Tünnisusseptoron pooljuhtide epitaksiaalsete kasvuprotsesside, näiteks MOCVD, MBE ja CVD, põhikomponent. Seda kasutatakse peamiselt vahvlite kandmiseks kõrge temperatuuriga reaktsioonikambrites ja ühtlase ning stabiilse termilise väljakeskkonna loomiseks, et tagada epitaksiaalsete kihtide (nt GaN, SiC jne) täpne sadestamine. Selle põhifunktsioon on saavutada vahvli pinnatemperatuuri kõrge ühtlus täpse termilise välja juhtimise abil, tagades seeläbi epitaksiaalsete õhukeste kilede paksuse, dopeerimise kontsentratsiooni ja kristallstruktuuri ühtluse.
Kasutame oma patenteeritud tehnoloogiat, et valmistadatünnisusceptoräärmiselt kõrge puhtusastme, hea katte ühtluse ja suurepärase kasutuseaga, samuti kõrge keemilise vastupidavuse ja termilise stabiilsusega.
VET Energy kasutab keemilise stabiilsuse parandamiseks CVD-SiC-kattega kõrge puhtusastmega grafiiti:
1. Kõrge puhtusastmega grafiitmaterjal
Kõrge soojusjuhtivus: grafiidi soojusjuhtivus on kolm korda suurem kui räni oma, mis võimaldab soojust kiiresti kütteallikast vahvlile üle kanda ja lühendada kuumutusaega.
Mehaaniline tugevus: isostaatilise rõhuga grafiidi tihedus ≥ 1,85 g/cm³, talub deformatsioonita kõrgeid temperatuure üle 1200 ℃.
2. CVD SiC-kate
Grafiidi pinnale moodustatakse keemilise aurustamise (CVD) teel β-SiC kiht, mille puhtus on ≥ 99,99995%, katte paksuse ühtlusviga on väiksem kui ± 5% ja pinna karedus on väiksem kui Ra0,5 μm.
3. Jõudluse parandamine:
Korrosioonikindlus: talub kõrge kontsentratsiooniga söövitavaid gaase, näiteks Cl2, HCl jne, võib NH3 keskkonnas GaN-epitaksiat kolm korda pikendada.
Termiline stabiilsus: Soojuspaisumistegur (4,5 × 10-6/℃) vastab grafiidile, et vältida temperatuurikõikumiste põhjustatud katte pragunemist.
Kõvadus ja kulumiskindlus: Vickersi kõvadus ulatub 28 GPa-ni, mis on 10 korda suurem kui grafiidil ja võib vähendada vahvli kriimustuste ohtu.
| Südame-veresoonkonna haigus SiC薄膜基本物理性能 CVD-siikarbiidi põhilised füüsikalised omadusedkate | |
| 性质 / Kinnisvara | 典型数值 / Tüüpiline väärtus |
| 晶体结构 / Kristallstruktuur | FCC β-faas多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tihedus | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Kõvadus | 2500 维氏硬度 (500 g koorem) |
| 晶粒大小 Teravilja suurus | 2–10 μm |
| 纯度 / Keemiline puhtus | 99,99995% |
| 热容 / Soojusmahtuvus | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimatsioonitemperatuur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Paindetugevus | 415 MPa RT 4-punktiline |
| 杨氏模量 / Youngi moodul | 430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalJuhtivus | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Soojuspaisumine (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd on kõrgtehnoloogiline ettevõte, mis keskendub tipptasemel täiustatud materjalide, sealhulgas grafiidi, ränikarbiidi, keraamika, pinnatöötluse (nt SiC-kate, TaC-kate, klaasjas süsinikkate, pürolüütiline süsinikkate jne) arendamisele ja tootmisele. Neid tooteid kasutatakse laialdaselt fotogalvaanikas, pooljuhtides, uues energias, metallurgias jne.
Meie tehniline meeskond pärineb tipptasemel kodumaistest teadusasutustest ning on välja töötanud mitu patenteeritud tehnoloogiat, et tagada toote toimivus ja kvaliteet, ning pakub klientidele ka professionaalseid materjalilahendusi.
