Торхны суспензнь MOCVD, MBE, CVD зэрэг хагас дамжуулагч эпитаксиал өсөлтийн процессын гол бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Энэ нь голчлон өндөр температурт урвалын камерт вафли зөөх, эпитаксиал давхаргыг (GaN, SiC гэх мэт) нарийн тунадасжуулахын тулд жигд, тогтвортой дулааны талбайн орчинг бүрдүүлэхэд ашиглагддаг. Үүний гол үүрэг нь дулааны талбайн нарийн хяналтаар дамжуулан вафлины гадаргуугийн температурын өндөр жигд байдлыг хангах, улмаар эпитаксиал нимгэн хальсны зузаан, хольцын концентраци, талст бүтцийн жигд байдлыг хангах явдал юм.
Бид патентлагдсан технологийг ашиглан үүнийг хийдэгбаррель хүлээн авагчмаш өндөр цэвэршилттэй, сайн бүрэх жигд байдалтай, маш сайн ашиглалтын хугацаатай, мөн химийн өндөр эсэргүүцэлтэй, дулааны тогтвортой шинж чанартай.
VET Energy нь химийн тогтвортой байдлыг сайжруулахын тулд CVD-SiC бүрээстэй өндөр цэвэршилттэй бал чулууг ашигладаг.
1. Өндөр цэвэршилттэй бал чулуун материал
Өндөр дулаан дамжуулалт: Бал чулуун дулаан дамжуулалт нь цахиурынхаас гурав дахин их бөгөөд халаалтын эх үүсвэрээс вафли руу дулааныг хурдан шилжүүлж, халаах хугацааг богиносгодог.
Механик бат бэх: Изостатик даралттай бал чулууны нягтрал ≥ 1.85 г/см³, 1200°C-аас дээш өндөр температурт деформацид орохгүйгээр тэсвэрлэх чадвартай.
2. CVD SiC бүрхүүл
Бал чулууны гадаргуу дээр химийн уурын тунадасжилт (CVD)-аар β-SiC давхарга үүсдэг бөгөөд цэвэршилт нь ≥ 99.99995%, бүрэх зузааны жигд байдлын алдаа ±5%-иас бага, гадаргуугийн барзгаржилт нь Ra0.5um-ээс бага байна.
3. Гүйцэтгэлийн сайжруулалт:
Зэврэлтээс хамгаалах чадвар: Cl2, HCl гэх мэт өндөр идэмхий хийд тэсвэртэй бөгөөд NH3 орчинд GaN эпитаксигийн ашиглалтын хугацааг гурван дахин уртасгадаг.
Дулааны тогтвортой байдал: Дулааны тэлэлтийн коэффициент (4.5 × 10-6/℃) нь температурын хэлбэлзлээс үүдэлтэй бүрхүүл хагарахаас сэргийлж бал чулуутай тохирч байна.
Хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй байдал: Викерсийн хатуулаг нь 28 ГПа хүрдэг бөгөөд энэ нь бал чулуунаас 10 дахин өндөр бөгөөд вафли зурагдах эрсдлийг бууруулдаг.
| Зүрх судасны өвчин SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-ийн үндсэн физик шинж чанаруудбүрэх | |
| 性质 / Үл хөдлөх хөрөнгө | 典型数值 / Ердийн утга |
| 晶体结构 / Кристал бүтэц | FCC β үе шат多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Нягтрал | 3.21 г/см³ |
| 硬度 / Хатуулаг | 2500 维氏硬度（500г ачаалал） |
| 晶粒大小 / Үр тарианы хэмжээ | 2~10μm |
| 纯度 / Химийн цэвэр байдал | 99.99995% |
| 热容 / Дулааны багтаамж | 640 Ж·кг-1·К-1 |
| 升华温度 / Сублимацийн температур | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Гулзайлтын хүч | 415 МПа RT 4 цэг |
| 杨氏模量 / Янгийн модуль | 430 Gpa 4pt нугалах, 1300℃ |
| 导热系数 / ТермалЦахилгаан дамжуулах чанар | 300Вт·м-1·К-1 |
| 热膨胀系数 / Дулааны тэлэлт (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Нинбо VET Energy Technology Co., Ltd нь өндөр зэрэглэлийн дэвшилтэт материал, графит, цахиурын карбид, керамик, SiC бүрхүүл, TaC бүрхүүл, шилэн нүүрстөрөгчийн бүрхүүл, пиролизийн нүүрстөрөгчийн бүрхүүл гэх мэт гадаргуугийн боловсруулалт зэрэг материал, технологи боловсруулах, үйлдвэрлэх чиглэлээр мэргэшсэн өндөр технологийн аж ахуйн нэгж бөгөөд эдгээр бүтээгдэхүүнийг фотоэлектрик, хагас дамжуулагч, шинэ эрчим хүч, металлурги гэх мэт салбарт өргөн ашигладаг.
Манай техникийн баг нь дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудаас бүрддэг бөгөөд бүтээгдэхүүний гүйцэтгэл, чанарыг хангахын тулд олон патентлагдсан технологийг боловсруулсан бөгөөд үйлчлүүлэгчдэд мэргэжлийн материалын шийдлүүдийг санал болгож чадна.
