اپنی مرضی کے مطابق سی سی لیپت بیرل سسپٹر

بیرل susceptorسیمی کنڈکٹر ایپیٹیکسیل ترقی کے عمل میں ایک بنیادی جزو ہے جیسے MOCVD، MBE، CVD۔ یہ بنیادی طور پر اعلی درجہ حرارت کے رد عمل کے چیمبروں میں ویفرز کو لے جانے اور یکساں اور مستحکم تھرمل فیلڈ ماحول فراہم کرنے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے تاکہ ایپیٹیکسیل تہوں (جیسے کہ GaN، SiC، وغیرہ) کے عین مطابق جمع کو یقینی بنایا جا سکے۔ اس کا بنیادی کام عین مطابق تھرمل فیلڈ کنٹرول کے ذریعے ویفر سطح کے درجہ حرارت کی اعلی یکسانیت حاصل کرنا ہے، اس طرح ایپیٹیکسیل پتلی فلموں کی موٹائی، ڈوپنگ ارتکاز، اور کرسٹل ڈھانچے کی یکسانیت کو یقینی بنانا ہے۔

ہم اپنی پیٹنٹ ٹیکنالوجی کو بنانے کے لیے استعمال کرتے ہیں۔بیرل susceptorانتہائی اعلی پاکیزگی، اچھی کوٹنگ یکسانیت اور بہترین سروس لائف کے ساتھ ساتھ اعلی کیمیائی مزاحمت اور تھرمل استحکام کی خصوصیات کے ساتھ۔

VET انرجی کیمیائی استحکام کو بڑھانے کے لیے CVD-SiC کوٹنگ کے ساتھ اعلی طہارت گریفائٹ کا استعمال کرتی ہے:

1. اعلی طہارت گریفائٹ مواد
ہائی تھرمل چالکتا: گریفائٹ کی تھرمل چالکتا سلیکون سے تین گنا زیادہ ہے، جو حرارتی منبع سے ویفر میں گرمی کو تیزی سے منتقل کر سکتی ہے اور حرارتی وقت کو کم کر سکتی ہے۔
مکینیکل طاقت: Isostatic پریشر گریفائٹ کثافت ≥ 1.85 g/cm ³، بغیر کسی خرابی کے 1200 ℃ سے زیادہ اعلی درجہ حرارت کو برداشت کرنے کے قابل۔

2. CVD SiC کوٹنگ
A β - SiC تہہ گریفائٹ کی سطح پر کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD) سے بنتی ہے، جس کی خالصیت ≥ 99.99995% ہے، کوٹنگ کی موٹائی کی یکسانیت کی خرابی ±5% سے کم ہے، اور سطح کی کھردری Ra0.5um سے کم ہے۔

3. کارکردگی میں بہتری:
سنکنرن مزاحمت: اعلی سنکنرن گیسوں جیسے Cl2، HCl، وغیرہ کو برداشت کر سکتا ہے، NH3 ماحول میں GaN epitaxy کی عمر کو تین گنا بڑھا سکتا ہے۔
حرارتی استحکام: درجہ حرارت کے اتار چڑھاو کی وجہ سے کوٹنگ کریکنگ سے بچنے کے لیے تھرمل توسیع کا گتانک (4.5 × 10-6/℃) گریفائٹ سے میل کھاتا ہے۔
سختی اور پہننے کی مزاحمت: Vickers کی سختی 28 GPa تک پہنچ جاتی ہے، جو گریفائٹ سے 10 گنا زیادہ ہے اور ویفر کے خراشوں کے خطرے کو کم کر سکتی ہے۔