Susceptor Casgen wedi'i Gorchuddio â SiC wedi'i Addasu

Dwysydd casgenyn gydran graidd mewn prosesau twf epitacsial lled-ddargludyddion fel MOCVD, MBE, CVD. Fe'i defnyddir yn bennaf i gario wafferi mewn siambrau adwaith tymheredd uchel a darparu amgylchedd maes thermol unffurf a sefydlog i sicrhau dyddodiad manwl gywir o haenau epitacsial (megis GaN, SiC, ac ati). Ei swyddogaeth graidd yw cyflawni unffurfiaeth uchel o dymheredd wyneb waffer trwy reolaeth maes thermol fanwl gywir, a thrwy hynny sicrhau trwch, crynodiad dopio, ac unffurfiaeth strwythur crisial ffilmiau tenau epitacsial.

Rydym yn defnyddio ein technoleg patent i wneud yatalydd casgengyda phurdeb eithriadol o uchel, unffurfiaeth cotio da a bywyd gwasanaeth rhagorol, yn ogystal â phriodweddau ymwrthedd cemegol uchel a sefydlogrwydd thermol.

Mae VET Energy yn defnyddio graffit purdeb uchel gyda gorchudd CVD-SiC i wella'r sefydlogrwydd cemegol:

1. Deunydd graffit purdeb uchel
Dargludedd thermol uchel: mae dargludedd thermol graffit dair gwaith yn fwy na silicon, a all drosglwyddo gwres yn gyflym o'r ffynhonnell wresogi i'r wafer a byrhau'r amser gwresogi.
Cryfder mecanyddol: Dwysedd graffit pwysau isostatig ≥ 1.85 g/cm³, yn gallu gwrthsefyll tymereddau uchel uwchlaw 1200 ℃ heb anffurfio.

2. Gorchudd SiC CVD
Mae haen β-SiC yn cael ei ffurfio ar wyneb graffit trwy ddyddodiad anwedd cemegol (CVD), gyda phurdeb o ≥ 99.99995%, mae gwall unffurfiaeth trwch yr haen yn llai na ± 5%, ac mae garwedd yr wyneb yn llai na Ra0.5um.

3. Gwella perfformiad:
Gwrthiant cyrydiad: gall wrthsefyll nwyon cyrydol uchel fel Cl2, HCl, ac ati, gall ymestyn oes epitacsi GaN dair gwaith yn yr amgylchedd NH3.
Sefydlogrwydd thermol: Mae cyfernod ehangu thermol (4.5 × 10-6/℃) yn cyd-fynd â graffit i osgoi cracio cotio a achosir gan amrywiadau tymheredd.
Caledwch a Gwrthiant Gwisgo: Mae caledwch Vickers yn cyrraedd 28 GPa, sydd 10 gwaith yn uwch na graffit a gall leihau'r risg o grafiadau wafer.