Prilagojen susceptor s prevleko iz SiC

Sodčasti susceptorJe ključna komponenta v epitaksialnih rastnih procesih polprevodnikov, kot so MOCVD, MBE, CVD. Uporablja se predvsem za prenašanje rezin v visokotemperaturnih reakcijskih komorah in zagotavljanje enakomernega in stabilnega okolja toplotnega polja za natančno nanašanje epitaksialnih plasti (kot so GaN, SiC itd.). Njegova glavna funkcija je doseči visoko enakomernost temperature površine rezin z natančnim nadzorom toplotnega polja, s čimer se zagotovi enakomernost debeline, koncentracije dopiranj in kristalne strukture epitaksialnih tankih plasti.

Za izdelavo uporabljamo našo patentirano tehnologijosodčasti susceptorz izjemno visoko čistostjo, dobro enakomernostjo premaza in odlično življenjsko dobo, pa tudi z visoko kemično odpornostjo in toplotno stabilnostjo.

VET Energy uporablja grafit visoke čistosti s CVD-SiC prevleko za izboljšanje kemijske stabilnosti:

1. Visoko čist grafitni material
Visoka toplotna prevodnost: toplotna prevodnost grafita je trikrat večja od silicija, kar omogoča hiter prenos toplote iz vira ogrevanja na rezino in skrajšanje časa ogrevanja.
Mehanska trdnost: Gostota grafita pri izostatičnem tlaku ≥ 1,85 g/cm³, sposoben prenesti visoke temperature nad 1200 ℃ brez deformacije.

2. CVD SiC prevleka
Na površini grafita se s kemičnim nanašanjem iz pare (CVD) tvori plast β-SiC s čistostjo ≥ 99,99995 %, napaka enakomernosti debeline prevleke je manjša od ± 5 %, hrapavost površine pa je manjša od Ra0,5 μm.

3. Izboljšanje delovanja:
Odpornost proti koroziji: lahko prenese visoko korozivne pline, kot so Cl2, HCl itd., lahko v okolju NH3 podaljša življenjsko dobo GaN epitaksije za trikrat.
Termična stabilnost: Koeficient toplotnega raztezanja (4,5 × 10-6/℃) se ujema z grafitnim, da se prepreči razpokanje prevleke zaradi temperaturnih nihanj.
Trdota in odpornost proti obrabi: Vickersova trdota doseže 28 GPa, kar je 10-krat več kot pri grafitu in lahko zmanjša tveganje za praske na rezinah.