Barrel-ûntfangeris in kearnkomponint yn healgeleider epitaksiale groeiprosessen lykas MOCVD, MBE, CVD. It wurdt benammen brûkt om wafers te dragen yn hege-temperatuer reaksjekeamers en in unifoarme en stabile termyske fjildomjouwing te leverjen om krekte ôfsetting fan epitaksiale lagen (lykas GaN, SiC, ensfh.) te garandearjen. De kearnfunksje is om hege uniformiteit fan waferoerflaktemperatuer te berikken troch krekte termyske fjildkontrôle, wêrtroch't de dikte, dopingkonsintraasje en kristalstruktueruniformiteit fan epitaksiale tinne films wurdt garandearre.
Wy brûke ús patintearre technology om debarrel-ûntfangermei ekstreem hege suverens, goede coatinguniformiteit en in poerbêste libbensdoer, lykas hege gemyske wjerstân en termyske stabiliteitseigenskippen.
VET Energy brûkt grafyt fan hege suverens mei in CVD-SiC-coating om de gemyske stabiliteit te ferbetterjen:
1. Grafytmateriaal mei hege suverens
Hege termyske geliedingsfermogen: de termyske geliedingsfermogen fan grafyt is trije kear dy fan silisium, wat waarmte fluch fan 'e ferwaarmingsboarne nei de wafer kin oerdrage en de ferwaarmingstiid kin koarter meitsje.
Mechanyske sterkte: Isostatyske drukgrafytdichtheid ≥ 1,85 g/cm³, by steat om hege temperatueren boppe 1200 ℃ te wjerstean sûnder deformaasje.
2. CVD SiC-coating
In β-SiC-laach wurdt foarme op it oerflak fan grafyt troch gemyske dampôfsetting (CVD), mei in suverens fan ≥ 99.99995%, de uniformiteitsflater fan 'e coatingdikte is minder dan ± 5%, en de oerflakteruwheid is minder dan Ra0.5um.
3. Ferbettering fan prestaasjes:
Korrosjebestriding: kin hege korrosive gassen lykas Cl2, HCl, ensfh. wjerstean, kin de libbensdoer fan GaN-epitaxy mei trije kear ferlingje yn 'e NH3-omjouwing.
Termyske stabiliteit: De koëffisjint fan termyske útwreiding (4.5 × 10-6/℃) komt oerien mei grafyt om te foarkommen dat de coating barst troch temperatuerfluktuaasjes.
Hurdens en wearbestindigens: De Vickers-hurdens berikt 28 GPa, wat 10 kear heger is as grafyt en it risiko op waferkrassen kin ferminderje.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Basis fysike eigenskippen fan CVD SiCbedekking | |
| 性质 / Eigendom | 典型数值 / Typyske wearde |
| 晶体结构 / Kristalstruktuer | FCC β-faze多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Dichtheid | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hurdens | 2500 维氏硬度（500g lading） |
| 晶粒大小 / Nôtgrutte | 2~10μm |
| 纯度 / Gemyske suverens | 99.99995% |
| 热容 / Waarmtekapasiteit | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimaasjetemperatuer | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Bûgingssterkte | 415 MPa RT 4-punt |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bûging, 1300 ℃ |
| 导热系数 / TermalGeliedingsfermogen | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termyske útwreiding (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd is in hightech-ûndernimming dy't him rjochtet op 'e ûntwikkeling en produksje fan high-end avansearre materialen, de materialen en technology ynklusyf grafyt, silisiumkarbid, keramyk, oerflakbehanneling lykas SiC-coating, TaC-coating, glêzen koalstofcoating, pyrolytyske koalstofcoating, ensfh., dizze produkten wurde in soad brûkt yn fotovoltaïsche prosessen, healgeleiders, nije enerzjy, metallurgy, ensfh.
Us technysk team komt fan top ynlânske ûndersyksynstellingen, en hat meardere patintearre technologyen ûntwikkele om produktprestaasjes en kwaliteit te garandearjen, en kin klanten ek profesjonele materiaaloplossingen leverje.
-
Healmoanne-ûnderdiel mei tantaalkarbide-coating
-
5kW Nije technology Goede prestaasjes SOFC-krêft ...
-
Koalstof-koalstof gearstalde plaat mei SiC-coating
-
Hege suverens hege temperatuerbestindige grafyt ...
-
Termysk fleksibel grafytpapier liedt elektrysk ...
-
125KW auto proton útwikseling membraan wetterstof ...