Tong susceptormangrupakeun komponén inti dina prosés pertumbuhan epitaxial semikonduktor kayaning MOCVD, MBE, CVD. Ieu utamana dipaké pikeun mawa wafers dina kamar réaksi suhu luhur sarta nyadiakeun lingkungan médan termal seragam jeung stabil pikeun mastikeun déposisi tepat lapisan epitaxial (sapertos GaN, SiC, jsb). Fungsi inti na nyaéta pikeun ngahontal uniformity luhur suhu permukaan wafer ngaliwatan kontrol médan termal tepat, kukituna mastikeun ketebalan, konsentrasi doping, sarta struktur kristal uniformity tina film ipis epitaxial.
Kami nganggo téknologi anu dipaténkeun pikeun ngadamellaras susceptorkalawan purity pisan tinggi, uniformity palapis alus sarta hirup layanan alus teuing, kitu ogé lalawanan kimiawi tinggi jeung sipat stabilitas termal.
VET Energy nganggo grafit kemurnian tinggi sareng palapis CVD-SiC pikeun ningkatkeun stabilitas kimia:
1. bahan grafit purity tinggi
Konduktivitas termal anu luhur: konduktivitas termal grafit tilu kali tina silikon, anu tiasa gancang mindahkeun panas tina sumber pemanasan ka wafer sareng pondok waktos pemanasan.
Kakuatan mékanis: Isostatic tekanan grafit kapadetan ≥ 1,85 g / cm ³, sanggup withstanding suhu luhur di luhur 1200 ℃ tanpa deformasi.
2. palapis CVD SiC
A β - SiC lapisan kabentuk dina beungeut grafit ku déposisi uap kimiawi (CVD), kalawan purity of ≥ 99.99995%, kasalahan uniformity ketebalan palapis kirang ti ± 5%, sarta roughness permukaan kirang ti Ra0.5um.
3. Perbaikan kinerja:
Résistansi korosi: tiasa nahan gas korosif anu luhur sapertos Cl2, HCl, jsb, tiasa manjangkeun umur epitaxy GaN ku tilu kali dina lingkungan NH3.
Stabilitas termal: Koéfisién ékspansi termal (4,5 × 10-6 / ℃) cocog sareng grafit pikeun nyegah palapis retakan disababkeun ku turun naek suhu.
Teu karasa sareng Ketahanan Wear: Karasa Vickers ngahontal 28 GPa, nyaéta 10 kali langkung luhur tibatan grafit sareng tiasa ngirangan résiko goresan wafer.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Sipat fisik dasar CVD SiCpalapis | |
| 性质 / Harta | 典型数值 / Niley has |
| 晶体结构 / Struktur Kristal | Fase β FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Kapadetan | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Teu karasa | 2500 维氏硬度（500g beban） |
| 晶粒大小 / Ukuran Gandum | 2~10μm |
| 纯度 / Kamurnian Kimia | 99.99995% |
| 热容 / Kapasitas panas | 640 J·kg-1· K-1 |
| 升华温度 / Suhu sublimation | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Kakuatan Flexural | 415 MPa RT 4-titik |
| 杨氏模量 / Modulus ngora | 430 Gpa 4pt ngalipet, 1300 ℃ |
| 导热系数 / TérmalKonduktivitas | 300W·m-1· K-1 |
| 热膨胀系数 / Ékspansi Termal (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd mangrupikeun perusahaan téknologi tinggi anu fokus kana pamekaran sareng produksi bahan canggih anu luhur, bahan sareng téknologi kalebet grafit, silikon karbida, keramik, perlakuan permukaan sapertos palapis SiC, palapis TaC, palapis karbon kaca, palapis karbon pyrolytic, jsb.
Tim téknis urang asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, sarta geus ngembangkeun sababaraha téknologi dipaténkeun pikeun mastikeun kinerja sarta kualitas produk, ogé bisa nyadiakeun konsumén jeung solusi bahan profésional.
