Захиалгат SiC бүрсэн баррель мэдрэгч

Баррель мэдрэгчнь MOCVD, MBE, CVD зэрэг хагас дамжуулагч эпитаксиаль өсөлтийн процессын үндсэн бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Энэ нь голчлон өндөр температурт урвалын камерт ялтсуудыг зөөвөрлөхөд ашиглагддаг бөгөөд эпитаксиаль давхаргыг (GaN, SiC гэх мэт) нарийн хуримтлуулахын тулд жигд, тогтвортой дулааны талбайн орчныг бүрдүүлдэг. Үүний үндсэн үүрэг нь дулааны талбайн нарийн хяналтаар өрөвсний гадаргуугийн температурын өндөр жигд байдалд хүрэх бөгөөд ингэснээр эпитаксиаль нимгэн хальсны зузаан, допингийн концентраци, талст бүтцийн жигд байдлыг хангах явдал юм.

Бид патентлагдсан технологио ашигланбаррель мэдрэгчмаш өндөр цэвэршилттэй, сайн бүрэх жигд байдал, маш сайн ашиглалтын хугацаа, түүнчлэн химийн өндөр эсэргүүцэл, дулааны тогтвортой байдлын шинж чанаруудтай.

VET Energy нь химийн тогтвортой байдлыг сайжруулахын тулд CVD-SiC бүрээстэй өндөр цэвэршилттэй бал чулууг ашигладаг.

1. Өндөр цэвэршилттэй бал чулуу материал
Дулаан дамжуулалт өндөр: бал чулууны дулаан дамжилтын илтгэлцүүр нь цахиураас 3 дахин их бөгөөд энэ нь халаалтын эх үүсвэрээс дулааныг вафель руу хурдан шилжүүлж, халаах хугацааг богиносгодог.
Механик хүч: Изостатик даралттай бал чулууны нягт ≥ 1.85 г/см³, 1200 ℃-аас дээш өндөр температурыг деформацигүйгээр тэсвэрлэх чадвартай.

2. CVD SiC бүрэх
Бал чулуун гадаргуу дээр химийн уурын хуримтлал (CVD) -ийн үед β - SiC давхарга үүсдэг ба цэвэршилт нь ≥ 99.99995%, бүрээсийн зузааны жигд байдлын алдаа ±5% -иас бага, гадаргуугийн тэгш бус байдал нь Ra0.5um-аас бага байна.

3. Гүйцэтгэлийг сайжруулах:
Зэврэлтэнд тэсвэртэй: Cl2, HCl гэх мэт өндөр идэмхий хийг тэсвэрлэх чадвартай, NH3 орчинд GaN эпитаксийн ашиглалтын хугацааг 3 дахин уртасгах чадвартай.
Дулааны тогтвортой байдал: Температурын хэлбэлзлээс үүдэлтэй бүрхүүлийн хагарлаас зайлсхийхийн тулд дулааны тэлэлтийн коэффициент (4.5 × 10-6 / ℃) нь бал чулуутай таарч байна.
Хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй: Викерсийн хатуулаг нь 28 GPa хүрдэг бөгөөд энэ нь бал чулуунаас 10 дахин их бөгөөд өргүүрийн зураас үүсэх эрсдлийг бууруулдаг.