращать время нагрева.
Механическая прочность: плотность графита при изостатическом давлении ≥ 1,85 г/см³, способность выдерживать высокие температуры выше 1200 ℃ без деформации.

2. Покрытие SiC, полученное методом химического осаждения из газовой фазы (CVD).
Слой β-SiC формируется на поверхности графита методом химического осаждения из газовой фазы (CVD) с чистотой ≥ 99,99995%, погрешностью равномерности толщины покрытия менее ±5% и шероховатостью поверхности менее Ra0,5 мкм.

3. Повышение производительности:
Коррозионная стойкость: выдерживает воздействие высококоррозионных газов, таких как Cl2, HCl и др., может в три раза продлить срок службы эпитаксии GaN в среде NH3.
Термическая стабильность: Коэффициент теплового расширения (4,5 × 10⁻⁶/℃) соответствует графиту, что предотвращает растрескивание покрытия, вызванное колебаниями температуры.
Твердость и износостойкость: твердость по Виккерсу достигает 28 ГПа, что в 10 раз выше, чем у графита, и может снизить риск появления царапин на кремниевой пластине.