ຕົວຮັບກະບອກເປັນອົງປະກອບຫຼັກໃນຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງເຊມິຄອນດັກເຕີ epitaxial ເຊັ່ນ MOCVD, MBE, CVD. ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ເພື່ອຂົນສົ່ງເວເຟີໃນຫ້ອງປະຕິກິລິຍາທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ສະໜອງສະພາບແວດລ້ອມຂອງສະໜາມຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ ແລະ ໝັ້ນຄົງເພື່ອຮັບປະກັນການວາງຊັ້ນ epitaxial ທີ່ຊັດເຈນ (ເຊັ່ນ GaN, SiC, ແລະອື່ນໆ). ໜ້າທີ່ຫຼັກຂອງມັນແມ່ນເພື່ອໃຫ້ບັນລຸຄວາມສະເໝີພາບສູງຂອງອຸນຫະພູມໜ້າດິນເວເຟີຜ່ານການຄວບຄຸມສະໜາມຄວາມຮ້ອນທີ່ຊັດເຈນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຮັບປະກັນຄວາມໜາ, ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງສານເສີມ, ແລະ ຄວາມສະເໝີພາບຂອງໂຄງສ້າງຜລຶກຂອງຟິມບາງ epitaxial.
ພວກເຮົາໃຊ້ເທັກໂນໂລຢີທີ່ໄດ້ຮັບສິດທິບັດຂອງພວກເຮົາເພື່ອເຮັດໃຫ້ຕົວຮັບກະບອກມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຫຼາຍ, ມີຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການເຄືອບທີ່ດີ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ດີເລີດ, ພ້ອມທັງມີຄຸນສົມບັດຕ້ານທານສານເຄມີສູງ ແລະ ສະຖຽນລະພາບທາງຄວາມຮ້ອນ.
VET Energy ໃຊ້ graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງພ້ອມດ້ວຍການເຄືອບ CVD-SiC ເພື່ອເພີ່ມຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີ:
1. ວັດສະດຸ graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງ
ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນສູງ: ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນຂອງ graphite ແມ່ນສາມເທົ່າຂອງຊິລິໂຄນ, ເຊິ່ງສາມາດຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນຈາກແຫຼ່ງຄວາມຮ້ອນໄປຫາແຜ່ນ wafer ໄດ້ໄວ ແລະ ຫຼຸດເວລາການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນລົງ.
ຄວາມເຂັ້ມແຂງທາງກົນຈັກ: ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງແກຣໄຟຕ໌ທີ່ມີຄວາມດັນໄອໂຊສະຖິດ ≥ 1.85 g/cm³, ສາມາດທົນຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 1200 ℃ ໂດຍບໍ່ມີການຜິດຮູບ.
2. ການເຄືອບ SiC CVD
ຊັ້ນ β - SiC ຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງແກຣໄຟໂດຍການລະເຫີຍໄອເຄມີ (CVD), ມີຄວາມບໍລິສຸດ ≥ 99.99995%, ຄວາມຜິດພາດຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຄວາມໜາຂອງເຄືອບໜ້ອຍກວ່າ ± 5%, ແລະຄວາມຫຍາບຂອງໜ້າດິນໜ້ອຍກວ່າ Ra0.5um.
3. ການປັບປຸງປະສິດທິພາບ:
ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ: ສາມາດທົນທານຕໍ່ອາຍແກັສທີ່ມີການກັດກ່ອນສູງເຊັ່ນ Cl2, HCl, ແລະອື່ນໆ, ສາມາດຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງ GaN epitaxy ໄດ້ສາມເທົ່າໃນສະພາບແວດລ້ອມ NH3.
ສະຖຽນລະພາບທາງຄວາມຮ້ອນ: ສຳປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ (4.5 × 10-6/℃) ກົງກັບແກຣໄຟເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການແຕກຂອງຊັ້ນເຄືອບທີ່ເກີດຈາກການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ.
ຄວາມແຂງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່: ຄວາມແຂງຂອງ Vickers ສູງເຖິງ 28 GPa, ເຊິ່ງສູງກວ່າ graphite 10 ເທົ່າ ແລະ ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງຮອຍຂີດຂ່ວນຂອງ wafer.
| ພະຍາດຫົວໃຈແລະຫຼອດເລືອດ SiC薄膜基本物理性能 ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງ CVD SiCການເຄືອບ | |
| 性质 / ຊັບສິນ | 典型数值 / ຄ່າປົກກະຕິ |
| 晶体结构 / ໂຄງສ້າງຜລຶກ | ໄລຍະ β ຂອງ FCC多晶，主要为（111) 取向 |
| 密度 / ຄວາມໜາແໜ້ນ | 3.21 ກຣາມ/ຊມ³ |
| 硬度 / ຄວາມແຂງ | 2500 维氏硬度 (ໂຫຼດ 500g) |
| 晶粒大小 / ຂະໜາດເມັດພືດ | 2~10ໄມໂຄຣມ |
| 纯度 / ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ | 99.99995% |
| 热容 / ຄວາມຈຸຄວາມຮ້ອນ | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / ອຸນຫະພູມການລະເຫີຍ | 2700℃ |
| 抗弯强度 / ຄວາມແຂງແຮງໃນການບິດງໍ | 415 MPa RT 4 ຈຸດ |
| 杨氏模量 / ໂມດູນຂອງໜຸ່ມ | 430 Gpa 4pt ງໍ, 1300℃ |
| 导热系数 / ເທີມາລຄວາມນຳໄຟຟ້າ | 300 ວັດ·ມ-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ (CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
ບໍລິສັດ ໜິງໂປ ເວດ ພະລັງງານ ເທັກໂນໂລຢີ ຈຳກັດ ເປັນວິສາຫະກິດເທັກໂນໂລຢີທີ່ສຸມໃສ່ການພັດທະນາ ແລະ ການຜະລິດວັດສະດຸທີ່ທັນສະໄໝລະດັບສູງ, ວັດສະດຸ ແລະ ເທັກໂນໂລຢີດັ່ງກ່າວລວມມີ ແກຣໄຟ, ຊິລິກອນ ຄາໄບ, ເຊລາມິກ, ການເຄືອບພື້ນຜິວເຊັ່ນ: ການເຄືອບ SiC, ການເຄືອບ TaC, ການເຄືອບຄາບອນແກ້ວ, ການເຄືອບຄາບອນໄພໂຣໄລຕິກ, ແລະອື່ນໆ, ຜະລິດຕະພັນເຫຼົ່ານີ້ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຜະລິດພະລັງງານແສງຕາເວັນ, ເຄິ່ງຕົວນຳ, ພະລັງງານໃໝ່, ໂລຫະວິທະຍາ, ແລະອື່ນໆ.
ທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄວ້າພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ແລະ ໄດ້ພັດທະນາເຕັກໂນໂລຢີທີ່ໄດ້ຮັບສິດທິບັດຫຼາຍຢ່າງເພື່ອຮັບປະກັນປະສິດທິພາບ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ, ຍັງສາມາດໃຫ້ລູກຄ້າມີວິທີແກ້ໄຂດ້ານວັດສະດຸແບບມືອາຊີບ.
