Susceptor i personalizuar i fuçisë me veshje SiC

Imazh i Veçantë i Susceptorit të Fuçisë së Veshur me SiC të Personalizuar

Përshkrim i shkurtër:

VET Energy është një prodhues dhe furnizues profesional i susceptorëve me fuçi të veshur me SiC në Kinë. Ne zhvillojmë vazhdimisht procese të përparuara për të ofruar materiale më të përparuara dhe kemi përpunuar një teknologji ekskluzive të patentuar, e cila mund ta bëjë lidhjen midis veshjes dhe substratit më të fortë dhe më pak të prirur ndaj shkëputjes. Mirë se vini të vizitoni fabrikën tonë dhe mezi presim të jemi partneri juaj afatgjatë në Kinë.

Na dërgoni email Shkarko si PDF

Detajet e produktit

Etiketat e produkteve

Sceptori i fuçisëështë një komponent thelbësor në proceset e rritjes epitaksiale të gjysmëpërçuesve si MOCVD, MBE, CVD. Përdoret kryesisht për të mbajtur pllaka në dhoma reagimi me temperaturë të lartë dhe për të siguruar një mjedis fushe termike uniforme dhe të qëndrueshme për të siguruar depozitim të saktë të shtresave epitaksiale (si GaN, SiC, etj.). Funksioni i tij kryesor është të arrijë uniformitet të lartë të temperaturës së sipërfaqes së pllakave përmes kontrollit të saktë të fushës termike, duke siguruar kështu trashësinë, përqendrimin e dopingut dhe uniformitetin e strukturës kristalore të filmave të hollë epitaksialë.

Ne përdorim teknologjinë tonë të patentuar për të bërësusceptor fuçieme pastërti jashtëzakonisht të lartë, uniformitet të mirë të veshjes dhe një jetëgjatësi të shkëlqyer shërbimi, si dhe rezistencë të lartë kimike dhe veti të qëndrueshme termike.

VET Energy përdor grafit me pastërti të lartë me veshje CVD-SiC për të rritur stabilitetin kimik:

1. Material grafiti me pastërti të lartë
Përçueshmëri e lartë termike: përçueshmëria termike e grafitit është tre herë më e lartë se ajo e silikonit, e cila mund të transferojë shpejt nxehtësinë nga burimi i ngrohjes në pllakë dhe të shkurtojë kohën e ngrohjes.
Rezistenca mekanike: Dendësia e grafitit në presion izostatik ≥ 1.85 g/cm³, e aftë të përballojë temperatura të larta mbi 1200 ℃ pa deformim.

2. Veshje CVD SiC
Një shtresë β-SiC formohet në sipërfaqen e grafitit me anë të depozitimit kimik të avullit (CVD), me një pastërti ≥ 99.99995%, gabimi i uniformitetit të trashësisë së veshjes është më pak se ± 5% dhe vrazhdësia e sipërfaqes është më pak se Ra0.5um.

3. Përmirësimi i performancës:
Rezistenca ndaj korrozionit: mund t'i rezistojë gazrave të lartë korroziv si Cl2, HCl, etj., mund të zgjasë jetëgjatësinë e epitaksise së GaN me tre herë në mjedisin NH3.
Stabiliteti termik: Koeficienti i zgjerimit termik (4.5 × 10-6/℃) përputhet me grafitin për të shmangur çarjen e veshjes të shkaktuar nga luhatjet e temperaturës.
Fortësia dhe Rezistenca ndaj Konsumimit: Fortësia e Vickers arrin 28 GPa, që është 10 herë më e lartë se grafiti dhe mund të zvogëlojë rrezikun e gërvishtjeve të pllakave.

Sëmundjet kardiovaskulare SiC薄膜基本物理性能 Vetitë themelore fizike të CVD SiCshtresë
性质 / Pronë	典型数值 / Vlera tipike
晶体结构 / Struktura e kristalit	Faza β e FCC多晶，主要为（111).
密度 / Dendësia	3.21 g/cm³
硬度 / Fortësia	2500 维氏硬度 (500 g ngarkesë)
晶粒大小 / Madhësia e Kokrrave	2~10μm
纯度 Pastërtia Kimike	99.99995%
热容 / Kapaciteti i nxehtësisë	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura e sublimimit	2700℃
抗弯强度 / Forca në përkulje	415 MPa RT 4-pikëshe
杨氏模量 / Moduli i Youngut	430 Gpa 4pt përkulje, 1300℃
导热系数 / TermalPërçueshmëria	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Zgjerimi Termik (CTE)	4.5×10^-6K^-1

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd është një ndërmarrje e teknologjisë së lartë që përqendrohet në zhvillimin dhe prodhimin e materialeve të përparuara të nivelit të lartë, materialet dhe teknologjia përfshijnë grafit, karabit të silikonit, qeramikën, trajtimin sipërfaqësor si veshje SiC, veshje TaC, veshje karboni qelqor, veshje karboni pirolitik, etj., këto produkte përdoren gjerësisht në fotovoltaikë, gjysmëpërçues, energji të re, metalurgji, etj.

Ekipi ynë teknik vjen nga institucione kërkimore vendase kryesore dhe ka zhvilluar teknologji të shumta të patentuara për të siguruar performancën dhe cilësinë e produktit, gjithashtu mund t'u ofrojë klientëve zgjidhje profesionale materiale.