Индивидуальный токоприемник с покрытием SiC

Токоприемник стволаявляется основным компонентом в процессах эпитаксиального роста полупроводников, таких как MOCVD, MBE, CVD. Он в основном используется для переноса пластин в высокотемпературных реакционных камерах и обеспечивает однородное и стабильное тепловое поле для обеспечения точного осаждения эпитаксиальных слоев (таких как GaN, SiC и т. д.). Его основная функция заключается в достижении высокой однородности температуры поверхности пластины за счет точного управления тепловым полем, тем самым обеспечивая однородность толщины, концентрации легирования и кристаллической структуры эпитаксиальных тонких пленок.

Мы используем нашу запатентованную технологию для созданияствол токоприемникас чрезвычайно высокой чистотой, хорошей однородностью покрытия и превосходным сроком службы, а также высокими свойствами химической стойкости и термической стабильности.

Компания VET Energy использует высокочистый графит с покрытием CVD-SiC для повышения химической стабильности:

1. Графитовый материал высокой чистоты
Высокая теплопроводность: теплопроводность графита в три раза выше, чем у кремния, что позволяет быстро передавать тепло от источника нагрева к пластине и сокращать время нагрева.
Механическая прочность: плотность графита при изостатическом давлении ≥ 1,85 г/см³, способность выдерживать высокие температуры свыше 1200 ℃ без деформации.

2. CVD-покрытие SiC
На поверхности графита методом химического осаждения из газовой фазы (CVD) сформирован слой β-SiC с чистотой ≥ 99,99995%, погрешность равномерности толщины покрытия составляет менее ±5%, а шероховатость поверхности составляет менее Ra0,5мкм.

3. Улучшение производительности:
Коррозионная стойкость: выдерживает воздействие едких газов, таких как Cl2, HCl и т. д., может продлить срок службы эпитаксии GaN в три раза в среде NH3.
Термическая стабильность: коэффициент теплового расширения (4,5 × 10-6/℃) соответствует графиту, что позволяет избежать растрескивания покрытия из-за колебаний температуры.
Твердость и износостойкость: твердость по Виккерсу достигает 28 ГПа, что в 10 раз выше, чем у графита, и может снизить риск появления царапин на пластине.