Suseptor larasMangrupikeun komponén inti dina prosés pertumbuhan épitaksial semikonduktor sapertos MOCVD, MBE, CVD. Ieu utamina dianggo pikeun mawa wafer dina rohangan réaksi suhu luhur sareng nyayogikeun lingkungan médan termal anu seragam sareng stabil pikeun mastikeun déposisi lapisan épitaksial anu tepat (sapertos GaN, SiC, jsb.). Fungsi inti na nyaéta pikeun ngahontal keseragaman suhu permukaan wafer anu luhur ngalangkungan kontrol médan termal anu tepat, ku kituna mastikeun ketebalan, konsentrasi doping, sareng keseragaman struktur kristal tina pilem ipis épitaksial.
Kami nganggo téknologi anu dipatenkeun pikeun ngadamelsuseptor laraskalayan kamurnian anu luhur pisan, keseragaman palapis anu saé sareng umur jasa anu saé pisan, ogé résistansi kimia sareng sipat stabilitas termal anu luhur.
VET Energy nganggo grafit anu murni kalayan lapisan CVD-SiC pikeun ningkatkeun stabilitas kimiawi:
1. Bahan grafit kamurnian luhur
Konduktivitas termal anu luhur: konduktivitas termal grafit tilu kali lipat tina silikon, anu tiasa gancang mindahkeun panas tina sumber pemanasan ka wafer sareng ngirangan waktos pemanasan.
Kakuatan mékanis: Kapadetan grafit tekanan isostatik ≥ 1,85 g/cm³, sanggup nahan suhu luhur di luhur 1200 ℃ tanpa deformasi.
2. Lapisan CVD SiC
Lapisan β-SiC kabentuk dina beungeut grafit ku cara déposisi uap kimia (CVD), kalayan kamurnian ≥ 99,99995%, kasalahan keseragaman ketebalan palapis kirang ti ± 5%, sareng karasana permukaan kirang ti Ra0,5um.
3. Peningkatan kinerja:
Tahan korosi: tiasa tahan gas korosif anu luhur sapertos Cl2, HCl, jsb., tiasa manjangkeun umur epitaksi GaN tilu kali dina lingkungan NH3.
Stabilitas termal: Koéfisién ékspansi termal (4,5 × 10-6/℃) cocog sareng grafit pikeun nyingkahan retakan lapisan anu disababkeun ku fluktuasi suhu.
Karasa jeung Résistansi kana Aus: Karasa Vickers ngahontal 28 GPa, anu 10 kali leuwih luhur tibatan grafit sarta bisa ngurangan résiko goresan wafer.
| CVD (Panyakit Jantung jeung Lambung) SiC薄膜基本物理性能 Sipat fisik dasar CVD SiCpalapis | |
| 性质 / Harta | 典型数值 / Nilai Khas |
| 晶体结构 / Struktur Kristal | Fase β FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Kapadetan | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Karasa | 2500 维氏硬度（500g beban） |
| 晶粒大小 / Ukuran Gandum | 2 ~ 10μm |
| 纯度 / Kamurnian Kimia | 99.99995% |
| 热容 / Kapasitas Panas | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Suhu Sublimasi | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Kakuatan Fleksibel | 415 MPa RT 4-titik |
| 杨氏模量 / Modulus Young | 430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃ |
| 导热系数 / TermalKonduktivitas | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Ékspansi Termal (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd mangrupikeun perusahaan téknologi tinggi anu fokus kana pamekaran sareng produksi bahan canggih kelas atas, bahan sareng téknologi kalebet grafit, silikon karbida, keramik, perlakuan permukaan sapertos palapis SiC, palapis TaC, palapis karbon glassy, palapis karbon pirolitik, jsb., produk ieu seueur dianggo dina fotovoltaik, semikonduktor, énergi énggal, metalurgi, jsb.
Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, sareng parantos ngembangkeun sababaraha téknologi anu dipatenkeun pikeun mastikeun kinerja sareng kualitas produk, ogé tiasa nyayogikeun solusi bahan profésional ka para nasabah.
