Susceptor de barril recubierto de SiC personalizado

Susceptor de barrilEs un componente esencial en los procesos de crecimiento epitaxial de semiconductores, como MOCVD, MBE y CVD. Se utiliza principalmente para transportar obleas en cámaras de reacción de alta temperatura y proporcionar un entorno de campo térmico uniforme y estable para garantizar la deposición precisa de capas epitaxiales (como GaN, SiC, etc.). Su función principal es lograr una alta uniformidad de la temperatura superficial de la oblea mediante un control preciso del campo térmico, garantizando así la uniformidad del espesor, la concentración de dopaje y la estructura cristalina de las películas delgadas epitaxiales.

Utilizamos nuestra tecnología patentada para hacer que elsusceptor de barrilcon una pureza extremadamente alta, buena uniformidad de recubrimiento y una excelente vida útil, así como altas propiedades de resistencia química y estabilidad térmica.

VET Energy utiliza grafito de alta pureza con revestimiento CVD-SiC para mejorar la estabilidad química:

1. Material de grafito de alta pureza.
Alta conductividad térmica: la conductividad térmica del grafito es tres veces mayor que la del silicio, lo que puede transferir rápidamente el calor desde la fuente de calentamiento a la oblea y acortar el tiempo de calentamiento.
Resistencia mecánica: Densidad de grafito de presión isostática ≥ 1,85 g/cm³, capaz de soportar altas temperaturas superiores a 1200 ℃ sin deformarse.

2. Recubrimiento de SiC CVD
Se forma una capa de β - SiC en la superficie del grafito mediante deposición química de vapor (CVD), con una pureza de ≥ 99,99995%, el error de uniformidad del espesor del recubrimiento es inferior a ±5% y la rugosidad de la superficie es inferior a Ra0,5um.

3. Mejora del rendimiento:
Resistencia a la corrosión: puede soportar gases altamente corrosivos como Cl2, HCl, etc., puede extender la vida útil de la epitaxia de GaN tres veces en el entorno NH3.
Estabilidad térmica: El coeficiente de expansión térmica (4,5 × 10-6/℃) coincide con el grafito para evitar el agrietamiento del revestimiento causado por fluctuaciones de temperatura.
Dureza y resistencia al desgaste: La dureza Vickers alcanza los 28 GPa, que es 10 veces mayor que el grafito y puede reducir el riesgo de rayones en las obleas.