Susceptor de barril con recubrimiento de SiC personalizado

Susceptor de barrilEs un componente fundamental en los procesos de crecimiento epitaxial de semiconductores, como MOCVD, MBE y CVD. Se utiliza principalmente para transportar las obleas a cámaras de reacción de alta temperatura y proporcionar un campo térmico uniforme y estable que garantice la deposición precisa de capas epitaxiales (como GaN, SiC, etc.). Su función principal es lograr una alta uniformidad de la temperatura superficial de la oblea mediante un control preciso del campo térmico, asegurando así la uniformidad del espesor, la concentración de dopaje y la estructura cristalina de las películas delgadas epitaxiales.

Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar elsusceptor de barrilCon una pureza extremadamente alta, una buena uniformidad del recubrimiento y una excelente vida útil, así como altas propiedades de resistencia química y estabilidad térmica.

VET Energy utiliza grafito de alta pureza con recubrimiento de CVD-SiC para mejorar la estabilidad química:

1. Material de grafito de alta pureza
Alta conductividad térmica: la conductividad térmica del grafito es tres veces mayor que la del silicio, lo que permite transferir rápidamente el calor desde la fuente de calentamiento a la oblea y acortar el tiempo de calentamiento.
Resistencia mecánica: Densidad del grafito bajo presión isostática ≥ 1,85 g/cm³, capaz de soportar altas temperaturas superiores a 1200 ℃ sin deformarse.

2. Recubrimiento de SiC mediante CVD
Mediante deposición química de vapor (CVD), se forma una capa de β-SiC sobre la superficie del grafito, con una pureza de ≥ 99,99995%, un error de uniformidad en el espesor del recubrimiento inferior a ±5% y una rugosidad superficial inferior a Ra0,5 µm.

3. Mejora del rendimiento:
Resistencia a la corrosión: puede soportar gases altamente corrosivos como Cl2, HCl, etc., y puede extender la vida útil de la epitaxia de GaN hasta tres veces en un entorno de NH3.
Estabilidad térmica: El coeficiente de dilatación térmica (4,5 × 10⁻⁶/℃) coincide con el del grafito para evitar el agrietamiento del revestimiento causado por las fluctuaciones de temperatura.
Dureza y resistencia al desgaste: La dureza Vickers alcanza los 28 GPa, lo que supone 10 veces más que el grafito y puede reducir el riesgo de arañazos en las obleas.